标准解读
《GB/T 34479-2017 硅片字母数字标志规范》是一项国家标准,主要针对半导体行业中的硅片标识方法进行了规定。该标准旨在通过统一的字母数字编码系统来提高硅片管理的效率与准确性,适用于所有涉及单晶硅片生产、加工及使用的单位和个人。
根据文档内容,其核心在于定义了一套用于识别不同类型硅片的信息编码规则。这些信息包括但不限于硅片尺寸、电阻率范围、导电类型(N型或P型)、掺杂元素种类等关键参数。每一种属性都被赋予了特定的字母或者数字代码,使得即便是在不同企业间流转时也能保证信息传递的一致性与可读性。
此外,《GB/T 34479-2017》还详细列出了如何将上述各项指标组合成一个完整的编码字符串,并给出了具体的示例说明。例如,对于某一特定规格的硅片而言,其完整的编码可能由表示直径大小、厚度等级、电阻率区间等多个部分组成。这种结构化的编码方式不仅便于自动化设备读取处理,也利于人工快速检索和分类。
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....
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- 现行
- 正在执行有效
- 2017-10-14 颁布
- 2018-07-01 实施
文档简介
ICS29045
H80.
中华人民共和国国家标准
GB/T34479—2017
硅片字母数字标志规范
Specificationforalphanumericmarkingofsiliconwafers
2017-10-14发布2018-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T34479—2017
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准
(SAC/TC203)
化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口
(SAC/TC203/SC2)。
本标准起草单位有研半导体材料有限公司浙江省硅材料质量检验中心
:、。
本标准主要起草人张静孙燕边永智楼春兰
:、、、。
Ⅰ
GB/T34479—2017
硅片字母数字标志规范
1范围
本标准规定了硅片或其他半导体晶片上字母数字标志的编码规范包括标志的形状和尺寸字母数
,、
字代码的定义要求和字母数字错码检验方法等
、。
本标准适用于在硅片及其他晶片正面或背面的编码标志
。
注字母数字标志及关联信息存入数据库可被简单的自动光学字符读数仪或人工进行独立快速识别确
:,(OCR)、,
保晶片制造商对晶片标记的一致性
。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
半导体材料术语
GB/T14264
供应商识别码列表
SEMIAUX001(Listofvendoridentificationcodes)
自动光学字符读数字符概述
SEMIAUX015(SEMIOCRcharacteroutlines)
3术语和定义
界定的以及下列术语和定义适用于本文件
GB/T14264。
31
.
字符间隔characterseparation
任意字符的相邻边界之间的水平距离
。
32
.
字符间距characterspacing
相邻字符的字符中心线之间的水平距离
。
33
.
字符倾斜度characterskew
字符的基线与字符的窗口底部平行线之间的字符倾斜度
。
34
.
相邻字符未对准度charactermisalignment
Radj
同一行两个相邻字符的字符基线之间的垂直距离
。
35
.
行字符未对准度linespacingmisalignment
Rline
同一行中最高和最低字符的基线之间的垂直距离
。
4标志的形状和尺寸
41写入字符时可使用实线法或点阵法最小点阵尺寸应为水平方向个点垂直方向个点如图
.
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