一种基于液面的物体水平度测量方法_第1页
一种基于液面的物体水平度测量方法_第2页
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说明书本发明公开一种基于液面的物体水平度测量方法。激光回馈仪（1）的（2光回馈仪（1）得到的液面反射信号大小调节激光回馈仪（1）的俯仰，（5，在光线（3（3，的信号幅值最强时，物体表面的水平度最好。移动激光回馈仪（1）或者被回馈仪（1）的位移测量精度高达nm量级，所以移动方向的水平度测量精度（2（4，（2（5（3调节被测物（3）使光线（2）反射最强，激光回馈仪（1）的信号最强。水根据权利要求1所述的一种基于液面的物体水平度测量方法，其特征在于：利用激光回馈仪（1）的激光回馈原理，使用物体表面的散射光或反射光对被测物（3）的水平度进量。根据权利要求1所述的一种基于液面的物体水平度测量方法，其特征在（2根据权利要求1所述的一种基于液面的物体水平度测量方法，其特征在（3，根据权利要求1所述的一种基于液面的物体水平度测量方法，其特征在一种基于液面的物体技术领技术背的水平仪利用人眼观察气泡位置来调整角度人的误差及操作误差使其只能简单定性地测量物体的水平度。光学象限仪检测方法繁琐、读数、精度难以发明内馈仪竖直方向测量光进行校准再利用校准后的竖直测量光对被测物的水平（2（4，（2（5（3调节被测物（3）使光线（2）反射最强，激光回馈仪（1）的信号最强，此附图说具体实施方（2（4，（2（5（3使光（2反射最强激光回馈（1的信号最强此时被测（3）具

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