Off axis原理及应用课件

Offaxis成像原理及应用

——NSRshrincOffaxis成像原理及应用根据光的衍射理论，光通过接近于其波长的缝隙时会发生衍射。衍射后光路如图所示。

-2-10+1+2由于大于二阶的衍射光能量非常微弱，所以在一般情况下，通常只考虑-1、0、+1三条光线。Offaxis成像原理及应用在光刻机中，光透过reticle后，通过LENS，在wafer上成像。由于reticle上的线与线间距非常小，所以光线在通过reticle时会发生衍射。斜光带光reticleOffaxis成像原理及应用在早期，由于reticle上的p较大，因此衍射角θ较小。所以由reticle上射下的光线，经过衍射后三条光线都可以进入LENS在wafer上成像。实际上stepper就是利用衍射光成像的。LENSreticlewaferPOffaxis成像原理及应用随着技术的发展，reticle上的线宽越来越小，p也越来越小，在λ不变的情况下，θ变大，那就会出现下面的结果：waferLENSreticlePθθ三条光线只有一条可以进入LENS，这时，在wafer上就无法成像了。Offaxis成像原理及应用要解决这个问题在照明系统上有三种办法：

减小曝光波长λ

增大numericalAperture（LENS直径)

Offaxis方法Offaxis成像原理及应用减小曝光波长λ的方法使用的曝光光源g-line=436nmI-line=365nmEX=248nm增大NA

解析度=DOF=

增大NA，DOF会越来越小。成本越来越高，制造也越来越困难。Offaxis成像原理及应用

这样，靠两条光线成像，使reticle上的相对更小的pattern，原来不能在wafer上成像的，也可以成像在wafer上。换句话说，也就是提高了光学系统的分辨率。DOFOffaxis成像原理及应用reticleLENSwaferDOFLENSreticlewaferOffaxis成像原理及应用因为在实际的使用中，物体是立体的，也就是说，要成出物体真实的像，就必须在任意角度都有两条光线进入LENS。

而如果只有二条光线进入LENS，则在一个方向上会相当于只有一条光线进入LENS。旋转90°Offaxis成像原理及应用

为保证在任意角度都可以成像，最好有四条光线同时入射。如图所示的方式，即可解决。旋转90°Offaxis成像原理及应用因此，在光路中（fly-eye与reticle间）加上如图所示的装置，即可完成控制四条光线从不同方向入射的要求。Offaxis成像原理及应用将上述的装置进行了改进，采取了多角度入射的方法。并最终演化为图中4的方式。实际的机器中有1、4三中结构。1234Offaxis成像原理及应用

在机器中，将上述调光装置放在一个大的圆盘上，在需要时，按程序指令，转动到合适的位置上即可。

(图中小σ的原理并非offaxis)小σOffaxis成像原理及应用DOFDOF’DOF’<DOFDOF’—大pattern时的焦深DOF—小pattern时的焦深Offaxis成像原理及应用针对这种情况，设计了下面这种改进方法。

在LENS中加入