PECVD段工艺简介课件_第1页
PECVD段工艺简介课件_第2页
PECVD段工艺简介课件_第3页
PECVD段工艺简介课件_第4页
PECVD段工艺简介课件_第5页
已阅读5页，还剩28页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

PECVD段工艺简介

——洪叶可

2008.10.24板式（Roth&Rau）管式（Centrotherm）常见问题目录二、板式（Roth&Rau）软件界面程序操作工艺参数常见问题

工艺腔界面软件界面设备界面：参数、趋势、数据资料记录、检漏测试盖板控制、控制、真空泵、手动传输设备、工艺腔、集气系统、维护、停止；工艺腔界面：参数、工艺方案；趋势：等离子体源趋势（反射、功率），综合趋势（MFC、压力、温度、真空泵转速）；检漏测试：对各个腔体进行检漏测试；工艺设置界面抽真空的步骤进料腔工艺腔出料腔工艺腔：加热区、沉积区、冷却区。平时说的工艺腔指沉积区抽真空顺序：先中间后两边。充气时则相反。只有当工艺腔的压强达到一定值，才能对工艺腔充气。充气时，加热会自动关闭。降温时要求为抽真空状态。管式centrotherm软件界面程序操作工艺参数常见问题

Systemstate1、新建查询2、选择炉管3、选择日期选择所有记录项目进行详细查询5monov.prz5monov.prz编辑完工艺后，要将checkout的工艺checkin，否则工艺会被锁定而不能用。5monov.prz5monov.przTXT菜单界面修改完之后保存为另外的recipe名称指定炉管中的工艺硬盘中存在的工艺加载工艺System/state/recipe/…/start/end/ok工艺过程Load-rampuptemp.-leaktest-preclean-deposition-purge-unload-cooling管式常见问题举例HFerror:1、在preclean时出现重新加载工艺；重复出现-检查硅片是否弯曲严重-更换后重新加载工艺；2、在d

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 医学制药

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论