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文档简介

实验指导书教学单位:电子信息学院课程名称:集成电路工艺基础面向专业:电子科学与技术电子科技大学中山学院2013年9月实验指导书实验名称:实验一使用ATHENA软件仿真MOS管工艺学时安排:4学时实验类别:综合性实验要求:必做 ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄一、实验目的和任务二、实验原理介绍是和有是和。三、实验设备介绍四、实验内容和步骤1套有仿真输入和编辑的窗口,也有仿真输出和控制的窗口。实验中所用软件为绿色版,在目录\Silvaco\lib\Deckbuild\3.0.1.R\x86-NT图为、1图Npx和yxy和的x=x=1y=0=y==2x=x=1y=0=y==为为图图和3|||||表4表5||表|||6||表和#xx7xx#yyyy############8######a###D######9#####\#\#\#a\v\\10##-图图.,在11从或用#####\-\**\-

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