标准解读

《GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨》是一项国家标准，主要针对电子工业中使用的六氟化钨气体的质量控制和技术要求进行了规定。该标准详细描述了六氟化钨气体的纯度要求、杂质含量限制以及相关的测试方法等内容，旨在确保这种特殊气体在半导体制造等高技术领域的应用时能够达到所需的性能标准。

根据标准内容，六氟化钨（WF6）作为重要的电子特气之一，在集成电路制造过程中被广泛用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）等工艺中形成钨薄膜。为了保证最终产品的质量和稳定性，标准对六氟化钨中的水分、氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳以及其他可能存在的微量杂质设定了严格的上限值。此外，还特别强调了包装容器的选择与处理方式，以避免外部因素导致的产品污染或变质问题。


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  • 2015-12-31 颁布
  • 2016-07-01 实施
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文档简介

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T32386—2015

电子工业用气体六氟化钨

Gasesforelectronicindustry—Tungstenhexaflouride

2015-12-31发布2016-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T32386—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位中国船舶重工集团公司第七一八研究所厦门钨业股份有限公司西南化工研究

:、、

设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海仪盟电子科技有限公司

、、。

本标准主要起草人郑秋艳江海风王占卫方兰兰林竹光王志信方华杨任周鹏云

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T32386—2015

电子工业用气体六氟化钨

1范围

本标准规定了六氟化钨的技术要求试验方法包装标志贮运和安全

、、、、。

本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨该产品主要用于电子工业中金属钨化学

。

气相沉积工艺钨材料的制备等

、。

分子式

:WF6。

分子量按年国际相对原子质量计算

:297.8304192(2009)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

钢质无缝气瓶

GB5099

气体分析动态体积法制备校准用混合气体第部分渗透法

GB/T5275.1010:

气瓶颜色标志

GB7144

液化气体气瓶充装规定

GB14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB16804

特种气体储存期规范

GB/T26571

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

工业企业设计卫生标准

TJ36-79

气瓶安全监察规程版

(2000)

危险化学品安全管理条例版

(2002)

特种设备安全监察条例版

(2009)

3技术要求

六氟化钨的技术指标应符合表要求

1。

表1技术指标

项目名称指标

六氟化钨纯度体积分数-2

(WF6)()/10≥99.999.99999.999599.9999

四氟化碳含量体积分数-6

(CF4)()/10≤100.50.50.1

氮含量

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