标准解读

GB/T 16943-1997 是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 氦》。这项标准规定了电子工业所使用的氦气的质量要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保氦气作为电子工业原材料时的纯度与质量，满足该领域对高纯度气体的严格需求。

标准内容概览：

  1. 范围：明确了本标准适用于电子工业生产中使用的氦气，规定了其技术条件及试验方法。

  2. 规范性引用文件：列出了实施本标准时所依据或参考的其他相关标准和文件，这些文件对于理解和执行标准内容是必要的。

  3. 术语和定义：虽然具体定义未列出，通常会包括氦气纯度、杂质含量等基本概念的界定。

  4. 要求：

    • 纯度：详细规定了氦气的最低纯度要求，可能包括总杂质含量的最大允许限值。
    • 杂质含量：指定了氦气中可能含有的各种杂质元素（如氮、氧、氩等）的具体含量限制。
    • 物理化学性质：可能包括了氦气的压力、温度条件下的物化特性要求。

  5. 试验方法：

    • 描述了如何通过科学方法检测氦气的纯度和杂质含量，包括气相色谱分析、光谱分析等手段。
    • 规定了采样、预处理、分析过程的具体步骤和条件。

  6. 检验规则：

    • 包括了产品出厂前的检验项目、抽样方案、判定规则等，确保每批产品的质量符合标准要求。
    • 可能还包括了型式检验和监督检验的具体安排。

  7. 标志、包装、运输、储存：

    • 规定了氦气容器上应标注的信息，如产品名称、规格、批号、纯度等级、生产日期等。
    • 对包装材料、方式以及在运输和储存过程中的环境条件（如温度、压力）提出了要求，以防止污染或变质。

实施意义：

该标准的制定和实施有助于统一电子工业用氦气的质量标准，保证生产过程的稳定性和产品的可靠性，促进电子元器件和半导体制造业的高质量发展。同时，也为氦气供应商提供了明确的质量控制指标，便于国内外贸易中的品质鉴定与交流。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 16943-2009
  • 1997-08-13 颁布
  • 1998-05-01 实施
©正版授权
GB/T 16943-1997电子工业用气体氦_第1页
GB/T 16943-1997电子工业用气体氦_第2页
GB/T 16943-1997电子工业用气体氦_第3页
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文档简介

Te71.100.20G86中华人民共和国国家标准CB/T16943一1997电子工业用气体Gasesforelectronicindustry-Helium1997-08-13发布1998-05-01实施国家技术监督局发布

GB/T16943-1997前本标准是根据SEMIC3.20-一92《钢瓶装氮标准》（1995年版）制定的，在技术要求上与之等同，检验方法与之等效。在将SEMIC3.20—92转化为本国家标准时，结合我国的实际情况，删去了SEMIC3.20—92中仅作为参考的物理常数和注释等内容，试验方法中增加了抽样和氮气纯度两条，各项杂质含量的测定，分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异,并使标准的技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化工研究院、四川石油管理局六菱化工公司。本标准主娶起草人：余中玉、戴启文

中华人民共和国国家标准电子工业用气体GB/T16943-1997Gasesforelectronicindustry-Helium1范园本标准规定了电子工业用氨气的技术要求、检验方法以及包装、标志等,适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氮，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等：分子式：He相对分子质量：4.003(按1991年国际相对原子质量)2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T4844.1-1995工业氮气GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定电解法GB/T5832.2—86气体中微量水分的测定露点法GB/T6285—86气体中微量氧的测定电化学法GB/T8984.1一1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB/T8984.3-1997气体中总烃的测定火焰离子化法3要求电子工业用氮气的技术指标应符合表1的要求。表1技术指标VM日指标氨气纯度,10-99.9995一氧化碳和二氧化碳总含量,10-1.0氮含量,10-“2.0氧含量,10-0.5总烃(以甲烷计)含量，10

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