半导体厂务系统自动化课件

半導體廠

廠務系統自動化劉聖元半導體廠

廠務系統自動化劉聖元大綱控制系統分類半導體廠內自動化系統區分無塵室自動化系統簡介半導體廠務系統簡介廠務監控系統設計廠務系統自動化整合廠務系統管理Q&A大綱控制系統分類控制系統分類DCS(DistributedControlSystem)PLC(ProgrammableLogicController)PAC(ProgrammableApplicationController)PC-Based控制系統分類DCS(DistributedControlDCS架構圖DCS架構圖DCS系統分散系統集中控制資料/資訊集中整合整合度高系統封閉,DCS系統PLC架構圖PLC架構圖PLC系統分散系統分散控制需整合系統統整各系統介面較多資料須整合系統整合管理系統封閉,但現行系統多有開放的架構與介面PLC系統PACPACPACPAC系統類似於PC-Based的控制器各個系統模組化設計,提高可信賴度可用PLC開發語言與高階語言開發程式應用度更高可建立資料庫介面開放PACPAC系統PC-BasedPC-Basedcontroller整合受控系統的訊號於PC板上一般利用通訊方式控制系統如VFD的控制圖示的PC-Based控制器具有SerialPort及DI/O控制接點,可控制少量硬體點PC-BasedPC-Basedcontroller半導體廠內自動化系統區分辦公室自動化系統Module自動化系統Facility自動化系統MIS-OfficeOfficeAutomationCIM-FABModuleAutomationFMCS-FacilityFacilityAutomation半導體廠內自動化系統區分辦公室自動化系統MIS-Offi辦公室自動化系統建立辦公室網路系統辦公室PC及周邊設備(如印表機,繪圖機,掃瞄器,…)管理文件系統,如郵件,申請,簽核,公佈欄ERP–企業資源管理企業入口網站廠區網路連線廠區防火牆管理辦公室自動化系統Module自動化系統建立CIM網路系統(FAB內相關網路)建立EAP網路連線,擷取Tool資訊MES(ManufactureExecutingSystem)設定與執行製造流程執行Tool現況監控,如Run,PM,WarmS/D,ColdS/DAPC(AdvancedProcessControl)收集即時製程參數,監控Tool狀態UPC(Pump/LocalScrubber)資料收集監控EIM(EngineeringInformationManagement)收集測試及實驗數據進行SPC分析及各種統計手法Module自動化系統Module自動化系統(續)AMHS(AutomatedMaterialHandlingSystem)Tool間Lot自動化傳送設定最佳路徑,自動化傳輸Module自動化系統(續)設備應用程式EAP(EquipmentApplicationProgram)一個介於無塵室內設備與CIM系統之間的界面透過介面自設備取得資料以提供相關資訊系統應用降低現場人員的負擔與AMHS整合,達成無塵室完全自動化EAPSystemAPC,MES,…AMHS設備應用程式EAP(EquipmentApplicatiEAP介面圖EAP透過半導體設備通用的介面與機台交換資料HSMSSECSIIGEM其他SEMI所訂定的ProtocolToolToolToolAPsSECSIIEAPAPCMESEIMAMHSEAP介面圖ToolToolToolAPsSECSIIEASECSII

一種固定格式的通訊協定,讓設備與EAP之間可以交換訊息HSMS

-High

Speed

SECS

Message

Service一種透過TCP/IP(Ethernet)介面,讓EAP與設備間可高速交換訊息的通訊協定GEM

–GeneralEquipmentModel驅動設備於各式狀況下去進行特定的動作這個標準對於EAP來說定義著設備點的狀況其他SEMI標準CarrierManagement,ProcessJobManagement,

ControlJobManagement,

CarrierHandoffSECSII半導體廠務系統簡介半導體廠務系統簡介主要系統水處理系統電力系統氣體供應系統化學供應系統機電與附屬系統無塵室控制系統半導體廠務系統簡介半導體廠務系統簡介半導體廠務系統簡介附屬系統火警探測防護系統極早期偵煙探測系統廣播系統門禁系統CCTV影像監視系統地震偵測系統LED電子看板系統LAU區域警報系統SMS簡訊系統電話系統半導體廠務系統簡介附屬系統半導體廠務系統簡介-水處理系統水處理系統DI(UPW)DI前段處理系統DI中段處理系統DI後段處理系統Reclaim水處理系統廢水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統水處理系統半導體廠務系統簡介-電力系統電力系統GIS氣體絕緣系統MTRU主變壓器單元EPS緊急發電系統CPS動態不斷電系統HV/LV高低壓盤供電系統半導體廠務系統簡介-電力系統電力系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統氣體供應系統GasCabinet/GasRack系統VMB(ValveManifoldBox)/VMP(ValveManifoldPanel)系統BulkGasSupplySystemCQC(ContinuousQualityControl)偵測器系統VertexMDA–

