标准解读

《YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉》是一项针对用于制备钌靶材的钌粉的技术标准。该标准规定了钌粉的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的内容。

根据此标准，钌粉需满足一定的化学成分要求，主要关注的是钌含量以及其他可能存在的杂质元素的最大允许量。此外，对于钌粉的物理性能也有明确的规定，比如粒度分布、松装密度等参数，这些都直接关系到最终制备出的钌靶的质量。

在试验方法部分，标准详细描述了如何通过特定的方法来检测钌粉的各项指标是否符合规定的要求。这包括采用何种仪器设备、遵循怎样的操作步骤以及对测试结果进行评价的标准等。

检验规则方面，《YS/T 1068-2015》明确了产品出厂前必须经过哪些项目的检查，并且规定了抽样方案及判定准则，确保每一批次的产品都能达到相应的质量水平。

最后，在包装、标志、运输和贮存章节中，则是给出了关于如何妥善处理钌粉的具体指导，旨在防止材料在物流过程中受到污染或损坏，保证其安全有效地送达用户手中并保持良好的状态直至使用。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-04-30 颁布
  • 2015-10-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7715099

H68..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T1068—2015

制备钌靶用钌粉

Rutheniumpowderforrutheniumsputtteringtarget

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和国有色金属

行业标准

制备钌靶用钌粉

YS/T1068—2015

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

201510

*

书号

:155066·2-28953

版权专有侵权必究

YS/T1068—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位贵研铂业股份有限公司有色金属技术经济研究院

:、。

本标准起草人谭志龙郭俊梅张俊敏向磊王传军毕珺闻明管伟明陈松朱武勋

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1068—2015

制备钌靶用钌粉

1范围

本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求试验方法检验规则及标志包装

、、、、

运输贮存质量证明书和合同或订货单内容

、、()。

本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉以下简称钌粉

()。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

金属粉末振实密度的测定

GB/T5162

金属粉末粒度分布的测量重力沉降光透法

GB/T6524

钌粉化学成分分析方法铅铁镍铝铜银金铂铱钯铑硅量的测定辉光

GB/T23275、、、、、、、、、、、

放电质谱法

高温合金化学分析方法第部分高频感应燃烧红外线吸收法测定碳含量

HB5220.33:-

高温合金化学分析方法第部分脉冲加热红外热导法测定氧氮含量

HB5220.4949:-、、

3要求

31产品分类

.

钌粉按纯度分为四个牌号

:SMP-Ru-99.95、SMP-Ru99.99、SMP-Ru-99.995、SMP-Ru99.99、

SMP-Ru-99.999。

32化学成分

.

钌粉的化学成分应符合表的规定钌粉中钌的含量为减去表中杂质元素实测总和的余

1。100%1

量牌号中总杂质元素计算不包括元素

。SMP-99.999Si。

表1钌粉的化学成分

%

产品牌号

SMP-99.95SMP-99.99SMP-99.995SMP-99.999

钌含量

不小于99.9599.9999.99599.999

Ag0.00040.00040.00020.00005

金属杂质含量

Al0.0050.0010.00050.00005

不大于

Au0.005

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