第六章阻抗测量

第六章阻抗测量第一页，共七十一页，2022年，8月28日-元件的工业趋势VHS3214567890*#第二页，共七十一页，2022年，8月28日6.1慨述6.1.1集总参数元件特性表征1.阻抗定义及表示方法

阻抗定义图第三页，共七十一页，2022年，8月28日阻抗两种坐标形式的转换关系为：DUT实轴+j-j电阻电感电容虚轴第四页，共七十一页，2022年，8月28日2.电阻器、电容器、电感器的电路模型(1)真值，有效值和指示值(2)元件的影响因素测试信号频率测试信号电频直流偏置电压和电流温度其它影响因素

（环境，湿度，老化等）第五页，共七十一页，2022年，8月28日理想电阻考虑引线电感考虑引线电感和分布电容

电阻器RRRC0L0L0第六页，共七十一页，2022年，8月28日理想电容考虑泄漏、引线电阻和电感考虑泄漏、介质损耗等

电容器CCCR0R0L0R,0第七页，共七十一页，2022年，8月28日

电感器理想电感考虑导线损耗考虑导线损耗和分布电容LR0LC0LR0第八页，共七十一页，2022年，8月28日测量器件的寄生参数影响DUT第九页，共七十一页，2022年，8月28日电阻器的频率响应寄生电容C0R低阻值电阻理想RƒR|z|高阻值电阻理想RƒR|z|引线电感

RL0第十页，共七十一页，2022年，8月28日电感器的频率响应C0

LR0LC0R0C0的影响|z|理想LƒR0理想LC0的影响|z|ƒR0第十一页，共七十一页，2022年，8月28日电容器的频率响应L0的影响|z|R0理想CƒR0CL0第十二页，共七十一页，2022年，8月28日测试信号（AC）电频对电容器和铁芯电感器的影响与AC有关的磁芯电感器与AC电压有关的陶瓷电容器(a)测试电压(AC)②测试信号电频：

高K值中K值低K值ΔCoV(b)测试电流(AC)ΔLoI第十三页，共七十一页，2022年，8月28日与直流偏置电压有关的电容器直流偏置电压与直流偏置电流有关的磁芯电感器陶瓷电容器与铁芯电感器的直流偏置影响③直流偏置高K值低K值ΔCoV0直流偏置电流oΔLI0第十四页，共七十一页，2022年，8月28日④温度时间温度中K值高K值陶瓷电容器的温度相关性陶瓷电容器的老化相关性oΔCΔCo11010210310425第十五页，共七十一页，2022年，8月28日6.1.2元件参数测量的基本技术电桥法D1.测量方法概述

第十六页，共七十一页，2022年，8月28日电桥法的优缺点和频率范围高精度（0.1%典型值）

使用不同电桥可得到宽频率范围

价格低

需要手动平衡

单台仪器的频率覆盖范围较窄

频率范围：DC~300MHz

第十七页，共七十一页，2022年，8月28日谐振法

改变电容C直到电路谐振谐振时XL=XC仅有RX存在VRXDUTLXECVOSC第十八页，共七十一页，2022年，8月28日谐振法的优缺点和频率范围可测很高的Q值需要调谐到谐振阻抗测量精度低频率范围：10KHz~70MHz

第十九页，共七十一页，2022年，8月28日

电压电流法

由测量的电压值和电流值计算被测阻抗ZX电流通过它所流经的RS上的电压计算V1V2RSZXIOSC第二十页，共七十一页，2022年，8月28日电压电流法的优缺点和频率范围可测量接地器件适合于探头类测试需要使用简单工作频率范围受使用探头的变压器的限制频率范围：10KHz~100MHz

第二十一页，共七十一页，2022年，8月28日RF电压电流法

(a)低阻抗类型

射频电压电流法与低频电压电流法的原理相同有两种连接电压表和电流表的方法RV1VV2RI1ZXIOSCRI2第二十二页，共七十一页，2022年，8月28日(b)高阻抗类型

RVV2V1ZXIOSCRR——2第二十三页，共七十一页，2022年，8月28日射频电压电流法的优缺点和频率范围高精度（0.1%典型值）高频下的宽阻抗范围工作频率范围受使用探头的变压器的限制频率范围：1MHz~3GHz

第二十四页，共七十一页，2022年，8月28日自动平衡电桥法

-+DUTHLR虚地V1II2I=I2V2=I2RZ=V1I=V1RV2V1I2=V2通过DUT的电流也通过电阻R“L”点的电位保持为0V（称为虚地）───第二十五页，共七十一页，2022年，8月28日自动平衡电桥法的优缺点和频率范围高精度（0.05%典型值）很宽的测量范围使用简单不能适应更高的频率范围频率范围：20Hz~110MHz