紙帶式毒氣偵測器DragerDetector–

電化學式毒氣偵測器半導體廠務系統簡介-氣體供應系統氣體供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統化學供應系統一般化學品供應系統POU分配系統Slurry供應系統SC-1供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統化學供應系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統機電與附屬系統冰水系統PCW系統PV系統HV系統柴油供應系統天然氣供應系統一般空調系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-無塵室系統無塵室系統MAU(Modularairhandlingunit)TT/HT(Temperature/Humidity)Exhaust(AEX,BEX,VEX,GEX)FFU(FanFilterUnit)FID(FlameIonizationDetector,揮發性有機廢氣分析設備,VOC,ACID)半導體廠務系統簡介-無塵室系統無塵室系統廠務監控系統設計廠務系統設計之目的提供製程設備適當的無塵室環境及中央供應系統水系統提供品質穩定並符合需求的去離子水供應廠務系統/ModuleTool電力系統提供穩定電力供應廠務系統/ModuleTool氣化系統提供品質穩定並符合需求氣體及化學品供應ModuleTool空調系統控制穩定的無塵室環境,包括溫度/溼度之穩定控制提供ModuleTool製程之後續處理,如廢水/廢液/廢氣提供未來擴充之空間與需求提供舒適之辦公環境廠務監控系統設計廠務系統設計之目的廠務監控系統設計ModuleTool設計與需求Facility系統依據Tool/Facility設計功能建立功能需求表Facility依據設計功能設計設備建立設備需求表設備整體規劃與系統介面協調依據功能需求/設備設計I/O建立I/O需求MatrixA廠務監控系統設計ModuleTool設計與需求Facil廠務監控系統設計監控規劃控制器架構,網路架構,圖控架構監控設計控制器程式設計,圖控程式設計,資料庫需求,報表規劃初步測試I/O點對點測試功能測試與驗證連動測試系統上線A廠務監控系統設計監控規劃監控設計初步測試功能測試與驗證系統上廠務監控系統設計-設計例設計例特殊氣體供應系統(SpecialGasSupply)ModuleTool提供需求,由Central供應之氣體種類本例以5%B2H6之需求為例Facility依據需求GasType設計系統功能,含LifeSafetySystem此氣體供應系統包含主供應端備援需監控氣瓶櫃/VMB之狀態氣瓶櫃/VMB之Shutdown/Fault狀態,必須要有絕對之正確性Tool點供應端需要壓力狀態,無須壓力值回傳由主供應端,分配端,系統可供應八個Tool點此氣體為毒性氣體,需要有偵測/連鎖安全機制設計廠務監控系統設計-設計例設計例廠務監控系統設計-設計例建立需求之氣瓶櫃/氣瓶架,VMB/VMP,偵測器設備氣瓶櫃設計為雙供應端,氣瓶櫃/VMB狀態監控採用通訊設計需監控氣瓶櫃/VMB之Shutdown/Fault狀態,以硬體點設計Tool點需要有PressureSwitch(PS)依據Tool需求,建立VMB,每個VMB可供應8個Tool點此系統為毒性氣體,需要使用VertexMDA偵測器毒氣警報系統需要使用到LED顯示,蜂鳴器,警示燈,廣播系統,緊急狀態需要及時發送簡訊至相關人員PHS建立I/OMatrix依據氣瓶櫃/VMB