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非平衡态热力学部分-复习要点本内容的，它将过程进展时间扩展到无穷。同时，将物理空间限制在孤立体系或封闭体系。一种理想状态。重要。以实现的。平衡热力学认为：在低压下不可能实现由石墨到金刚石的转变。平衡热力学认为：在低压下不可能实现由石墨到金刚石的转变。件或趋于平衡的条件。△G＝△H－△S＝2901J.molg→dg→dg→d碍了低压人造金刚石工作的正常发展长达十多年之久。非平衡热力学:在非平衡的低压条件下，由石墨转变生成金刚石是完全可能的。激活低压气相制备金刚石法：热丝法(HFCVD)、微波等离子体法、射频等离子体CVD法(RFCVD)、化学气相传输法、激光诱导CVD法等重要特点:在金刚石薄膜的制备过程中必须有外界能量的不断激励以激活反应源物质。低气压法制造金刚石是应用化学反应耦合改变化学反应方向的成功实例。根据热力学计算，如果不用催化剂，在15GPa的压力和3000K以上的温度，石墨才能转变为金刚石。然而在1976年前苏联科学家DergaginSpitsyn和Fedoseev等采用向反应体系中引入氢气，工艺是：在一反应器中，以钼、镍或钽为发热体，通电产生热量，其温度为～，生长金刚石薄膜的衬底温度为1073～。向反应器中通入％CH和99％H。42在沉地上就能自发生成金刚石薄膜，其生长速率为μm/h厚。当热力学力很弱时，即体系的状态偏离平衡态很小时，热力学小熵产生原理。昂萨格倒易理论”和最小熵产生原理为近平衡态线性区热力学奠定了理论基础。称限制条件）相适应的非平衡定态的熵产生

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