GB/T 5226.33-2017机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件

ICS29020

J09.

中华人民共和国国家标准

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

机械电气安全机械电气设备

第33部分半导体设备技术条件

:

Electricalsafetyofmachinery—Electricalequipmentofmachines—

Part33Reuirementsforsemiconductorfabricationeuiment

:qqp

(IEC60204-33:2009,Safetyofmachinery—Electricalequipmentofmachines—

Part33:Requirementsforsemiconductorfabricationequipment,IDT)

2017-10-14发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

目次

前言

…………………………Ⅶ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………3

基本要求

4…………………11

一般原则

4.1……………11

电气设备的选择

4.2……………………11

电源

4.3…………………11

实际环境和运行条件

4.4………………12

运输和存放

4.5…………………………12

设备搬运

4.6……………12

安装

4.7…………………12

引入电源线端接法和切断开关

5…………12

引入电源线端接法

5.1…………………12

连接外部保护接地系统的端子

5.2……………………13

电源切断隔离开关

5.3()………………13

附加切断装置

5.4………………………15

对未经允许疏忽和错误连接的防护

5.5、……………15

电击防护

6…………………16

概述

6.1…………………16

直接接触的防护

6.2……………………16

间接接触的防护

6.3……………………17

采用的保护

6.4PELV…………………18

防止有技能人员和受训人员接触危险带电部分

6.5…………………19

电气设备的保护

7…………………………19

概述

7.1…………………19

过电流保护

7.2…………………………20

电动机的过热保护

7.3…………………22

电动机的超速保护

7.4…………………22

异常温度的检测

7.5……………………23

对电源中断或电压降落随后复原的保护

7.6…………23

接地故障残余电流保护

7.7/…………23

相序保护

7.8……………23

闪电和开关浪涌引起过电压的防护

7.9………………23

电解电容器

7.10………………………23

等电位联结

8………………23

Ⅰ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

概述

8.1…………………23

保护联结电路

8.2………………………25

功能联结

8.3……………27

限制大泄漏电流影响的措施

8.4………………………27

控制电路紧急断开和保护联锁电路

9,(EMO)…………27

控制电路

9.1……………27

紧急断开

9.2(EMO)…………………28

紧急断开之外的操作

9.3………………29

联锁保护

9.4……………30

安全功能和或保护措施的暂时停止

9.5()……………31

操作板和安装在机械上的控制器件

10…………………31

总则

10.1………………31

按钮

10.2………………32

指示灯

10.3……………33

光标按钮

10.4…………………………34

旋动控制器件

10.5……………………34

起动器件

10.6…………………………34

紧急断开装置

10.7……………………34

紧急停止装置

10.8……………………35

使能控制器件

10.9……………………35

控制设备位置安装和电柜

11:、…………35

一般要求

11.1…………………………35

位置和安装

11.2………………………35

防护等级

11.3…………………………36

电柜

11.4………………36

导线和电缆

12……………38

一般要求

12.1…………………………38

绝缘

12.2………………39

载流容量

12.3…………………………39

导线和电缆的电压降

12.4……………39

柔性电缆

12.5…………………………39

配线技术

13………………40

连接和布线

13.1………………………40

多插座组件

13.2………………………42

插头插座组合件

13.3/…………………42

导线的标识

13.4………………………42

电柜外配线

13.5………………………43

管道接线盒与其他线盒

13.6、…………45

电动机及有关设备

14……………………46

一般要求

14.1…………………………46

远程安装的电动机

14.2………………46

Ⅱ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

电机尺寸

14.3…………………………46

电机的安装与隔间

14.4………………46

附件和照明

15……………46

附件

15.1………………46

半导体设备的局部照明

15.2…………46

标记警告标志和参照代号

16、……………47

概述

16.1………………47

电击危险警告标志

