标准解读

《GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术　微几何量评定总则》是中国国家标准之一，旨在为微机电系统中的微几何量提供一套标准化的测量与评价方法。该标准适用于MEMS器件的设计、制造及质量控制过程中对尺寸、形状和位置等几何特征的评估。

根据该标准，微几何量是指在微米乃至纳米尺度上定义的长度、角度或其他相关参数。这些量度对于确保MEMS产品的性能至关重要。标准中详细规定了如何进行准确且可重复性的测量，并提供了不同应用场景下选择合适测量技术的原则。此外，还涵盖了数据处理方法，包括统计分析以及不确定度估计等内容，以保证测量结果的有效性和可靠性。

标准强调了使用适当工具和技术的重要性，比如扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等高精度仪器，在特定条件下能够实现对微小结构精确到亚微米甚至更小级别的观测与量化。同时，也讨论了环境因素如温度、湿度等可能对测量过程造成的影响及其控制措施。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-01-10 颁布
  • 2011-10-01 实施
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GB/T 26113-2010微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则_第1页
GB/T 26113-2010微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则_第2页
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文档简介

ICS31200

L55.

中华人民共和国国家标准

GB/T26113—2010

微机电系统MEMS技术

()

微几何量评定总则

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Generalrulesfortheassessmentofmicro-geometricalparameters

2011-01-10发布2011-10-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T26113—2010

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本标准主要起草单位中机生产力促进中心西安交通大学天津大学中原工学院

:、、、。

本标准主要起草人丁红宇张苹刘伟蒋庄德景蔚萱胡晓东赵则祥

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26113—2010

微机电系统MEMS技术

()

微几何量评定总则

1范围

本标准规定了微几何量的评定基本原则评定要素评定程序评定方法以及评定规则

、、、。

本标准适用于企业研究机构检测机构等从事微机电技术及产品的研究设计生产检测

、、、、、。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅所注日期的版本适用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

产品几何技术规范表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数

GB/T3505(GPS)、

产品几何量技术规范工件与测量设备的测量检验第部分测量设备

GB/T18779.2(GPS)2:

校准和产品检验中测量的不确定度评定指南

GPS

微机电系统技术术语

GB/T26111(MEMS)

3术语和定义

和中给出的术语和定义以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T3505GB/T26111。

31

.

微几何要素micro-geometricalfeature

构成微结构几何特征最基本的点线面

、、。

32

.

微几何量micro-geometricalparameter

构件的几何特征参数

MEMS。

33

.

尺寸特征featureofsize

由一定大小的线性尺寸或角度尺寸确定几何形状

。

34

.

表面结构surfacestructure

几何表面的重复性或偶然性偏差这些偏差形成该表面的三维形貌

,。

35

.

表面结构参数surfacestructureparameter

()()

表示表面微观几何特性的参数

。

36

.

形状特征charac

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