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文档简介

吸气剂泵的学习课件第1页/共12页吸气剂泵的应用●获得超高和极高真空的系统可以用NEG和离子泵、低温泵联合抽气达到指标；●利用NEG只能抽除活性气体，不能抽除惰性气体的特点，用于惰性气体的纯化；●广泛使用于以下领域：粒子加速器和同步辐射光源、核聚变装置、空间技术、表面科学、材料科学分析、检测和计量设备、原子钟、便携式真空仪器等。第2页/共12页吸气泵特性：●无油、无震动、无电磁场；●对活性气体抽速高、抽气容量大，但不能抽除惰性气体和甲烷等气体；●抽速和压强无关，和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa；●抽速体积比高，抽速价格比高；●激活后室温抽气无需电源；●重量轻，更换NEG泵芯方便；●可以根据实际要求设计泵的结构形状和抽速大小。第3页/共12页吸气剂（getter）在烧结过程中吸收或化合烧结气氛中对最终产品有害的物质的材料。吸气机理：①蒸散吸气②表面吸附③内部扩散第4页/共12页非蒸散型吸气剂(NonEvaporableGetter,NEG)泵：高真空泵，以合金充当吸气剂与活性气体结合,获得和维持系统的真空度。具有对活性气体抽速大、清洁无油、无活动部件、无振动、室温抽气等一系列优点,近年来已在光源、高能粒子加速器、电子器件、空间科学等领域得到广泛应用。第5页/共12页不同气体抽气速率分析NEG抽纯氢时,抽速随吸气量的增加下降很慢;由于混合气体中CO的存在,NEG对H2的抽速随H2吸气量的增加下降很快。第6页/共12页不同气体抽气速率分析混合气中的H2对NEG吸收CO的行为影响极小。第7页/共12页不同气体抽气速率分析NEG对CO抽速大于对H2抽速。NEG的抽速主要取决于表面的粘着系数及抽气通道的流导。表面粘着系数越大,受抽气通道的流导影响也就越大。CO比H2活性大,CO在NEG上的粘着系数大于H2。因此,NEG对CO的抽速要大于H2。NEG对混合气体的总抽速介于两个分抽速之间,而不是两个分抽速之和第8页/共12页结论(1)在一个相当大的吸气量范围内,NEG对纯H2的抽速随H2吸气量的增加下降很慢,混合气体中的NEG对H2的抽速由于受CO影响,随H2吸气量的增加而下降明显。(2)NEG对CO的抽速不受H2影响。因此,在纯气或混合气中NEG对CO抽速随CO吸气量变化曲线基本相同。(3)NEG对混合气的总抽速不等于对各类气体的分抽速之和。第9页/共12页第10页/共12页ThankYouforyourattention

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