标准解读

GB/T 31987-2015《电子工业用气体 锗烷》是一项国家标准，专门针对电子工业中使用的锗烷气体制定了详细的技术要求与试验方法。该标准适用于锗烷纯度不低于99.9%的产品，主要用于半导体材料的制备及其它相关领域。

标准内容首先界定了术语和定义，明确了锗烷作为研究对象的基本性质及其在电子工业中的应用背景。接着，在技术要求部分，除了规定了最低纯度要求外，还对可能存在的杂质成分如氧气、氮气、甲烷等设定了最大允许含量限制，确保产品质量满足使用需求。此外，对于水分这一关键指标也有明确的控制标准。

为了验证产品是否符合上述各项技术要求，GB/T 31987-2015提供了相应的分析检测方法，包括但不限于气相色谱法测定组分含量、露点仪测量水含量等。这些测试手段不仅能够准确反映样品的真实状态，也为生产企业和用户之间建立了一个公平合理的质量评估体系。

最后，包装、标志、运输及贮存等方面的要求也被纳入考虑范围之内，旨在保障锗烷从生产到最终使用的整个过程中都能保持其应有的品质特性，避免因不当处理而造成损失或安全隐患。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-09-11 颁布
  • 2016-05-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T31987—2015

电子工业用气体锗烷

Gasforelectronicindustry—Germane

2015-09-11发布2016-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T31987—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位上海华爱色谱分析技术有限公司佛山市华特气体有限公司中昊光明化工研究

:、、

设计院有限公司国家化学工业气体产品质量监督检验中心福建西南化工研究设计院有限公司

、()、。

本标准主要起草人方华裴友宏郭秀丽林宇巍陈熔周鹏云

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T31987—2015

电子工业用气体锗烷

1范围

本标准规定了锗烷的技术要求试验方法标志包装贮运和安全

、、、、。

本标准适用于氯化锗还原电解氧化锗的硫酸溶液锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品

、、。

它用于化学试剂制取高纯度锗化学气相淀积扩散非晶硅外延离子注入等领域

、、、、、、。

分子式

:GeH4。

相对分子质量按年国际相对原子质量计算

:76.662(2011)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

钢质无缝气瓶

GB5099

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB7144

液化气体气瓶充装规定

GB14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB16804

特种气体储存期规范

GB/T26571

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

气瓶安全监察规程版

(2000)

危险化学品安全管理条例版

(2011)

特种设备安全监察条例版

(2009)

3技术要求

锗烷的质量应符合表的要求

1。

表1技术指标

项目指标

锗烷纯度体积分数-2

(GeH4)()/10≥99.999

氢含量体积分数-6

(H2)()/10<50

氧氩含量体积分数-6

(O2)+(Ar)()/10≤2

氮含量体积分数-6

(N2)()/10≤

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