图形电镀铜锡操作手册资料

1.图形电镀铜/锡工艺流程简介RonacleanSE250微蚀微蚀剂NaPSHSO24电镀铜CopperGleam125T-2(CH)电镀铜HSO24电镀电镀锡RonastanEC2.1酸性除油剂RonacleanSE250清除板面之氧化层及油污，保证板面清洁。2.2微蚀剂NaPS微观粗化铜表面，保证电镀层之良好结合力。减轻前处理清洗不良对镀铜溶液之污染，并保持镀铜溶液中硫酸含量之稳定。2.4电镀铜CopperGleam125T-2(CH)实现孔壁及线路之厚度要求，保证其优良之导电性能。减轻前处理清洗不良对镀锡溶液之污染，并保持镀锡溶液中硫酸含量之稳定。2.6电镀锡RonastanEC作为碱性蚀刻之抗蚀层，形成良好之线路图形。去除挂具上之金属铜/锡缸号序材料温度摆动/搅动加热器铜P.P.22-284-6M/ADI--镀铜P.P.22-284-6M/ADI--镀铜P.P.22-284-6M/ADI--镀铜P.P.22-284-6M/ADI--镀铜P.P.22-284-6M/ADI--C.C.S镀铜P.P.22-284-6M/ADI--&镀铜P.P.22-284-6M/ADI--EF镀铜P.P.22-284-6M/ADI--镀铜P.P.22-284-6M/ADI--镀铜P.P.22-284-6M/ADI--镀铜P.P.22-284-6M/ADI--P.P.----M/A----P.P.----M/A----酸浸P.P.--MDI----P.P.----M/A----P.P.----M/A----微蚀P.P.28-32M/ADIZ--P.P.----M/A----P.P.----M/A----P.P.----M----P.P.25-40MDI--酸浸P.P.--MDI----9镀锡P.P.4-6MDI--EF8镀锡P.P.4-6MDI--EF7P.P.----M/A----6P.P.----M/A----5褪镀45--MDI--4P.P.----M/A----3P.P.----M/A----2热风干80-------1--------------PP聚丙烯SS:不锈钢M:机械摆动A:空气搅动DI:去离子水CW:自来水CCS制系统QTZ4.设备准备程序在配槽之前,工艺槽及附属设备必须彻底清洁,并随后用硫酸溶液中和。对于新设备或先前使用其它工艺的设备,本清洗程序更显得重要。4.1.1清洁液──氢氧化钠20-50g/l中和液──硫酸20-50ml/l.1.2程序A.用清水清洗各缸及其附属设备B.各缸注满清水浸洗,如有打气及过滤系统则开启清洗(无需加滤芯)C.排走废水D.加入清洁液(NaOH20-50g/l)到槽内,浸洗8小时以上,并开启所有打气及过E.排走氢氧化钠清洁液F.注入清水,清洗干净。G.排走废水H.加入中和液(HSO20-50ml/l)到槽内,浸洗8小时以上,并开启所有打气及过24I.排走硫酸溶液J.再以清水清洗,排走废水。K.各槽注满清水浸洗,开启打气及过滤泵,清洗整套设备。L.排走废水,槽子已清洗完毕。A.用50g/l氢氧化钠溶液加热至50℃左右将阳极袋放入该溶液中浸泡8小时。B.取出阳极袋用清水清洗干净。D.用纯水彻底清洗干净。A.用50g/l氢氧化钠溶液加热至50℃左右，将阳极篮放入该溶液中浸泡8小时。B.取出阳极篮用清水清洗干净。Cml/l硫酸溶液浸泡8小时以上D.用纯水彻底清洗干净A.以热纯水清洗Bmll上C.用纯水彻底清洗干净A.用50g/l氢氧化钠溶液浸泡8小时以上B.用清水冲洗干净C.再以50ml/l硫酸+50ml/l双氧水浸泡,阳极呈鲜红色即可。D.用清水清洗干净E.用100ml/l硫酸浸泡F.用纯水彻底冲洗干净即可使用Items987654321------6.配制槽液程序及用量HCl(1N)4体积原液5ml/l20ml/l250ml/l20ml/l40ml/l浸酸微蚀浸酸c.补加DI水标准液位后，开启循环泵,混合均匀。2.微蚀缸a.预留10%体积原液，加入3/4体积之DI水并开启打气搅拌。d.开动打气，直至完全溶解。e.补加DI水至标准液位，开启循环泵,混合均匀。3.浸酸缸a.加入2/3体积之DI水并开启打气搅拌bmllAR硫酸(98%)c.补加DI水位至标准液位①新配槽药水碳处理步骤配制3倍开缸浓度的硫酸铜浓缩液f.停止升温,加入活性炭粉5g/l,搅拌2小时。h.用5-10μm滤芯及助滤粉,将镀液过滤至缓冲缸内。i.再用5-10μm滤芯及助滤粉,将镀液由缓冲缸过滤至铜缸。j.分析各成份并作记录,以备配槽时使用。a.计算配槽所需的已碳处理好的硫酸铜浓缩液的体积并加入至槽中，补加DIb.根据计算在打气搅拌下补充不足的AR硫酸，开启循环泵。c.加入DI水至标准液位d.分析硫酸铜、硫酸含量并补加不足量。e.