第四讲真空检漏

第四讲

真空检漏孚日光伏项目组提纲真空检漏技术简介真空检漏方法真空检漏设备SunvimSolarTechnology提纲真空检漏技术简介真空检漏方法真空检漏设备SunvimSolarTechnology真空检漏技术简介真空检漏：检测真空系统的漏气部位及其大小的过程漏气：气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压测流向低压侧的一种现象。漏气是不可避免的，绝对不漏是不可能的，不漏是相对的漏率的定义：单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器内的气体量。单位是Pa·m3/S或Pa·L/S检漏相关的概念：最大允许漏率：最小可检漏率：某方法所能检出的漏率的最小值虚漏：材料的放气、解吸等引起真空系统或容器内压力升高 的现象反应时间:开始检漏到上升到最大值的63%所需的时间消除时间：检漏方法停止到指示方法或仪器指示值下降到停止值的37%所需要的时间。SunvimSolarTechnology真空检漏技术简介系统达不到所需真空度的可能原因：真空泵是否工作良好？系统内是否存在严重放气？系统容器壁或间隙处是否漏气？是否漏气与放气现象共存？易漏气部位：可动部分：传动轴的密封部分易损部分，如玻璃或陶瓷波纹管利用法兰和垫圈的密封部分焊接处真空系统或器件上哪些部位易漏气？SunvimSolarTechnology提纲真空检漏技术简介真空检漏方法真空检漏设备SunvimSolarTechnology真空检漏方法静态升压法辅助真空罩法压力平衡法气泡检漏法水槽检漏法皂膜法氨气检漏法4V1V212356SunvimSolarTechnology真空检漏方法真空计检漏法热传导真空计法电离真空计法差动真空计法离子泵检漏法氢-钯检漏法荧光检漏法放射性同位素检漏法慢性漏气加速检漏方法SunvimSolarTechnology提纲真空检漏技术简介真空检漏方法真空检漏设备SunvimSolarTechnology提纲真空检漏技术简介真空检漏方法真空检漏设备

氦质谱检漏仪 卤素检漏仪 高频火花检漏器SunvimSolarTechnology提纲真空检漏技术简介真空检漏方法真空检漏设备

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Heliummassspectrometerleakdetector工作原理：采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体分子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来，利用离子收集板收集离子。示漏气体为He离子收集板离子源磁场方向轻离子重离子氦离子SunvimSolarTechnology1氦质谱检漏仪

Heliummassspectrometerleakdetector检漏仪的结构SunvimSolarTechnology1氦质谱检漏仪

HeliummassspectrometerleakdetectorLeybold公司的PhoeniXL300氦质谱检漏仪北京中能电力科技开发公司SunvimSolarTechnology1氦质谱检漏仪

Heliummassspectrometerleakdetector为什么选用氦气作为示漏气体？为什么选用氦气作为示漏气体？SunvimSolarTechnology成份分子量容积百分比重量百分比分压强（托）N2（氮）28.013478.08475.520593.44O2（氧）30.998820.94823.142159.20Ar（氩）39.9450.9341.2887.10CO2（二氧化碳）44.009953.14×10-24.8×10-22.4×10-1*Ne（氖）20.1831.82×10-31.3×10-31.4×10-2He（氦）4.00265.24×10-46.9×10-34.0×10-3Kr（氪）83.801.14×10-43.3×10-48.7×10-4Xe（氙）131.308.7×10-63.9×10-36.6×10-5H2（氢）2.015945×10-53.5×10-64×10-4CH4（甲烷）16.043032×10-41×10-41.5×10-3N2O（氧化二氮）44.01235×10-58×10-44×10-3O3（臭氧）47.9982夏：0~7×10-6冬：0~2×10-60~1×10-50~0.3×10-50~5×10-5*0~1.5×10-5*SO2（二氧化硫）64.06280~1×10-40~2×10-40~8×10-4*NO2（二氧化氮）46.00550~2×10-60~3×10-60~1.5×10-5*NH3（氨）17.030610~痕迹量0~痕迹量0~痕迹量CO（一氧化碳）28.010550~痕迹量0~痕迹量0~痕迹量I2（碘）253.80880~1×10-60~9×10-50~8×10-6*标准大气的成分*表示随时间、地点而变化的值SunvimSolarTechnology1氦质谱检漏仪

