前言电子显微镜课件

材料电子显微学ElectronMicroscopyinMaterials1本课程适用于材料科学、物理学、化学工程、机械工程等学科的本科生。本课程讲述电子显微镜及其在材料科学中的应用，主要包括电子显微学的主要原理，电子衍射结构分析，电子衍衬图象解释，以及电子显微分析技术的最新进展。课程简介2基本要求通过本课程的学习，初步掌握分析电子显微学的主要原理，电子衍射结构分析，电子衍衬图象解释，了解电子显微分析技术的最新进展，能够正确地运用电子显微学基本原理开展有关材料微结构与性能关系的研究。3学习内容前言-电镜的发展历史简介电子光学基础与电子透镜电子显微镜的主要结构与成像试样制备衍射花样分析电镜显微图像解释X射线显微分析和俄歇能谱分析5

前言6肉眼7复合式显微镜9MarcelloMalpighi通过显微镜为血液循环理论提供了证据

RobertHook改进了显微镜，并发现了细胞

显微镜的发展历史

——17世纪RobertHooke和他的显微镜10Hooke观察到的软木片的细胞结构Hooke显微镜下的跳蚤11现代的光学显微镜显微镜的发展历史

——18~19世纪13光学显微镜的缺陷在光学显微镜的完善和发展过程中，人们发现：不管如何完善光学显微镜的透镜和结构，其放大倍数和分辨率总是被限定在1000多倍和几百纳米的水平，不可能再有新的突破。1415光学显微镜的分辨本领要提高显微镜的分辨本领，关键是要有短波长的照明源。必须寻找一种波长短，且能使之聚焦成像的新型的照明源，才有可能突破光学显微镜分辨本领和放大倍数的理论极限。17显微镜的发展历史

——20世纪两个发现法国科学家德.布罗意（DeBroglie）

50kv加速电压下，电子的波长大约为0.05Å18显微镜的发展历史

——20世纪两个发现德国科学家加博尔和布施短焦距、有会聚能力的线圈对电子能起透镜的作用，就如同普通的可见光通过光学透镜被折射聚焦一样。19显微镜的发展历史

——20世纪鲁斯卡（Ruska）的早期工作1933年，鲁斯卡（Ruska）和克诺尔（Knoll）共同设计成功了一台电子光学装置。1933年底，建成了一台真正的电子显微镜。21其他人的工作显微镜的发展历史

——20世纪1933年底，Marton(马顿)1935年，Drest(德里斯特)和Mueller(米勒)1935年，Knoll（克诺尔）22第一台实用电子显微镜1938年，鲁斯卡（Ruska）成功研制出了世界上第一台真正实用的透射电子显微镜。分辨本领可达100Å，比光学显微镜提高了20倍。显微镜的发展历史

——20世纪231952年，英国工程师CharlesOatley制造出了第一台扫描电子显微镜（SEM）。显微镜的发展历史

——20世纪251983年，IBM公司苏黎世实验室的两位科学家GerdBinnig（宾尼希）和HeinrichRohrer（罗雷尔）发明了扫描隧道显微镜（STM）。显微镜的发展历史

——20世纪扫描隧道显微镜下的由单个原子构成的“IBM”字样扫描隧道显微镜下的由单个原子排成的环26扫描电子显微镜（SEM）扫描隧道显微镜