模块化学习-温度系统

设备模块培训资料

－温度控制系统设备工程部培训基本内容1.学习了解所有工序温度控制系统的结构．2.学习熟悉温度系统的控制方式．3.学习熟悉温度控制系统的电气原理，元器件原理．目录１．制绒及ＰＳＧ工序温度控制系统２．扩散工序温度控制系统３．ＰＥＣＶＤ工序温度控制系统４．丝网印刷工序温度控制系统一．湿制程工序(多晶)1、湿制程工序设备系统结构温度控制的主要元器件有：PC机PLCPT100温控仪加热器PLC温控仪PCPT100加热器PT100浸泡温度槽液温度显示设定槽体冰水机温度控制原理图SSR/接触器控制原理简介由温控仪控制加热,下槽的PT100检测槽液温度反馈给温控仪.PLC通过浸泡槽的PT100取得浸泡温度,与设定值比较,决定是对槽体加热还是降温.同时PLC对加热过程监控,若出现异常,在超过极限温度值后自动报警.PC上可设定温度值和上下偏差值,并显示实际的温度数值.3、电气图4、元器件介绍加热器:ROTKAPPE功率1600W电压400V温控仪加热碱槽溶液控制温度的起伏１８℃～２０℃±３℃ＰＴ１００ＰＬＣＰＣ冰水机5、常见故障的处理故障一：冰水机常见故障分析一般的，压缩机不工作时，高压表显示压力为：9kg左右低压表显示压力为：3.6kg--4kg左右压缩机正常工作时，高压表显示压力为：10kg左右低压表显示压力为：2kg左右当发现压力明显偏低时，冷水机可能发生了氟利昂泄漏，在检查泄漏处后，需要我们补充氟利昂当发现压力已经基本为零时，说明氟利昂已基本漏光了，在我们排除完泄漏点故障后，由于压缩机中可能已经进入空气，会引起结冰，需要将压缩机及其管路抽真空，然后再补氟利昂（6.5kg）。第一步：压缩机及其回路抽真空第二步：添加氟利昂1，首先把压缩机的高压端调节螺丝顺时针拧到底后逆时针拧一圈，这样，高压端的两个口都畅通，将剩余氟利昂放出。2，然后拧开压缩机底部添加口的帽，将加压表两根管路分别连接到高压口及加液口。加压表的黄色管路接到真空泵上。（压缩机底部的这个添加口相当于低压端）3，逆时针打开加压表的两个调节阀，使所有气路畅通4，打开真空泵，抽真空1小时左右，直至两个压力表显示-1kg

压力。1，抽真空完成后将加压表的调节阀关死，以防漏气。同时将压缩机高压口的调节螺丝顺时针锁死，接上接头。2，将原来接在真空泵上的黄色管子接到氟利昂罐上，同时准备好秤，将氟利昂罐子放在秤上。3，打开加压阀的调节阀门，给压缩机充氟利昂。我们的压缩机需要充6.5kg左右的氟利昂。因此我们要注意秤上的读数。如果氟利昂加多了，工作时压缩机有可能结冰。4，加了4-5kg左右时，可能添加的速度明显放缓，这是氟利昂罐内和压缩机内压力差减小的原因。这是我们打开压缩机电源，让压缩机工作起来，这样将利于我们添加。5，添加完成后，拔掉压缩机添加口的管子，不用担心氟利昂会漏出来，因为这个口是单向的。6，拧开锁紧的高压端调节螺丝，让回路畅通。开机测试冷水机工作是否正常。压缩机不工作时，高压表显示压力为：9kg左右低压表显示压力为：3.6kg--4kg左右压缩机正常工作时，高压表显示压力为：10kg左右低压表显示压力为：2kg左右如果是氟利昂部分泄漏，则省去了抽真空的步骤。从第二步开始直接补充氟利昂即可。需要注意的是，这个时候不需要再加6.5kg的氟利昂了，而是视压力降的多少来判定添加的量。添加完成后，开机测试工作是的压力是否正常。如果偏高较多则需要放掉部分氟利昂。使冷水机能正常工作。故障二：循环泵浦异常运转

