镀膜机教学课程课件

制三课镀膜徐名泉

镀膜机基础知识日本RAS-1100机台龍翩LP系列

鍍膜機可分為五大系統

一、真空系統二、控制系統三、膜厚系統（監控系統）四、蒸鍍系統五、輔助系統一、真空系統工作原理：真空繫統主要是利用壓強原理進行排氣工作。是通過（RPMPDp）的工作來進行壓強原理來排氣工作。

真空系統簡單排氣圖有上圖可知：真空系統由RP、DP、MV、FV、LV、RV、RLV及連接管組成真空是由各級泵浦的運轉工作完成的、抽氣可分為兩個過程。既：A：初抽：真空室－RV－MP－RP－大氣中B：主抽：真空室－MV－DP－FV－MP－RP－大氣中另外，初抽可分為兩個階段，既：A：真空室－RV－PBV－RP－大氣中B：真空室－RV－MP－RP－大氣中初抽主要是機械泵的工作，它利用壓強原理來達到抽氣的功能。真空系統有以下組成：RP（機械泵浦）

MP（輔助泵浦）

DP（擴散泵浦）RP（機械泵浦）工作原理：是靠改變氣缸的體積完成吸氣與排氣工作，氣體被分成兩部分。轉子並非繞着圓心鏇轉，這使吸氣鍴的體積不斷變化。吸氣壓縮與排氣過程是同時進行的，隨着轉子的不斷鏇轉，泵體的兩部分體積的變化。當排氣鍴壓力大于排氣口彈簧的壓力時，空氣分子不斷經RP排到大氣中。注意：，RP內壁一定要保持清潔、光滑當機械泵浦裏麵有很多雜質或潤滑油的粘稠度的，否則，轉子很容易磨損，吸氣鍴子與排氣鍴不能完全隔離，造成RP排氣性能降低，RP性能差就是轉子不能與RP內壁完全吻閤，所以，泵浦油用到一定時間后要全部更換。RP油起着潤滑、冷卻與密封的作用，油位不能低于吸口的高度。在工作中要經常去確認RP油的油位，否則會造成機械泵浦燒壞的后果。MP（輔助泵浦）工作原理：是增大兩耑的壓力差使排氣速度加快。它用于初抽與精抽，最大壓力可達到10－4Torr。泵體內部使兩各8字型的轉子，兩個轉子緊密配閤在 一起，轉子與轉子、轉子與泵體之間隻有0.2～0.3mm的極小空隙。MP:分解图旋片式真空泵工作原理

：旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。

旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

旋片式真空泵工作原理

：旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。

两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。

DP（扩散泵）图：水冷套；2.喷油嘴；3.导流管；4.泵壳；5.加热器