第二十六页，共七十一页，2022年，8月28日网络分析法通过测量输入信号与反射信号之比得到反射系数用定向耦合器或电桥检测反射信号用网络分析仪提供激励并测量响应DUTVINCVR输入信号反射信号定向偶合器或电桥OSCZXV1V2第二十七页，共七十一页，2022年，8月28日网络分析法的优缺点和频率范围高频率范围当被测阻抗接近特征阻抗时得到高精度改变测量频率需要重新校准阻抗测量范围窄频率范围：300KHz~3GHz

第二十八页，共七十一页，2022年，8月28日-哪个值正确?ZAnalyzerQ:165Q:120LCRmeterQ:165Q=120?DUTL:5.231uH?DUTL:5.310uHLCRmeter5.310uHLCRmeter5.231uHuH第二十九页，共七十一页，2022年，8月28日网络分析法300KHz1101001K10K100K1M10M100M1G10G10KHz70MHz10KHz110MHz1MHz3GHzRF电压电流法电压-电流法法谐振法0HZ300MHz电桥法20HZ110MHz自动平电桥法频率和测量方法第三十页，共七十一页，2022年，8月28日选择正确的测量方法每种方法都有其各自的优缺点必须首先考虑测量的要求和条件，然后选择最合适的方法需要考虑的因素包括频率覆盖范围、测量量程、测量精度和操作的方便性没有一种方法能包括所有的测量能力，因而在选择测量方法时需折衷考虑第三十一页，共七十一页，2022年，8月28日2.仪器分类阻抗测量仪器分为两种一种是利用模拟阻抗测量的仪器

采用电桥法的：万用电桥；惠斯登电桥等各种电桥仪器采用谐振法的：Q表采用电压-电流法的：多用表；可变电阻器；参数测测仪第三十二页，共七十一页，2022年，8月28日另一种是数字式阻抗测量仪器采用RF电压电流法的：射频阻抗分析仪采用自动平衡电桥法的：LF阻抗测量仪采用网络分析法的：网络分析仪

第三十三页，共七十一页，2022年，8月28日3.测试连接头

所有阻抗测试都涉及连接头的问题.常用的连接方法有：两端接线柱式（或香蕉插头）适用于Q表等低准确度谐振式阻抗仪器有极性的同轴的连接头中性精密同轴连接头三端连接头、四端连接头、五端连接头

四端对接头

第三十四页，共七十一页，2022年，8月28日阻抗的连接图、示意图和测量范围

两端连接头

HpLCDUTLPHCHC为电流高端Hp为电位高端LP为电位低端LC为电流低端(a)连接图第三十五页，共七十一页，2022年，8月28日R0L0DUTVAR0L0(b)示意图1m10m100m1101001K10K100K1M10M100M2T(c)阻抗测量范围C0第三十六页，共七十一页，2022年，8月28日三端连接头HpLCDUTLPHC(a)连接图(b)示意图R0L0DUTVAR0L0C0第三十七页，共七十一页，2022年，8月28日(d)具有屏蔽的两端连接头1m10m100m1101001K10K100K1M10M100M3T(c)阻抗测量范围DUTVA第三十八页，共七十一页，2022年，8月28日四端连接头HpLCDUTLPHCDUTVA1m10m100m1101001K10K100K1M10M100M4T(a)连接图(b)示意图(c)阻抗测量范围第三十九页，共七十一页，2022年，8月28日五端连接头HpLCDUTLPHCDUTVA(a)连接图(b)示意图第四十页，共七十一页，2022年，8月28日1m10m100m1101001K10K100K1M10M100M5TDUTVA(d)具有屏蔽的四端连接头(c)阻抗测量范围第四十一页，共七十一页，2022年，8月28日四端对连接头HpLCDUTLPHC(a)连接图第四十二页，共七十一页，2022年，8月28日(b)示意图DUTVA1m10m100m1101001K10K100K1M10M100M4TP(c)阻抗测量范围第四十三页，共七十一页，2022年，8月28日

实际的阻抗测量范围不仅取决于测量仪器，而且也取决于四端对连接头与DUT的正确连接。否则也会限制测量范围。每种连接方法各有优缺点，必须根据DUT的阻抗和要求的测量精度，选择最适合的连接方法。第四十四页，共七十一页，2022年，8月28日6.2阻抗标准

