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文档简介

第十一章

使用L-Edit课件L-Edit是一个画布局图的工具,即以各种不同颜色或图样的图层组合光罩的图样,本章的范例绘制PMOS组件与NMOS组件的布局图操作流程:进入L-Edit---建立新文件---环境设定---编辑组件---绘制多种图层形状---设计规则检查---修改对象---设计规则检查。(1)打开L-Edit程序(2)另存新文件(4)编辑组件(5)设计环境设定(8)截面观察(10)截面观察(11)设计规则检查(12)绘制PSelect图层(14)设计规则检查(16)修改对象(17)截面观察课后练习修改本范例截面流程的定义文件lights.xs的内容,将poly流程的顺序提到p+扩散与n+扩散的前面,并观看截面观察功能显示的结果。修改本范例截面流程的定义文件lights.xs的内容,去掉poly流程的步骤,并观看截面观察功能显示的结果。

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