GB/T 30704-2014表面化学分析X射线光电子能谱分析指南

ICS7104040

G04..

中华人民共和国国家标准

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

表面化学分析

X射线光电子能谱分析指南

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—

Guidelinesforanalysis

(ISO10810:2010,IDT)

2014-06-09发布2014-12-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号和缩略语

4……………1

样品分析概述

5……………2

样品表征

6…………………3

概述

6.1…………………3

样品形态

6.2……………4

材料类型

6.3……………5

样品处理和安装

6.4……………………6

样品处理

6.5……………6

仪器核查

7…………………7

概述

7.1…………………7

仪器检查

7.2……………7

仪器校准

7.3……………8

仪器设定

7.4……………12

宽扫描谱

8…………………13

数据采集

8.1……………13

数据分析

8.2……………14

窄扫描

9……………………15

概述

9.1…………………15

数据采集

9.2……………15

数据分析

9.3……………15

测试报告

10………………18

参考文献

……………………20

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准使用翻译法等同采用表面化学分析射线光电子能谱分析指南

ISO10810:2010《X》。

与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下

:

检测和校准实验室能力的通用要求

———GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

表面化学分析词汇

———GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本标准起草单位中国科学院化学研究所

:。

本标准起草人赵志娟刘芬赵良仲章小余

:、、、。

Ⅰ

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

引言

射线光电子能谱被广泛用于材料的表面分析将所测芯能级结合能与各种元素的结合能

X(XPS)。

表对照来识别样品中的元素除之外与纯元素态的数据比较其化学态可以根据谱峰位移以

(H、He)。,

及其他参数的变化来确定元素的定量信息从所测光电子峰的强度中得到利用公式和仪器厂商提供

。。

的或本仪器测量的相对灵敏度因子以及合适的软件可以计算所测表面层中各化学成分的含量

。

本标准是为了帮助射线光电子能谱仪的操作者进行典型样品的有效和有意义的分析

X。

Ⅱ

GB/T30704—2014/ISO108102010

:

表面化学分析

X射线光电子能谱分析指南

1范围

本标准适用于射线光电子能谱仪的操作者分析典型样品本标准帮助操作者完成整个分析过

X。

程包括样品处理谱仪校准和设定以及宽扫描谱和窄扫描谱的采集并给出了定量和准备最终报告的

,,,

建议

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

检测和校准实验室能力的通用要求

ISO/IEC17025(Generalrequirementsforthecompetenceof

testingandcalibrationlaboratories)

表面化学分析词汇第一部分通用术语和谱学术语

ISO18115-1——:(Surfacechemical

analysis—Vocabulary—Part1:Generaltermsandtermsusedinspectroscopy)

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

ISO18115-1。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件

。

俄歇电子能谱

AES(Augerelectronspectroscopy)

变角射线光电子能谱

ARXPSX(Angle-resolvedX-rayphotoelectronspectroscopy)

物质的量咨询委员会

CCQM(Consultativecommitteeforamountofsubstance)

有证标准参考物质

CRM()(Certifiedreferencematerial)

有效衰减长度

EAL(Effectiveattenuationlength)