• 现行
  • 正在执行有效
  • 1983-08-18 颁布
  • 1984-10-01 实施
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文档简介

YB中华人民共和国治金工业部部标准YB1601-83硅务1983-08-18发布1984-10-01实施中华人民共和国治金工业部批准

中华人民共和国治金工业部标多YB1601-83中国标准出版社出版发行北京西城区复兴门外三里河北街16号邮政编码：100X45htp://电话：(01051299090、685220061984年11月第一版书号，1151692-5584版权专有浸权必究举报电话：（010）68522006

中华人民共和国治金工业部部标准YB1601-83硅品本标准适用于三氯氢硅、四氯化硅氢还原法和硅烧热分解法制取的棒状高纯硅多品技术要求1.1硅多晶技术参数指标应符合下表规定。一级特级品二级品级品三级品二结晶致密，表面较平整，，断面无夹层表面及断面状态结晶致密，裘面较平整，无氧化夹层直径，m加二25二25二25二25直径允许偏差，%+5+5士5全5基硼电阻率，R·m二4500二2600二1500二1000N型电阻宰，9·mn二450>150二300二60N型少数软流子寿命，s二500二300>150二100含碳量，个原子/cm°<2×100<5×1010<5×1010含氧量，个原子/cm°<1×1010<5×10！<5×101注：○基硼电阻率和殡、氧含最为保证值。生产厂应经常进行基硼电阻率的检测。每年定期进行碳、氧含量的分新。QN型少数载流子寿命值系指氢气下检验工艺测试的寿命值。“需方如有特珠要求，供需双方可另行协议。2试验方法和检验规购2.1试验方法2.1.1导电类型测试按GB1550一79*硅单品导电类型测定方法》进行。2.1.2N型少数载流子寿命测试按GB1553—7《高频光电导衰诚方法》进行，取其纵向中间部位所测得的寿命值。2.1.3P型、N型电阻率测试按GB1552-79《硅单晶电阻率直流器探针测量方法》进行。2.1.4含氧量、含碳量的测试分别按GB1557—83“硅单品中间隙氧含量的红外吸收方法》及GB1558一83《硅单品中代位碳含量的红外吸收方法》进行。2.1.5裘面状态用肉眼检查。2.1.6断面状态检验按GB4061一83《硅多品的断面夹层化学腐蚀检验方法》进行.2.1.7直径用游标卡尺测量.直径及其偏差测量位置（系指同一支多品棒）如下图所示。直径允许偏登的规定仅适用于区熔法用的硅多品。2.2检验规则2.2.1产品应由供方技术监督部门进行验收，保证产品符合本标准要求，并填写产品质量证明书。2.2.2需方可对收到的产品进行质量检验，如检验结果与本标准规定不符时，可在收到产品之

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