真空计算常用公式

筑龙网水暖电资料免费下载真空计算常用公式1、玻义尔定律体积V，压强P，P·V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2＝V2/V1）2、盖·吕萨克定律

当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常数）

当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。3、查理定律

当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2

在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。4、平均自由程：

λ＝(5×10-3)/P(cm)5、抽速：

S＝dv/dt(升/秒)或S＝Q/P

Q＝流量(托·升/秒)P＝压强(托)V＝体积(升)t＝时间(秒)6、通导：C＝Q/(P2-P1)(升/秒)7、真空抽气时间：

对于从大气压到1托抽气时间计算式：t＝8V/S(经验公式)

（V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。）钩8汤、维持泵选择鸦：臭危架S萄维斑＝装S慧前粥/10拍9逢、扩散泵抽速鸡估算：魔揭S退＝糠3D2(眠D拳＝直套径纯c沸m眉）罪1寻0谱、罗茨泵的前就级抽速：夺魔S坡＝室(0.1~0揪.2)纹S消罗先(l/s)11、漏率：神砖级Q今漏定＝功V(P2-P贤1)/(t2易-t1)矩视磁Q灵漏－系统漏运率通(mmHg·留l/s)

驳秩绪V泪－系统容谅积图(畅l)摄禁

P塞1恢－真空泵停止签时系统中压留强才(刃mmHg)叨棚

P娃2芦－真空室经过姜时踢间方t宝后达到的压拥强妙(趋mmHg)雷袋目t区－压强苹从甩P捧1雨升宣到刑P硬2犹经过的时歪间剖(扭s)份1棉2未、粗抽泵的抽林速选择：奋央岭S晒＝叙Q1/掏P绒预祥(l/s)渣饼S=2.3V涌·lg(Pa挣/训P果预骄)/t母狗挣S要－机械泵有效倦抽污速票吴冻Q帮1弹－真空系统漏妄气骆率籍(搭托强·馆升柔/缓秒尽)阀困饺P娘预－需要达到涛的预真空埋度繁(燃托斯)

匙V碧－真空系统容榆积灰(恼升总)烘康侧t烤－达裤到四P仿预时所需要的悼时盾间嚷谈

P底a慢－大气压茅值葬(习托）阻1剂3役、前级泵抽速三选择：甚爆食耳排气口压力低屡于一个大气压全的传输泵如扩争散泵、油增压瓣泵、罗茨泵、绿涡轮分子泵等维，它们工作时讨需要前级泵来牺维持其前级压哲力低于临界值也，选用的前级覆泵必须能将主尘泵的最大气体禽量排走，根据检管路中，各截铲面流量恒等的涨原则有：锻

PnS针g钳≥亚PgS禁释或盛S朋g内≥洪Pgs/Pn卷

S旁g廉－前级泵的有刷效抽消速浅(l/s)

景P贸n电－主泵临界前劲级压碗强缩(纠最大排气压注强涛)(l/s)沸

P酬g辛－真空室最高三工作压爆强拉(俯托揉)

鞋S肚－主泵工作时科在施P腰g弄时的有效抽速眨。絮(抱l/s)肾1栋4控、扩散泵抽速拍计算公式：君渔S劣＝礼Q/景P夏＝唯(K·n)/秘(P·t)绸(蒸升纯/乌秒料)奖式中狠：叨S壁－被试泵的抽足气速爷率兆(l/s)

轨伟n炒－滴管内油柱凯上升格育数润(义格保)被t则－油柱上描升棉n缠格所需要的时亚间轰(伪秒晶)

球P氏－在泵口附近污测得的压麦强兰(盯托室)绑K熔－滴管系与数架(勿托寻·闪升桑/嗓秒双)

键K界＝扯V0·(L/尾n)·判(蝶Υ凡0违/坐Υ俊m)+P副a晋△界Vt赚虫杆苗串其亿中周V券0插－滴管和真空待胶管的原始容也积柱(例升复)

医L六－滴管刻度部选分的长孝度惩(听mm)暂停墨n偿－滴管刻度部月分的格授数挪(天格室)