HeliummassspectrometerleakdetectorHe作为示漏气体的优点：He在空气及残余气体中含量最少，空气中He只占二十万分之一。材料出气中He很少，检漏时本底信号小。He质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，响应快，检漏灵敏度高He又是一种惰性气体，无毒，使用安全。He作为示漏气体的缺点：橡胶、塑料等有机材料会吸收He，而且吸收后还会慢慢的释放。离子收集板对He有记忆效应，即He离子打到离子收集板上，并存储一段时间，再慢慢释放出来，造成本底的噪音。SunvimSolarTechnology1氦质谱检漏仪

Heliummassspectrometerleakdetector氦质谱检漏仪的使用方法喷吹法充压法背压检漏法吸嘴法累积法SunvimSolarTechnology1氦质谱检漏仪

Heliummassspectrometerleakdetector氦质谱检漏仪的使用方法:喷吹法如何进行喷吹法检漏？SunvimSolarTechnology1氦质谱检漏仪

Heliummassspectrometerleakdetector喷吹法注意事项：He轻，检漏时从上方检漏开始如果检漏位置相近，应注意He气流的方向检出的漏孔应复查检漏场所应具有良好的通风，但不影响He的流向SunvimSolarTechnology1氦质谱检漏仪

Heliummassspectrometerleakdetector充压法:被测件放入容器后，先将容器抽至低真空，启动检漏仪，充入He。SunvimSolarTechnology背压检漏法背压检漏法：充压检测与真空检测相结合的方法，多用于封闭后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检测技术。检测步骤：充压净化检漏SunvimSolarTechnology背压检漏法背压检漏法的注意事项：为调灵敏度，应提高充气压力、加长充压时间、缩短净化时间适用于体积较小的被检件的检漏不适用于有大漏孔的被检件。SunvimSolarTechnology吸嘴法吸嘴法：先将被检件抽成真空，在向其内部充入He，然后用吸枪在被检件外表面可疑点吸气，有漏孔时，漏出的He与空气一起抽入检漏仪。如何进行吸嘴法检漏？SunvimSolarTechnology吸嘴法检漏吸嘴法检漏注意点：检漏灵敏度与充气的He分压成正比关系吸嘴与被检件表面距离不大于1mm，吸嘴移动速度不大于2cm/s充气压力不能损坏被检件检漏完毕，回收HeHe气回收装置SunvimSolarTechnology累积法累积法：对于漏气和出气量小的被检件，采用积累法检漏可以大大提高检漏灵敏度。He升压累计法（将泵截至）峰值累计法吸嘴累积法SunvimSolarTechnology提纲真空检漏技术简介真空检漏方法真空检漏设备

氦质谱检漏仪 卤素检漏仪 高频火花检漏器SunvimSolarTechnology卤素检漏仪

Halogenleakdetector卤素检漏仪：以卤素作为示漏气体的检漏仪器原理：金属Pt在800℃以上时，其表面吸附或入射表面的气体分子会被剥夺电子，而以正离子的形态飞离表面，遇到含有卤素（氟、氯、溴、碘等）的气体时，这种发射会急剧增加，即卤素效应。原理图SunvimSolarTechnology卤素检漏仪

Halogenleakdetector便携式卤素检漏仪结构图示漏气体：氟利昂（CF2Cl2）、氯仿（CHCl3）、碘仿、四氯化碳等检漏方法：真空法、加压法卤素检漏仪分为固定式（真空法）和移动式（加压法）SunvimSolarTechnology卤素检漏仪

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Halogenleakdetector注意事项：用氟利昂做示漏气体，其比空气轻，所以先检上方，再检下方。喷枪移动速度要适当，一般小于3cm/s检漏现场通风良好，防止卤素污染环境现场严禁吸烟，防止香烟中的卤素气体影响检漏的可靠性SunvimSolarTechnology提纲真空检漏技术简介真空检漏方法真空检漏设备

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高频火花检漏器：利用线圈尖端高频放电来寻找漏孔使用范围：103～10-1PaSunvimSolarTechnolo