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中国电子特种气体行业规模及市场结构分析

工业上把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。电子特种气体是工业气体的一种，该类别包括氦、氖、氙、臭氧及其它用于半导体制造等特殊领域的众多气体。电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，是仅次于硅片和硅基材料的第二大市场需求半导体材料。随着半导体集成电路技术的发展，对电子特种气体的纯度和质量的要求也越来越高。电子特种气体的纯度每提升一个数量级，对下游半导体行业都会产生巨大影响。半导体、光伏等行业的发展保证了电子特种气体的旺盛需求。

1、电子特种气体及其下游产业相关的主要政策

电子特种气体是电子工业生产不可缺少的关键性原材料，广泛应用于太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板生产的薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，其质量对电子元器件性能有重要影响。国家从产业政策和资金上对电子特种气体行业进行扶持，相继发布《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》、《重点新材料首批应用示范指导目录（2019版）》等，还通过国家大基金一期、二期项目，通过资金注入、投资，推动研发和产业化落地。虽然电子特种气体产量最小，但具有最大的增长潜力。以下是电子特种气体行业的相关政策分析：

2、电子特种气体生产情况

以美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本大阳日酸株式会社为首的五大气体公司占有全球90%以上的电子特种气体市场份额。随着我国半导体工业的发展，主要跨国气体公司都进入中国市场。因半导体集成电路对气体质量、供应的特殊要求，我国半导体集成电路企业生产工艺中所使用的电子气体被这些国外气体公司所垄断。

在2010年以后，国内电子气体市场不断攻破国外的技术垄断，硅烷、超纯氨等等重要特种气体进入国产化时代，我国电子气体依赖进口的局面也在被迅速打破。国内企业的部分产品已经实现了技术突破，部分产品达到了半导体生产用气体的技术水平和工艺要求，实现进口替代。如雅克科技率先拟控股韩国UPChem和四川科美特，切入电子气体前驱体、刻蚀气体和清洗气体领域，开启细分领域进口替代新征程。

目前国内主要的特种气体厂商有金宏气体、华特气体、绿菱气体、雅克科技、昊华科技、派瑞特气、南大光电。从资产规模及企业营业收入规模来看，目前国内企业规模较小。

目前国内电子特种气体市场潜力巨大，半导体、光伏等行业的高速发展保证了电子气体的旺盛需求，国内厂家也在不断加大研发投入，可以料想的是国内电子特种气体市场的发展将无可限量。

3、电子特种气体市场需求情况

根据《2021-2027年中国电子特种气体产业发展态势及竞争格局预测报告》显示：2020年我国电子特种气体行业销售规模约173.6亿元，近几年我国电子特种气体行业市场规模情况如下图所示：

2020年我国特种电子气体行业市场规模约

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