循环泵无法正常工作，检查发现循环泵压力太小，无法循环，更换新的泵。原因:发现里面叶轮与磁囊有卡的现象。叶轮上的轴承处留有润滑脂（新泵都有）和硅片在制绒槽的反应生成物氟硅酸，同时磁囊内也留有氟硅酸，用水清理后现正常.注意事项:1、交接班时，需用纯水进行清洗。具体方法如下：排掉3号水洗槽的水，然后再次加纯水进去，加到泵浦能正常开启的水位，运行十分钟排掉，再次进纯水。2、不允许在3、5、7槽未加满水位的情况下，打开泵浦或者让泵浦处于待机状态，使泵浦频繁的启动、停止。3、3#槽用水量的下降也是一个原因，氟硅酸不能被冲稀释掉.故障三温度异常高温报警低温报警检查温控仪数据是否异常加热器的绝缘更换加热器测试加热的好坏PT100是否正常冰水机运行是否正常PLC控制线路是否异常一．湿制程工序(单晶)1、温度控制原理图电源PLC温控仪接触器固态继电器继电器加热部分空气开关PT100PT100触摸屏超温保护加热的过程中是由温控仪控制固态继电器加热，再通过PT100将实际的温度数据反馈到温控仪。温控仪将做过比较后继续控制固态继电器加热。在固态继电器后接一个接触器，是为了超温保护。PLC通过PT100采集到实际的温度后做出正确的判断，如果温度过高将会断开接触器，从而停止加热。加热系统说明193、电气图204、元器件介绍温控仪固态继电器PT100PLC21加热管检测低液位检测正常液位制绒槽材料:2mmＳＵＳ316L设有进液口、排液口、溢流口和溢流进水加热系统１２ＫＷ（４ＫＷ×３）有液位控制加热，液位低加热停止225、常见故障的处理故障现象温度异常检查设定温度有无异常,如果有改正设定温度检查接触器是否吸合检查接触器输出端相间电压和对地电压,如果不正常更换接触器YES检查接触器线圈电压有电压,更换接触器YES无电压,紧固接线,检查接线NO检查热电偶是否损坏更换温度传感器YESNO信号是否能传送到PLC检测PLC有无损坏YESNO更换信号线第一第二第三第四NO将加热管拆卸下来进行更换第五关闭加热(停止加热),取下对应的熔断体进行测量将损坏的熔断体更换高温异常处理低温异常处理首先检查23二．扩散工序1、扩散工序系统结构温度控制的主要元器件有：PC机、温控仪、可控硅触发板、可控硅、加热丝、热电偶、变压器等2、原理图温控仪热电偶工控机可控硅触发板变压器测炉体温度将测得炉体的温度信号传输给温控仪他们之间是通过232-485转接口连接进行通讯将实际温度和设定温度进行对比根据温差输出触发电压0-5V触发板根据温控仪输出的触发电压值给出相应输出信号可控硅对加热电流进行调节380V交流电通过熔断体输入变压器初级端按下加热开(按纽)接触器吸合,输入380V交流电给熔断体根据触发信号控制变压器输出的加热电流输出给炉体变压器次级端输出给可控硅蓝色为低压控制部分加热炉体工作原理分两部分:1:低压控制部分.2:高压主电路部分.彩色为高压主电路部分交流接触器熔断体380V电源超温保护3、电气图红色区域为加热部分4、元器件介绍温控仪工控机可控硅热电偶TokyoWuxiLondonMunichWashingtonSanFranciscoSydney可控硅热电偶温控仪熔断体交流接触器触发板变压器5、常见故障的处理故障现象一某一管,某一温区的温度突然下降或者爬升缓慢检查设定温度有无异常,如果有改正设定温度检查接触器是否吸合检查接触器输出端相间电压和对地电压,分别是380V和220V,如果不正常更换接触器YES检查接触器线圈电压(正常220V)有电压,更换接触器YES无电压,紧固接线,检查接线NO用钳型表测量炉体有无加热电流有电流,但是太小(不在75A-100A范围内)调整电阻,直至电流正常YESNO无电流,测量温控仪,有无输出电压,(正常0-5V)更换触发板YESNO紧固温控仪接线,问题仍存,更换温控仪第一第二第三第四NO按下加热关(红色按纽),取下对应的熔断体进行测量将损坏的熔断体更换,将炉体接线卸下,测量炉体内阻,有断丝更新换炉体第五故障现象二某一管,某一温区的温度突然上升很快,不受控制.这类故障发生,,通常为可控硅击穿,更换可控硅后正常在拆卸前,先将加热关掉(按下加热关按纽),先卸下阻容板,再拆下散热片,接着拆下可控硅阻容板可控硅散热片在安装可控硅时,注意夹板要夹紧,固定螺丝要拧紧.在拆卸和安装时注意安全不要碰到带电电缆.和临管的带电元件.三．