需監控項目設計監控點位氣瓶櫃/VMB之Shutdown/Fault狀態使用PLC之DI設計Tool點之PressureSwitch採用通訊設計,有一個監控點廠務監控系統設計-設計例建立需求之氣瓶櫃/氣瓶架,VMB/廠務監控系統設計-設計例毒氣偵測點位包含ToolExhaust點,無塵室環境點,VMBExhaust點,氣瓶櫃Exhaust點,VertexMDA之輸出連接到PLC,並提供通訊點可監測狀態毒氣偵測連動需求需Shutdown上層供應端,被Shutdown之設備為氣瓶櫃,VMB,需要有DO點毒氣系統連動需要推動廣播系統,有一個DO點毒氣系統連動需要推動蜂鳴器,警示燈,有兩個DO點緊急警報需要發送簡訊,需有通訊介面廠務監控系統設計-設計例毒氣偵測點位包含ToolExha廠務監控系統設計-設計例監控規劃氣瓶櫃/VMB/TS/VertexMDA監控/簡訊發送系統需要Ethernet網路,氣瓶櫃/VMB/TS/VertexMDA監控使用OPC介面整合簡訊發送系統利用圖控與簡訊資料庫整合氣瓶櫃/VMB硬體點/各連動系統需要PLCDI/O點VertexMDA控制需要Profibus連線PLC架構設計為RedundantPLC系統直接與PA整合介面氣瓶櫃/VMB&TS/VertexMDA分別設計圖控畫面及流程畫面整合整體系統廠務監控系統設計-設計例監控規劃廠務監控系統設計-設計例監控設計PLC程式設計I/OServer設計/設定PLC通訊設定OPC通訊設定圖控程式設計AlarmLog資料庫設定工業用資料庫資料設定資料收集I/O點對點測試功能連動測試系統上線廠務監控系統設計-設計例監控設計廠務監控系統設計分層架構【Level-0】設備層：包含了廠務各系統之相關設備,例如馬達、泵浦、閥、Detector、Sensor,…【Level-1】控制層：本層含括各類型的控制器,如PLC、MicroController、VFD、MMI、控制用PC【Level-2】監控層：當作控制器與圖控系統間之閘道與圖控系統用以提供使用者適當的操作介面,如I/OServer、SCADA、HMI【Level-3】管理層：用以管理整個廠務監控系統、儲存資料及與其他資訊系統之閘道伺服器廠務監控系統設計分層架構廠務監控系統設計監控系統複聯廠務監控系統設計監控系統複聯廠務監控系統設計樹狀網路架構廠務監控系統設計樹狀網路架構廠務監控系統設計環狀網路架構廠務監控系統設計環狀網路架構廠務監控系統設計主要系統之監控架構水處理監控系統電力監控系統氣體監控系統化學監控系統MEP監控系統無塵室監控系統廠務監控系統設計主要系統之監控架構廠務系統自動化整合廠務系統整合規劃SiemensPLC採用Ethernet網路連線整合,利用ApplicomCard將PLC資料與上層圖控進行資料收集與交換,如水處理監控、氣體系統監控、化學系統監控、MEP系統監控、無塵室系統監控其他PLC,ABSLC-500、OmronPLC採用Ethernet網路連線,使用IntouchDrive進行整合,如Slurry系統,SC-1系統,因系統採用套裝方式銷售,特定PLC,採用serialport(RS485/232)連線,利用SerialPorttoEthernet並採用I/ODriver進行整合,如EPS系統,因系統採用套裝方式銷售,廠務系統自動化整合廠務系統整合規劃廠務系統自動化整合OPCDrive整合,OPC(OpenConnectivity)係由主要資訊廠商如Microsoft,HP,Epson,…等共同制定的標準用以整合各類型封閉系統,若能提供OPC協定則可進行整合PowerSCADA提供OPCServer,則透過圖控