JJF 1932-2021椭偏仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1932—2021

椭偏仪校准规范

CalibrationSpecificationforEllipsometers

2021-12-08发布2022-06-08实施

国家市场监督管理总局发布

JJF1932—2021

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椭偏仪校准规范ॣॣ

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归口单位全国光学计量技术委员会

:

主要起草单位中国计量科学研究院

:

中国兵器工业第二〇五研究所

参加起草单位中国电子科技集团公司第四十一研究所

:

上海市计量测试技术研究院

陕西省计量科学研究院

本规范委托全国光学计量技术委员会负责解释

JJF1932—2021

本规范主要起草人

:

刘文德中国计量科学研究院

()

陈赤中国计量科学研究院

()

王雷中国兵器工业第二〇五研究所

()

参加起草人

:

孙权社中国电子科技集团公司第四十一研究所

()

叶军安上海市计量测试技术研究院

()

李奕陕西省计量科学研究院

()

JJF1932—2021

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和计量单位

3………………………(1)

概述

4……………………(2)

计量特性

5………………(3)

波长示值误差

5.1………………………(3)

光谱带宽

5.2……………(3)

入射角示值误差

5.3……………………(3)

椭偏角测量重复性

5.4…………………(3)

波片延迟量示值误差

5.5………………(3)

椭偏角示值误差

5.6……………………(3)

校准条件

6………………(3)

环境条件

6.1……………(3)

测量标准及其他设备

6.2………………(3)

校准项目和校准方法

7…………………(4)

校准前检查

7.1…………(4)

波长示值误差

7.2………………………(4)

光谱带宽

7.3……………(4)

椭偏角测量重复性

7.4…………………(4)

入射角示值误差

7.5……………………(4)

波片延迟量示值误差

7.6………………(5)

椭偏角的示值误差

7.7…………………(6)

校准结果表达

8…………(6)

复校时间间隔

9…………(7)

附录校准证书内页格式供参考

A()………………(8)

附录校准原始记录格式供参考

B()………………(10)

附录不确定度评定示例

C……………(12)

附录硅表面氧化硅的椭偏光学模型

D………………(15)

附录波片调节示例

E…………………(16)

Ⅰ

JJF1932—2021

引言

通用计量术语及定义测量不确定评定与表示和

JJF1001《》、JJF1059.1《》

国家计量校准规范编写规则共同构成支撑本规范编订的基础性系列规范

JJF1071《》。

本规范为首次发布

。

Ⅱ

JJF1932—2021

椭偏仪校准规范

1范围

本规范适用于波长范围在内的椭偏仪的校准

250nm~2000nm。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

偏光仪校准规范

JJF1497

光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程

GJB/J5463

用于集成计量的椭偏仪设备特性指南

SEMIE141-0705(Guideforspecificationof

ellipsometerequipmentforuseinintegratedmetrology)

椭偏术手册

HandbookofEllipsometry,,HGTompkinsandEAIrene(eds.),

WilliamAndrewPublishing,2005

椭偏术和偏振光

EllipsometryandPolarizedLight,,RMAAzzamandNMBashara,

North-HollandPhysicsPublishing,1977

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

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件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语和计量单位

入射面

3.1planeofincidence

入射光束和反射光束张成的面