16.2………………47

功能识别

16.3…………………………47

设备的铭牌

16.4………………………48

参照代号

16.5…………………………48

技术文件

17………………48

概述

17.1………………48

提供的资料

17.2………………………48

适用于所有文件的要求

17.3…………49

安装文件

17.4…………………………49

概略图和功能图

17.5…………………50

电路图

17.6……………50

操作文件

17.7…………………………50

维修文件

17.8…………………………50

测试

18……………………51

概述

18.1………………51

接地连续性和保护联结回路连续性试验

18.2………51

一体式电源线的接触电流试验

18.3…………………52

耐压试验

18.4…………………………52

电线防拉试验

18.5……………………53

电输出源短路试验

18.6………………54

联锁保护电路功能试验

18.7…………54

储能电容器放电试验见

18.8(6.2.4)…………………54

温度试验

18.9…………………………55

电柜强度试验的稳定力试验

18.10;30N……………55

电气柜强度试验的稳定力试验

18.11;250N………56

指型试具试验

18.12……………………56

导线弯曲试验

18.13……………………56

绝缘电阻试验

18.14……………………57

功能试验

18.15EMO…………………57

输入电流试验

18.16……………………57

其他安全电路实验

18.17………………57

电动机温度试验

18.18…………………57

附录规范性附录在系统中的基本保护间接接触的防护来自

A()TN()(GB/T16895.21—2011

和

GB/T16895.23—2012)……………………59

Ⅲ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

附录规范性附录在系统中间接接触的防护来自和

B()TT(GB/T16895.21—2011

GB/T16895.23—2012)…………62

附录规范性附录导体载流能力电气间隙和爬电距离

C()、…………64

附录规范性附录标准试指

D()…………70

附录资料性附录系统接地型式引自

E()(IEC60364-1:2005)………72

参考文献

……………………86

图电气设备等电位接地示例

1…………24

图电气外壳前面空间

2…………………38

图故障环路阻抗测量典型配置

A.1……………………61

图刚性试指

D.1…………………………70

图铰接试指

D.2…………………………71

图整个系统的中性线和保护导体是分开的系统

E.1TN-S…………73

图整个系统的接地相线和保护导体是分开的系统

E.2TN-S………73

图有保护接地没有配电中性导体的系统

E.3,TN-S…………………74

图三相四线的系统中在装置中某处和是分开的

E.4TN-C-S,PENPEN…………74

图三相四线的系统中在进线端分开成和

E.5TN-C-S,PENPEN………………75

图单相两线的系统中在进线端分开成和

E.6TN-C-S,PENPEN………………75

图系统整个系统中性导体和保护导体合一

E.7TN-C…………………76

图在用电设备中保护导体和中性线分开的的多电源系统

E.8TN-C-S……………77

图具有两相或三相负载整个系统只有保护导体而没有中线的多电源系统

E.9,TN………………78

图在整个装置中中性线和保护导体分开的系统

E.10TT……………79

图在整个装置中具有接地保护导体而没有中线的系统

E.11TT……79

图所有外露可导电部分通过一个共地的保护导体互连的系统

E.12IT……………80

图外露可导电部分成组接地或单独接地的系统

E.13IT……………80

图直流系统

E.14TN-S…………………81

图直流系统

E.15TN-C…………………82

图直流系统

E.16TN-C-S………………83

图直流系统

E.17TT……………………84

图直流系统

E.18IT……………………85

表无热保护的变压器过电流保护

1……………………21

表带热保护的变压器过电流保护

2……………………22

表按钮操动器的颜色代码及其含义

3…………………32

表按钮符号

4……………33

表指示灯的颜色及其相对于半导体设备状态的含义

5………………34

表电气设备部件可接受的温度

6………………………55

表系统的最长切断时间

A.1TN………………………59

表最长切断时间

B.1……………………63

表的导体载流量环境温度

C.1AWG30-4,30℃……………………64

表2的导体载流量环境温度

C.225mm~600kcmil,30℃…………65

表降额载流量根据表和表22

C.3(C.1C.2)0.050mm~4.00mm…………………65

Ⅳ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

表环境温度校正系数

C.4………………66

表非绝缘母线尺寸

C.5…………………66

表洁净室等级或以下的电气间隙和爬电距离

C.61000……………68

表印刷线路板爬电距离

C.7(PWB)……………………68

表洁净室等级以上的电气间隙和爬电距离

C.81000………………69

Ⅴ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

前言

机械电气安全机械电气设备拟分成部分出版已经发布如下几部分

GB/T5226《》,:

第部分通用技术条件

———1:;

第部分建设机械技术条件

———6:;

第部分电压高于或但不超过的高压设备的技术条件

———11:1000Va.c.1500Vd.c.36kV;

第部分缝纫机缝制单元和系统的特殊安全和电磁兼容性方面的要求

———31:、;

第部分起重机械通用技术条件

———32:;

第部分半导体设备技术条件

———33:。

本部分为的第部分

GB/T522633。

本部分按给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻译法等同采用机械安全机械电气设备第部分半导体设

IEC60204-33:2009《33:

备技术条件第版英文版

》(1,)。

与本部分中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下

:

标准电压

———GB/T156—2007(IEC60038:2002,MOD)

外壳防护等级代码

———GB/T4208—2017(IP)(IEC60529:2001,IDT)

所有部分电气简图用图形符号所有部分

———GB/T4728()[IEC60617()]

信息技术设备安全第部分通用要求

———GB4943.1—20111:(IEC60950-1:2005,MOD)

电工电子产品着火危险试验第部分试验火焰水平与垂

———GB/T5169.16—200816:50W

直火焰试验方法

(IEC60695-11-10:2003,IDT)

所有部分电气设备用图形符号所有部分

———GB/T5465()[IEC60417()]

所有部分机械安全控制系统有关安全部件所有部分

———GB/T16855()[ISO13849()]

机械安全控制系统有关安全部件第部分设计通则

———GB/T16855.1—20081:(ISO13849-

1:2006,IDT)

所有部分机械安全指示标志和操作所有部分

———GB/T18209()、[IEC61310()]

变压器电抗器电源装置及其组合的安全第部分通用要求和试

———GB/T19212.1—2016、、1:

验

(IEC61558-1:2009,MOD)

机械安全双手操纵装置功能状况及设计原则

———GB/T19671—2005(ISO13851:2002,

MOD)

所有部分电气电子可编程电子安全相关系统的功能安全所有

———GB/T20438()//[IEC61508(

部分

)]

本部分做了下列编辑性修改

:

标准名称改为机械电气安全机械电气设备第部分半导体设备技术条件

———《33:》。

本部分由中国机械工业联合会提出

。

本部分由全国工业机械电气系统标准化技术委员会归口

(SAC/TC231)。

本部分负责起草单位中微半导体设备上海有限公司

:()。

本部分参加起草单位北京机床研究所上海微电子装备有限公司北京北方微电子基地设备工艺

:、、

研究中心有限责任公司沈阳拓荆科技有限公司北京七星华创电子股份有限公司中晟光电设备上

、、、(

海有限公司理想太阳能上海有限公司盛美半导体设备上海有限公司

)、()、()。

本部分主要起草人李天笑黄祖广王海涛田保峡郭和平沈红孙东曦潘菊凤孙岩刘忠武

:、、、、、、、、、、

张志强李补忠薛瑞娟

、、。

Ⅶ

GB/T522633—2017/IEC60204-332009

.:

机械电气安全机械电气设备

第33部分半导体设备技术条件

:

1范围

的本部分规定了半导体设备相关的制造测量组装和测试的电气电子和可编程电子

GB/T5226、、、

设备及系统的安全要求

。

注1本部分中的电气一词包括电气电子和可编程电子设备三方面如电气设备是指电气设备电子设备和可编

:“”、(、

程电子设备

)。

注2就本部分而言人