所提供之OPCClient可進行連線Fire,VESDA:透過三惟科技所撰寫之OPCServer,則透過圖控所提供之OPCClient可進行連線氣體系統之GasCabinet,GasRack,VMB,VertexMDA等由原廠商提供OPCServer,則透過圖控所提供之OPCClient可進行連線廠務系統自動化整合OPCDrive整合,OPC(Ope廠務系統自動化整合資料庫應用整合LED,與CIMStock系統整合提供Stock資訊PHS-SMS提供資料庫介面,可由圖控系統直接整合應用專用Drive整合開發CCTV系統透過開發專用ActivX元件以提供圖控系統彙總應用外部資訊系統整合應用依據各類不同需求進行資料交換整合開發廠務系統自動化整合資料庫應用整合廠務系統自動化整合-ERCERC廠務系統自動化整合-ERCERC廠務系統自動化整合-CCTVCCTV廠務系統自動化整合-CCTVCCTV廠務系統自動化整合-SMSSMS廠務系統自動化整合-SMSSMS廠務系統自動化整合-LEDLED廠務系統自動化整合-LEDLED廠務系統自動化整合-ITM廠務系統自動化整合-ITM廠務系統自動化整合廠務系統自動化整合廠務系統管理權限控管採用WindowsDomain管理工業資料庫採用工業用資料庫InSQL即時收及製程資訊Alarm管理重大Alarm之自動簡訊傳送透過IE查詢各系統AlarmLog透過IE查詢各系統AlarmLog之相關統計分析廠務系統管理權限控管廠務系統管理管理自動化鋼瓶存量資訊自動傳送物料管理部門鋼瓶可用週期預估,警示自動郵件傳送鋼瓶更換管理系統,結合ERP系統ModuleToolPM與氣體偵測器系統整合,透過CIM資訊系統與圖控之整合品質監控系統傳送品管單位報表系統Web化,提供更便捷之資訊廠務系統管理管理自動化廠務監控系統網域整合管理廠務監控系統網域整合管理半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-無塵室系統半導體廠務系統簡介-無塵室系統半導體廠務系統簡介-無塵室系統半導體廠務系統簡介-無塵室系統半導體廠務系統簡介-無塵室系統半導體廠務系統簡介-無塵室系統廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例廠務監控系統設計-設計例SystemIntegrationSystemIntegration系統架構需求分析硬體架構分析規劃應用功能需求分析應用功能架構規畫系統架構需求分析系統架構需求分析系統架構需求分析DiscreteProcess?Sequence?State?On/Off?TransferLines,Motor,SwitchImplementmethodPLCIPC,IOContinuousProcess?Pipingmonitoring?Tank?Temperature/Pressure/Flowrate/Level?DCSHybridControlSystem(PLC&DCS,PAC)系統架構需求分析系統架構需求分析系統架構需求分析符合系統控制功能的要求單一廠牌產品能符合需求,降低成本?系統本身具有之整合能力,與其他系統之整合能力?系統架構資料層控制層現場層系統架構需求分析符合系統控制功能的要求硬體架構分析規劃系統需求需要建構哪些層別現場設備分布硬體線?通訊線?系統控制控制邏輯規劃硬體架構分析規劃系統需求需要建構哪些層別監視與操控畫面規劃系統操作需求系統設定規畫資料收集與分析資料庫規劃資料分析系統使用介面規劃監視與操控系統架構參考-Siemens系統架構參考-SiemensLayersSCADA

