标准解读

GB/T 26249-2010《电子工业用气体 硒化氢》是一项国家标准，专门针对用于电子工业中的硒化氢气体。该标准规定了电子工业用硒化氢的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存等方面的要求。

技术要求部分明确了硒化氢气体的纯度级别及其杂质含量的最大允许值，确保其适用于特定的电子工业应用环境。对于不同等级的硒化氢，标准中设定了具体的指标，包括主成分含量、水分含量以及其他可能存在的微量杂质如氧、氮等的限量。

试验方法章节详细描述了如何通过化学分析或物理检测手段来测定硒化氢的质量参数，比如使用气相色谱法测定主要成分及某些特定杂质的浓度，采用露点仪测量水蒸气含量等。这些测试程序旨在保证产品符合既定规格，并为用户提供可靠的数据支持。

关于检验规则，标准定义了出厂前必须执行的一系列检查项目，涵盖外观、压力、密封性等多个方面，以确保每批次产品的安全性和一致性。此外，还指出了型式检验与常规检验的区别及其适用条件。

在包装、标志、运输和储存环节，GB/T 26249-2010提出了具体指导原则，强调了正确处理此类危险化学品的重要性。例如，需使用专用容器盛装，并在外包装上清晰标注警示信息；运输过程中要避免剧烈震动和高温环境；存储时则应远离火源和其他易燃物质，保持良好通风条件。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-01-14 颁布
  • 2011-05-01 实施
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文档简介

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犌８６

中华人民共和国国家标准

犌犅／犜２６２４９—２０１０

电子工业用气体硒化氢

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２０１１０１１４发布２０１１０５０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

书

犌犅／犜２６２４９—２０１０

前言

本标准的附录Ａ和附录Ｂ为规范性附录。附录Ｃ为资料性附录。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３／ＳＣ１）归口。

本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河

北保定市北方特种气体有限公司。

本标准主要起草人：周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵。

Ⅰ

书

犌犅／犜２６２４９—２０１０

电子工业用气体硒化氢

１范围

本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢

产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

分子式：Ｈ２Ｓｅ。

相对分子质量：８０．９７５８８（按２００７年国际相对原子质量计算）。

２规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有

的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

ＧＢ１９０危险货物包装标志

ＧＢ／Ｔ３７２３工业用化学产品采样安全通则

ＧＢ５０９９钢质无缝气瓶

ＧＢ／Ｔ５８３２．１气体中湿度的测定第１部分：电解法

ＧＢ７１４４气瓶颜色标志

ＧＢ／Ｔ８９８４气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法

ＧＢ／Ｔ１１６４０铝合金无缝气瓶

ＧＢ１４１９３液化气体气瓶充装规定

ＧＢ／Ｔ２６５７１特种气体储存期规范

《气瓶安全监察规程》（国家质量监督检验检疫总局发布，２０００年）

３技术要求

硒化氢的技术要求应符合表１的规定。

表１技术指标

项目指标

－２

硒化氢（Ｈ２Ｓｅ）纯度（体积分数）／１０≥９９．９９

－６

氢（Ｈ２）含量（体积分数）／１０≤２０

－６

氧＋氩（Ｏ２＋Ａｒ）含量（体积分数）／１０≤１０

－６

氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０≤２０

一氧化碳（ＣＯ）含量（体积分数）／１０－６≤１０

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（体积分数）／１０≤１０

总烃（以甲烷计）含量（体积分数）／１０－６≤１０

－６

硫化氢（Ｈ２Ｓ）含量（体积分数）／１０

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