6.2.1电阻标准1）标准概况2）标准电阻器6.2.2电容标准

1）标准概况2）标准电容器

6.2.3电感标准

1）标准概况2)标准电感器

第四十五页，共七十一页，2022年，8月28日电阻标准1）标准概况电阻计量标准器具分为一等和二等两个等级一等电阻标准包括10-3Ω，10-2Ω，10-1Ω，1Ω，10Ω，102Ω，103Ω，104Ω，105Ω9个标称值及一等电阻标准装置。二等电阻标准除上述9个标称值及电阻标准装置外，还有106Ω和107Ω及其相应装置。

电阻工作计量器具有13个标称值,从10-4Ω到108Ω.每个标称值又有0.00005级到0.2级不等的7到9个准确度等级。第四十六页，共七十一页，2022年，8月28日电压端子2）标准电阻器水银罩电流端子插入温度表无感线圈的锰铜电阻线(a)构造电流端子电流端子电压端子(b)外观图6-8标准电阻器第四十七页，共七十一页，2022年，8月28日电容标准1）标准概况标准电容器分为三等。一等和二等标准电容量具采用标称值分别为1PF，10PF，100pF和1000PF的标准电容器。它们的差别在不确定度和年稳定度。三等标准电容量具采用标称值为10-4PF-1F的标准电容器。第四十八页，共七十一页，2022年，8月28日2）标准电容器端子1端子2接地端(b)外观水晶极板蔽罩端子1端子2接地端(a)构造第四十九页，共七十一页，2022年，8月28日电感标准

1）标准概况

采用标称值为1μH-10000H的标准电感器作为标准电感量具。标准电感量具分成0.01级、0.02级、0.05级、0.1级、0.2级、0.5级和1.0级，对应的级别指数a为0.01，0.02，0.05，0.1，0.2，0.5和1.0，对应的最大允许误差δ和年稳定度γ为a%。第五十页，共七十一页，2022年，8月28日2)标准电感器1.511线圈大理石(a)构造面（剖面图）RLC(b)等效电路图第五十一页，共七十一页，2022年，8月28日6.3阻抗的模拟测量法

6.3.1电压电流法

6.3.2电桥法

6.3.3谐振法测量元件参数

6.3.4Q值测量

第五十二页，共七十一页，2022年，8月28日6.3.1电压电流法

电压-电流法又叫伏安法，即利用欧姆定律，用测量的电压值和电流值计算被测阻抗值：

被测器件的导纳为：

第五十三页，共七十一页，2022年，8月28日6.3.2电桥法1)电桥的平衡条件

用指数形式表示

上式必须同时满足

D交流电桥第五十四页，共七十一页，2022年，8月28日2)交流四臂电桥

精密万用电桥方框图平衡调节机构测量桥路平衡指示电路显示电路电源测量信号源第五十五页，共七十一页，2022年，8月28日3）变压器耦合臂电桥

两电桥的平衡条件都为

电压比例臂构成的桥路电流比例臂构成的桥路DD第五十六页，共七十一页，2022年，8月28日4）电桥法测量集总参数元件的误差

①标准元件值的误差

②电桥指示器的误差

③屏蔽不良引起误差

寄生耦合和外界电磁场的干扰也会引起误差。

第五十七页，共七十一页，2022年，8月28日6.3.3谐振法测量元件参数

谐振法测量原理图当回路达到谐振时:第五十八页，共七十一页，2022年，8月28日

（1）直接测量

谐振法直接测电容振荡器当CX较小时

选择适当电感L(不必为标准电感)，接入标准可变电容CS（如虚线所示），调回路至谐振，然后接入被测电容CX当CX较大时CX应和CS串联接入第五十九页，共七十一页，2022年，8月28日（2）替代法：

①并联替代法

并联替代法测量电感的原理图信号源第六十页，共七十一页，2022年，8月28日

串联替代法测电感

②串联替代法第六十一页，共七十一页，2022年，8月28日1.Q表组成原理及测量原理Q表是根据谐振原理制成的，又称为品质因素测量仪。它由高频振荡器、测量电路和输入、输出指示器等组成。

2．Q表测量中产生测量误差的因素

Q表的基本组成框图

高频振荡器6.3.4Q值测量第六十二页，共七十一页，2022年，8月28日6.4阻抗的数字测量法

矢量电流-电压法

1.矢量电流-电压法的原理

（1）固定轴法

（2）自由轴法2.智能化LCR测量仪的基本组成

自动平衡电桥

第六十三页，共七十一页，2022年，8月28日6.4.1