(ProfiNet)Control

Layer

(ProfiBus)Field

ASHardwireLayers系統架構參考-AB系統架構參考-ABLayersSCADA

–

EthernetControl

Layer

--

ControlNetField

Layer

DH+Foundation

FieldbusCAN

BusHardwireLayers系統架構參考-AdventechEthernet

overallMore

integration

devices

/

interface系統架構參考-AdventechEthernetovera半导体厂务系统自动化课件SCADA

(opertaion)Stations,C/S,Redundant,InternetControlControlfunctionsRIOP2PIntegrationwithothersystemsRedundantFieldEquipmentfunctions,interface,communicationSCADA(opertaion)ExampleFacilitySystem…ExampleFacilitySystem硬體架構分析規劃信號種類:

AIO,DIO,通訊,影像?距離考量通訊方式:硬體線路,RS232,RS485/422,Ethernet,Wireless,佈線方式:

線槽規劃,配管(EMT,防爆,防蝕?)佈線種類通訊線,信號線,電力線(干擾問題)區域條件溫度,壓力,接地,干擾,硬體架構分析規劃信號種類:AIO,DIO,通訊,半导体厂务系统自动化课件半导体厂务系统自动化课件半導體廠

廠務系統自動化劉聖元半導體廠

廠務系統自動化劉聖元大綱控制系統分類半導體廠內自動化系統區分無塵室自動化系統簡介半導體廠務系統簡介廠務監控系統設計廠務系統自動化整合廠務系統管理Q&A大綱控制系統分類控制系統分類DCS(DistributedControlSystem)PLC(ProgrammableLogicController)PAC(ProgrammableApplicationController)PC-Based控制系統分類DCS(DistributedControlDCS架構圖DCS架構圖DCS系統分散系統集中控制資料/資訊集中整合整合度高系統封閉,DCS系統PLC架構圖PLC架構圖PLC系統分散系統分散控制需整合系統統整各系統介面較多資料須整合系統整合管理系統封閉,但現行系統多有開放的架構與介面PLC系統PACPACPACPAC系統類似於PC-Based的控制器各個系統模組化設計,提高可信賴度可用PLC開發語言與高階語言開發程式應用度更高可建立資料庫介面開放PACPAC系統PC-BasedPC-Basedcontroller整合受控系統的訊號於PC板上一般利用通訊方式控制系統如VFD的控制圖示的PC-Based控制器具有SerialPort及DI/O控制接點,可控制少量硬體點PC-BasedPC-Basedcontroller半導體廠內自動化系統區分辦公室自動化系統Module自動化系統Facility自動化系統MIS-OfficeOfficeAutomationCIM-FABModuleAutomationFMCS-FacilityFacilityAutomation半導體廠內自動化系統區分辦公室自動化系統MIS-Offi辦公室自動化系統建立辦公室網路系統辦公室PC及周邊設備(如印表機,繪圖機,掃瞄器,…)管理文件系統,如郵件,申請,簽核,公佈欄ERP–企業資源管理企業入口網站廠區網路連線廠區防火牆管理辦公室自動化系統Module自動化系統建立CIM網路系統(FAB內相關網路)建立EAP網路連線,擷取Tool資訊MES(ManufactureExecutingSystem)設定與執行製造流程執行Tool現況監控,如Run,PM,WarmS/D,ColdS/DAPC(AdvancedProcessControl)收集即時製程參數,監控Tool狀態UPC(Pump/LocalScrubber)資料收集監控EIM(EngineeringInformationManagement)收集測試及實驗數據進行SPC分析及各種統計手法Module自動化系統Module自動化系統(續)AMHS(AutomatedMaterialHandlingSystem)Tool間Lot自動化傳送設定最佳路徑,自動化傳輸Module自動化系統(續)設備應用程式EAP(EquipmentApplicationProgram)一個介於無塵室內設備與CIM系統之間的界面透過介面自設備取得資料以提供相關資訊系統應用降低現場人員的負擔與AMHS整合,達成無塵室完全自動化EAPSystemAPC,MES,…AMHS設備應用程式EAP(EquipmentApplicatiEAP介面圖EAP透過半導體設備通用的介面與機台交換資料HSMSSECSIIGEM其他SEMI所訂定的ProtocolToolToolToolAPsSECSIIEAPAPCMESEIMAMHSEAP介面圖ToolToolToolAPsSECSIIEASECSII

一種固定格式的通訊協定,讓設備與EAP之間可以交換訊息HSMS

-High

Speed

SECS

Message

Service一種透過TCP/IP(Ethernet)介面,讓EAP與設備間可高速交換訊息的通訊協定GEM

–GeneralEquipmentModel驅動設備於各式狀況下去進行特定的動作這個標準對於EAP來說定義著設備點的狀況其他SEMI標準CarrierManagement,ProcessJobManagement,

ControlJobManagement,

CarrierHandoffSECSII半導體廠務系統簡介半導體廠務系統簡介主要系統水處理系統電力系統氣體供應系統化學供應系統機電與附屬系統無塵室控制系統半導體廠務系統簡介半導體廠務系統簡介半導體廠務系統簡介附屬系統火警探測防護系統極早期偵煙探測系統廣播系統門禁系統CCTV影像監視系統地震偵測系統LED電子看板系統LAU區域警報系統SMS簡訊系統電話系統半導體廠務系統簡介附屬系統半導體廠務系統簡介-水處理系統水處理系統DI(UPW)DI前段處理系統DI中段處理系統DI後段處理系統Reclaim水處理系統廢水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統水處理系統半導體廠務系統簡介-電力系統電力系統GIS氣體絕緣系統MTRU主變壓器單元EPS緊急發電系統CPS動態不斷電系統HV/LV高低壓盤供電系統半導體廠務系統簡介-電力系統電力系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統氣體供應系統GasCabinet/GasRack系統VMB(ValveManifoldBox)/VMP(ValveManifoldPanel)系統BulkGasSupplySystemCQC(ContinuousQualityControl)偵測器系統VertexMDA–