分析氯离子含量并用AR级盐酸补至50ppmf.在温度降至32℃以下，添加5ml/lCopperGleam125T-2(CH)Additive和10g.分别以如下电流密度及时间进行拖缸4小时h.根据HullCell试验及CVS分析，补加光剂至正常范围。a.加入2/3缸体积之DI水至工作槽中Pc.加入40g/l硫酸亚锡并保证其完全溶解d.待温度冷却至23-29℃后，开启循环泵。f.补加DI水至标准液位后，搅拌均匀。h.对镀液作含量分析并调整7.控制条件工序RonacleanSE250微蚀浸酸⑴浸酸⑵HSO(96%)24NaPS24u24HSO24Cl-Additive24HSO2440-60ml/l60-80g/l1-3%(V/V)<15g/l9-12%(V/V)55-68g/l100-120ml/l40-80ppm2.5-10ml/l10-40ml/l9-12%(V/V)35-45g/l90-110ml/l15-25ml/l30-50ml/l50ml/l70g/l2%(V/V)<15g/l10%(V/V)65g/l120ml/l60ppm5ml/l10ml/l10%(V/V)40g/l100ml/l20ml/l40ml/l25-37℃28-32℃温22-28℃温18-25℃8.工艺维护电镀铜tiveAH调整HullCell调整HullCell调整AH调整HullCell调整HullCell调整见(2)A见(2)B见(2)C见(2)D见(2)B见(2)A见(2)Ca.将旧磷铜球用10%(V/V)CPH2SO4和10%(V/V)H2O2(30%)混合浸泡至黑膜退c.每次补加铜球后,须以5ASF,10ASF电流密度拖缸各4小时。新滤芯的清洗lc.用DI水彻底清洗干净a.用毛刷擦去表面脏物c.用DI水彻底清洗干净a.每月以碳芯过滤镀液1次b.根据HullCell试验或CVS分析，判断镀液有机物污染程度，4-6个月时进行一次活性炭处理。c.镀液活性炭处理步骤将需进行碳处理之溶液移至碳处理缸，以DI水补至液位并调整成份至正常以DI水补加镀液至正常液位，并分析镀液成份，调整至工艺范围内。a.将锡阳极球用DI水冲洗干净后，在10%(V/V)CP级H2SO4溶液中浸泡2小b.用DI水冲洗干净c.每次补加锡阳极球后，须以10ASF，15ASF电流密度拖缸各4小时。在每次阳极维护期间,用10%(V/V)CP级H2SO4擦净阳极杆及V座上之污痕,并用自来水洗净。用10%(V/V)CP级H2SO4擦净飞巴上污痕，并用自来水洗净。整流器表现输出系统搅拌温度飞巴及阳极巴接电位置自动加药系统工作状况9.品质检定方法1.)热冲击测试样品孔铜规格：孔内铜厚≥1mil把样品截成10×10cm，然后在145±5℃的烘箱内烘烤4小时，自然冷却后，在288±5℃的锡炉(Pb/Sn=37/63)漂浮10±1秒，3Cycle，切片后在显微镜下观察孔内状况，不允许有铜层断裂现象。2.)延展性测试测试方法a.用不锈钢片在镀槽或延展性测试槽上电镀上2mil铜厚。c.用延展性测试机进行测试。d.测试结果，延展性≥12%为合格。3.)HullCell测试A.铜缸药水HullCell测试参数c.搅拌：空气搅拌B.锡缸药水HullCell测试参数c.搅拌：机械搅拌10.安全规则洗眼器:操作人员不慎溅到化学药水时使用手套:戴细棉手套用于搬板子或检验板子时耐酸碱手套:操作人员操作化学药品时使用药水添加时必须戴防护面罩及手套a.机械设备之抽风每日需检查畅通无阻,否则请维修人员协助排除问题。b.每日保养由操作人员执行,设备外观清洁及槽内液位检查或更换药水,并检查连线管路要求完整,各项指示灯操作开关要求正常驱动,否则即须反应,通知维修。c.现场操作时须检查各阀门开关是否定位,换槽时,须先关掉加热器,以免损坏。d.每班须检视自动添加桶药水液位,不得低于标示点。e.每周测量自动添加DosingPump之流量。f.全线震荡器每月保养一次,以维持良好功能。1.电镀前清洁处理不当,底铜表面提高除油槽液的温度以利于除油污和指纹氧化或钝化皮膜未除尽.检查除油槽和微蚀槽液的活性并改善之2.除油缸中的湿润剂被带出或水洗检查水洗程序,增加水洗水流量不足造成底铜的钝化提高水洗水温度3.板子进入镀槽后电源并未立即开重新检查整流器之自动程序启4.干膜显影后水洗不足检查干膜工序之显影水洗条件并改善之1.干膜显影不干净重新检查干膜之显影作业条件2.板面上已有指纹印及油渍的污染提高电镀前处理除油槽液之温度改善持板方法,不可用手指抓板面3.镀液中有机物含量过多活性炭处理镀铜液4.干膜表面渗出显影液之残迹显影过后须放置30分钟才可电镀以使反应达到平衡原因1.电镀过程中,电流或时间不足。2.板子与挂架或挂架与阴极杆的接触导电不良确认板子面积以决定总电流的大小,并确认电流密度及时间无误。