PECVD工序1、PECVD工序加热系统PC机ＰＬＣ温控仪热电偶超温保护继电器加热丝１／ＰＥＣＶＤ加热类型与加热位置ＰＥＣＶＤ加热系统按加热丝类型可分成两部分：红外线加热,普通电热丝加热．其中上料腔是红外线加热，工艺腔是普通电热丝加热．红外线加热丝普通电热丝２／加热系统－－结构框图－－温控仪可控硅加热丝温控仪是整个加热系统的控制单元，其通过热电偶采集温度，实时控制可控硅，对加热丝进行通断式加热．超温保护继电器ＰＣ机ＰＬＣ接触器电源：主电源：控制信号：报警信号热电偶热电偶红外加热系统－－主要器件介绍－－温控仪（正面）温控仪（背面）超温保护继电器可控硅（红外）可控硅（普通）红外加热系统－－电气接线－－可控硅部分２４０８温控仪部分超温继电器部分这部分电路在Ａ１柜中电热丝加热系统－－电气接线－－可控硅部分２４０８温控仪部分超温继电器部分这部分电路在Ａ１柜中常见故障的处理加热故障主回路故障Ｙ检查变压器检查接触器检查可控硅检查加热丝Ｎ检查热电偶检查温控仪四．

丝印工序1、丝印工序结构图工控机CAN-BUSI/O热电偶温控仪2、原理图AC380VCAN-BUSI/O热电偶检测控制信号输出SSRPC393、电气图热电偶检测加热输出信号加热主电路40AC220VEnableheating(oven)Ovenmaxtemperature超温保护414、元器件介绍CAN-BUSI/OSSR温控仪425、常见故障的处理故障现象某一温区的温度下降或者升温缓慢检查设定温度有无异常,如果有改正设定温度检查接触器是否吸合检查接触器输出端相间电压和对地电压,分别是380V和220V,如果不正常更换接触器YES检查接触器线圈电压(正常220V)有电压,更换接触器YES无电压,紧固接线,检查接线和加热信号NO第一第二第三第四NO将加热关闭,取下对应的熔断体进行测量将损坏的熔断体更换前三步检查均无问题，则可判定为加热管损坏,更新换新加热管43四．

丝印工序1、丝印工序（烧结炉）结构图工控机、REG97、CAN-BUSI/OPLC、SSR、热电偶、温控仪HTO区FF区2、原理图热电偶TMM温度信号采集器REG97PCCAN-busI/OSSR加热体Can-busSwitchPLC表示Ethernet表示Can-bus超温保护热电偶453、电气图

SSR报警信号

SSR控制信号46超温保护：出现超温时，自动切断加热电源去SSR控制加热丝47HTO区电热丝加热CAN-BUSI/O温度信号采集器超温保护SSR4、元器件介绍48FF区红外加热CAN-BUSI/O温度信号采集器超温保护SSR49REG97PLCSwitch505、常见故障的处理故障现象一设备进入正常，加热系统开始升温报警灯红色闪烁，显示器上确认并复位报警信