紙帶式毒氣偵測器DragerDetector–

電化學式毒氣偵測器半導體廠務系統簡介-氣體供應系統氣體供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統化學供應系統一般化學品供應系統POU分配系統Slurry供應系統SC-1供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統化學供應系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統機電與附屬系統冰水系統PCW系統PV系統HV系統柴油供應系統天然氣供應系統一般空調系統半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統機電與附屬系統半導體廠務系統簡介-無塵室系統無塵室系統MAU(Modularairhandlingunit)TT/HT(Temperature/Humidity)Exhaust(AEX,BEX,VEX,GEX)FFU(FanFilterUnit)FID(FlameIonizationDetector,揮發性有機廢氣分析設備,VOC,ACID)半導體廠務系統簡介-無塵室系統無塵室系統廠務監控系統設計廠務系統設計之目的提供製程設備適當的無塵室環境及中央供應系統水系統提供品質穩定並符合需求的去離子水供應廠務系統/ModuleTool電力系統提供穩定電力供應廠務系統/ModuleTool氣化系統提供品質穩定並符合需求氣體及化學品供應ModuleTool空調系統控制穩定的無塵室環境,包括溫度/溼度之穩定控制提供ModuleTool製程之後續處理,如廢水/廢液/廢氣提供未來擴充之空間與需求提供舒適之辦公環境廠務監控系統設計廠務系統設計之目的廠務監控系統設計ModuleTool設計與需求Facility系統依據Tool/Facility設計功能建立功能需求表Facility依據設計功能設計設備建立設備需求表設備整體規劃與系統介面協調依據功能需求/設備設計I/O建立I/O需求MatrixA廠務監控系統設計ModuleTool設計與需求Facil廠務監控系統設計監控規劃控制器架構,網路架構,圖控架構監控設計控制器程式設計,圖控程式設計,資料庫需求,報表規劃初步測試I/O點對點測試功能測試與驗證連動測試系統上線A廠務監控系統設計監控規劃監控設計初步測試功能測試與驗證系統上廠務監控系統設計-設計例設計例特殊氣體供應系統(SpecialGasSupply)ModuleTool提供需求,由Central供應之氣體種類本例以5%B2H6之需求為例Facility依據需求GasType設計系統功能,含LifeSafetySystem此氣體供應系統包含主供應端備援需監控氣瓶櫃/VMB之狀態氣瓶櫃/VMB之Shutdown/Fault狀態,必須要有絕對之正確性Tool點供應端需要壓力狀態,無須壓力值回傳由主供應端,分配端,系統可供應八個Tool點此氣體為毒性氣體,需要有偵測/連鎖安全機制設計廠務監控系統設計-設計例設計例廠務監控系統設計-設計例建立需求之氣瓶櫃/氣瓶架,VMB/VMP,偵測器設備氣瓶櫃設計為雙供應端,氣瓶櫃/VMB狀態監控採用通訊設計需監控氣瓶櫃/VMB之Shutdown/Fault狀態,以硬體點設計Tool點需要有PressureSwitch(PS)依據Tool需求,建立VMB,每個VMB可供應8個Tool點此系統為毒性氣體,需要使用VertexMDA偵測器毒氣警報系統需要使用到LED顯示,蜂鳴器,警示燈,廣播系統,緊急狀態需要及時發送簡訊至相關人員PHS建立I/OMatrix依據氣瓶櫃/VMB需監控項目設計監控點位氣瓶櫃/VMB之Shutdown/Fault狀態使用PLC之DI設計Tool點之PressureSwitch採用通訊設計,有一個監控點廠務監控系統設計-設計例建立需求之氣瓶櫃/氣瓶架,VMB/廠務監控系統設計-設計例毒氣偵測點位包含ToolExhaust點,無塵室環境點,VMBExhaust點,氣瓶櫃Exhaust點,VertexMDA之輸出連接到PLC,並提供通訊點可監測狀態毒氣偵測連動需求需Shutdown上層供應端,被Shutdown之設備為氣瓶櫃,VMB,需要有DO點毒氣系統連動需要推動廣播系統,有一個DO點毒氣系統連動需要推動蜂鳴器,警示燈,有兩個DO點緊急警報需要發送簡訊,需有通訊介面廠務監控系統設計-設計例毒氣偵測點位包含ToolExha廠務監控系統設計-設計例監控規劃氣瓶櫃/VMB/TS/VertexMDA監控/簡訊發送系統需要Ethernet網路,氣瓶櫃/VMB/TS/VertexMDA監控使用OPC介面整合簡訊發送系統利用圖控與簡訊資料庫整合氣瓶櫃/VMB硬體點/各連動系統需要PLCDI/O點VertexMDA控制需要Profibus連線PLC架構設計為RedundantPLC系統直接與PA整合介面氣瓶櫃/VMB&TS/VertexMDA分別設計圖控畫面及流程畫面整合整體系統廠務監控系統設計-設計例監控規劃廠務監控系統設計-設計例監控設計PLC程式設計I/OServer設計/設定PLC通訊設定OPC通訊設定圖控程式設計AlarmLog資料庫設定工業用資料庫資料設定資料收集I/O點對點測試功能連動測試系統上線廠務監控系統設計-設計例監控設計廠務監控系統設計分層架構【Level-0】設備層：包含了廠務各系統之相關設備,例如馬達、泵浦、閥、Detector、Sensor,…【Level-1】控制層：本層含括各類型的控制器,如PLC、MicroController、VFD、MMI、控制用PC【Level-2】監控層：當作控制器與圖控系統間之閘道與圖控系統用以提供使用者適當的操作介面,如I/OServer、SCADA、HMI【Level-3】管理層：用以管理整個廠務監控系統、儲存資料及與其他資訊系統之閘道伺服器廠務監控系統設計分層架構廠務監控系統設計監控系統複聯廠務監控系統設計監控系統複聯廠務監控系統設計樹狀網路架構廠務監控系統設計樹狀網路架構廠務監控系統設計環狀網路架構廠務監控系統設計環狀網路架構廠務監控系統設計主要系統之監控架構水處理監控系統電力監控系統氣體監控系統化學監控系統MEP監控系統無塵室監控系統廠務監控系統設計主要系統之監控架構廠務系統自動化整合廠務系統整合規劃SiemensPLC採用Ethernet網路連線整合,利用ApplicomCard將PLC資料與上層圖控進行資料收集與交換,如水處理監控、氣體系統監控、化學系統監控、MEP系統監控、無塵室系統監控其他PLC,ABSLC-500、OmronPLC採用Ethernet網路連線,使用IntouchDrive進行整合,如Slurry系統,SC-1系統,因系統採用套裝方式銷售,特定PLC,採用serialport(RS485/232)連線,利用SerialPorttoEthernet並採用I/ODriver進行整合,如EPS系統,因系統採用套裝方式銷售,廠務系統自動化整合廠務系統整合規劃廠務系統自動化整合OPCDrive整合,OPC(OpenConnectivity)係由主要資訊廠商如Microsoft,HP,Epson,…等共同制定的標準用以整合各類型封閉系統,若能提供OPC協定則可進行整合PowerSCADA提供OPCServer,則透過圖控所提供之OPCClient可進行連線Fire,VESDA:透過三惟科技所撰寫之OPCServer,則透過圖控所提供之OPCClient可進行連線氣體系統之GasCabinet,GasRack,VMB,VertexMDA等由原廠商提供OPCServer,則透過圖控所提供之OPCClient可進行連線廠務系統自動化整合OPCDrive整合,OPC(Ope廠務系統自動化整合資料庫應用整合LED,與CIMStock系統整合提供Stock資訊PHS-SMS提供資料庫介面,可由圖控系統直接整合應用專用Drive整合開發CCTV系統透過開發專用ActivX元件以提供圖控系統彙總應用外部資訊系統整合應用依據各類不同需求進行資料交換整合開發廠務系統自動化整合資料庫應用整合廠務系統自動化整合-ERCERC廠務系統自動化整合-ERCERC廠務系統自動化整合-CCTVCCTV廠務系統自動化整合-CCTVCCTV廠務系統自動化整合-SMSSMS廠務系統自動化整合-SMSSMS廠務系統自動化整合-LEDLED廠務系統自動化整合-LEDLED廠務系統自動化整合-ITM廠務系統自動化整合-ITM廠務系統自動化整合廠務系統自動化整合廠務系統管理權限控管採用WindowsDomain管理工業資料庫採用工業用資料庫InSQL即時收及製程資訊Alarm管理重大Alarm之自動簡訊傳送透過IE查詢各系統AlarmLog透過IE查詢各系統AlarmLog之相關統計分析廠務系統管理權限控管廠務系統管理管理自動化鋼瓶存量資訊自動傳送物料管理部門鋼瓶可用週期預估,警示自動郵件傳送鋼瓶更換管理系統,結合ERP系統ModuleToolPM與氣體偵測器系統整合,透過CIM資訊系統與圖控之整合品質監控系統傳送品管單位報表系統Web化,提供更便捷之資訊廠務系統管理管理自動化廠務監控系統網域整合管理廠務監控系統網域整合管理半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-水處理系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-電力系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-氣體供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-化學供應系統半導體廠務系統簡介-機電與附