- 现行
- 正在执行有效
- 2009-10-30 颁布
- 2010-05-01 实施
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文档简介
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犌86
中华人民共和国国家标准
犌犅/犜16943—2009
代替GB/T16943—1997
电子工业用气体氦
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20091030发布20100501实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
书
犌犅/犜16943—2009
前言
本标准代替GB/T16943—1997《电子工业用气体氦》。
本标准与GB/T16943—1997相比主要变化如下:
———修改氦的适用范围(GB/T16943—1997的第1章,本版的第1章);
———修改规范性引用文件(GB/T16943—1997的第2章,本版的第2章);
———修改技术指标内容:增加一类产品纯度和杂质含量(GB/T16943—1997的第3章,本版的第
3章);
———修改瓶装氦抽样方法(GB/T16943—1997的4.1,本版的4.1.1);
———增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氦产品并规定检验方法(见4.1.1);
———增加管道输送的氦产品并规定检验方法(见4.1.2);
———增加氦的采样安全要求(见4.1.3);
———增加新的分析方法:增加用氦放电离子化气相色谱法测定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳组
分;增加其他方法测定总烃含量;当出现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见4.3);
———修改水分的测定方法(GB/T16945—1997的4.5,本版的4.5);
———修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16943—1997的第5章,本版的第5章);
———增加安全要求(见5.6);
———增加规范性附录A,并把采用氦离子化气相色谱法测定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳组
分的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A为规范性附录。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位:西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氦普北分气体工业有限公司、西南
化工研究设计院。
本标准主要起草人:刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T16943—1997。
Ⅰ
书
犌犅/犜16943—2009
电子工业用气体氦
1范围
本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到
的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。
分子式:He。
相对分子质量:4.003(按2005年国际相对原子质量)。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190—2009危险货物包装标志
GB/T3723工业用化学产品采样安全通则
GB5099钢质无缝气瓶
GB/T5832.1气体中湿度的测定电解法
GB/T6285气体中微量氧的测定电化学法
GB7144气瓶颜色标志
GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法
GB14194永久气体气瓶充装规定
GB16912深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程
气瓶安全监察规程
压力容器安全监察规程
压力管道安全管理与监察规定
3技术要求
3.1氦的质量应符合表1的要求。
表1技术指标
项目指标
氦气(He)纯度(体积分数)/10-2≥99.999999.9995
一氧化碳:0.1
-6
一氧化碳(CO)和二氧化碳(CO2)总含量(体积分数)/10<1
二氧化碳:0.1
-6
氮(N2)含量(体积分数)/10<0.52
-6
氧(O2)含量(体积分数)/10<0.20.5
总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/10-6<0.10.5
-6
水分(H2O)含量(体积分数)/10<0.2
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