光纤白光干涉测量术

光纤白光干涉测量术第一页，共四十页，2022年，8月28日第二页，共四十页，2022年，8月28日第三页，共四十页，2022年，8月28日第四页，共四十页，2022年，8月28日第五页，共四十页，2022年，8月28日第六页，共四十页，2022年，8月28日第七页，共四十页，2022年，8月28日第八页，共四十页，2022年，8月28日第九页，共四十页，2022年，8月28日光程补偿法总结：2个干涉仪，一个传感，一个工作在扫描状态，在2干涉仪的光程差相同时，获得最大干涉条纹。或者扫描干涉仪的一个臂，在两臂光程差相同时得到最大条纹。缺点：只能实验室使用第十页，共四十页，2022年，8月28日波长扫描法宽带光源注入干涉仪，测量光谱中的周期波长间隔第十一页，共四十页，2022年，8月28日波长测量法中，用光谱仪获得的光谱第十二页，共四十页，2022年，8月28日波长扫描白光干涉测量中的问题：一、光谱仪昂贵，且不便于仪器化。一般有2种解决方案：

1、基于CCD阵列的光谱仪结合Fizeo干涉仪，或玻璃衍射光栅。但CCD在>1um无响应，与光纤系统的发展趋势不吻合

2、用可调谐F-P滤波器，或基于此的光纤激光器进行扫描，获得白光光谱，更适合仪器化和工程化二、白光光谱呈正弦分布，不能准确的测量出峰值处的波长第十三页，共四十页，2022年，8月28日波长扫描白光干涉光谱获取技术第十四页，共四十页，2022年，8月28日光谱仪和可调谐滤波器采集光谱比较（M-Z干涉仪）第十五页，共四十页，2022年，8月28日传统的OPD测量方法1.2.3.OPD与某一个峰的波长变换第十六页，共四十页，2022年，8月28日傅里叶变换频率法第十七页，共四十页，2022年，8月28日北京理工大学：

OPD测量中的相位测量技术白光干涉相位测量术原理第十八页，共四十页，2022年，8月28日目前已经研究的基于相位解调的

白光干涉测量术傅里叶变换白光干涉测量术傅里叶变换白光干涉相对测量术波长扫描白光干涉测量术相移白光干涉测量术白光干涉正交测量术第十九页，共四十页，2022年，8月28日1.傅立叶变换白光干涉测量第二十页，共四十页，2022年，8月28日实验结果第二十一页，共四十页，2022年，8月28日傅里叶变换白光干涉测量术复用2个传感器第二十二页，共四十页，2022年，8月28日傅立叶变换白光干涉相对相位测量术

原理（略）第二十三页，共四十页，2022年，8月28日2:波长扫描白光干涉测量术第二十四页，共四十页，2022年，8月28日解调原理第二十五页，共四十页，2022年，8月28日测量的相位与傅里叶变换白光干涉法的比较第二十六页，共四十页，2022年，8月28日3.相移白光干涉测量术一第二十七页，共四十页，2022年，8月28日3.相移白光干涉测量术二第二十八页，共四十页，2022年，8月28日第二十九页，共四十页，2022年，8月28日测量温度第三十页，共四十页，2022年，8月28日测量应变第三十一页，共四十页，2022年，8月28日连续加应变时与频率法的比较第三十二页，共四十页，2022年，8月28日4.白光干涉正交测量术目的：解决短光程差的干涉仪光程测量第三十三页，共四十页，2022年，8月28日第三十四页，共四十页，2022年，8月28日正交信号的李萨如图正交解调算法第三十五页，共四十页，2022年，8月28日双谱峰追踪法波动±170nm正交法波动为±80nm第三十六页，共四十页，2022年，8月28日号外：北京理工大学推出

光纤可调谐FP滤波器（OFTF）第三十七页，共四十页，2022年，8月28日性能自由光谱区宽度FSR：755nm3dB线宽=0.1~0.15nm精细度F=600-700损耗Loss=3dB第三十八页，共四十页，2022年，8月28