窄桌狸Υ夏0锁－油的比草重临(闪克慕/戏厘游米鼠3)勒厨桃周Υ妙m倒－汞的比怪重陵(广克蓄/垃厘悠米趟3)

瓜沟P贵a究－当地大气压往强树(敢托膜)目墨存陕△删V称t妇－滴管的刻度拌上的一格的对谱应的容爬积严(裤升建/阔格椅)伙1镰5稍、旋片真空泵洋的几何抽速计清算公式：巧止S肯＝总π幅ZnLKv(犹D2-d2)聚/(24×1瓶04)(l银/s)等瓦适式中滥：灶Z栋为旋片数伸，缠n区为转辆速仁(吗转模/死分邀)息，套L莫为泵腔长度插，路D枝为泵腔直径移，罪d经为转子直乌径汉(cm液)提，妻K外v玉为容积利用系浑数气(貌一般曲取饥9端5侧％其)渐。毯1滔6撒、集O韵型橡胶槽婆深蠢B匙＝网0.7D森惕赠D字为橡胶直径，袭槽座宽烟C物＝抗1.6B节1帖7俩、方形橡胶槽腹深广B川＝扩0纸.8A锅爽

A湿为方形橡胶边搜长，槽宽旨C问＝慎1.67B

疏熊网循怀胞项讨选用真空泵时励，需要注意下比列事项：酷红1卫、真空泵的工亮作压强应该满康足真空设备的黑极限真空及工陕作压强要求。去如：真空镀膜糟要造求玻1×10征-5猾mmH念g俊的真空度，选策用的真空泵的迈真空度至少赔要墙5×10决-6母mmH染g响。通常选择泵古的真空度要高戒于真空设备真备空度半个到一凤个数量级弱。膊运临2熄、正确地选择烫真空泵的工作映点。每种泵都高有一定的工作碗压强范围，如读：扩散泵止为晨10黑-3魔~10因-7团mmH布g球，在这样宽压摄强范围内，泵极的抽速随压强互而变化，其稳集定的工作压强预范围少为倚5×10床-4六~5×10菊-6悔mmH串g吨。因而，泵的蒸工作点应该选幼在这个范围之颂内，而不能让毙它姓在暗10某-8谷mmH鸣g币下长期工作。鸟又如钛升华泵漆可以维在中10汪-2锋mmH封g苏下工作，但其继工作压强应小纷于猾1×10篇-5嫁mmH煮g他为好叙。只肺恼3马、真空泵在其双工作压强下，耻应能排走真空立设备工艺过程裂中产生的全部光气体量顺。占耽互4中、正确地组合迎真空泵。由于秩真空泵有选择特性抽气，因而共，有时选用一夕种泵不能满足饥抽气要求，需惧要几种泵组合指起来，互相补愈充才能满足抽拐气要求。如钛眠升华泵对氢有猾很高的抽速，吸但不能抽氦，矿而三极型溅射剂离子泵，（或抓二极型非对称元阴极溅射离子斧泵）对氩有一桂定的抽速，两就者组合起来，宝便会使真空装猾置得到较好的监真空度。另外这，有的真空泵够不能在大气压凭下工作，需要辱预真空；有的勉真空泵出口压剩强低于大气压扒，需要前级泵扛，故都需要把另泵组合起来使干用冤。炸喝钢5庄、真空设备对姿油污染的要求污。若设备严格糟要求无油时，者应该选各种无躁油泵，如：水域环泵、分子筛壤吸附泵、溅射饭离子泵、低温侦泵等。如果要抽求不严格，可溪以选择有油泵景，加上一些防响油污染措施，令如加冷阱、障妻板、挡油阱等吊，也能达到清袜洁真空要求捞。梁术载6该、了解被抽气帽体成分，气体雨中含不含可凝火蒸气，有无颗耀粒灰尘，有无听腐蚀性等。选院择真空泵时，枯需要知道气体高成分，针对被下抽气体选择相量应的泵。如果所气体中含有蒸屋气、颗粒、及藏腐蚀性气体，剧应该考虑在泵蚊的进气口管路罗上安装辅助设缸备，如冷凝器绪、除尘器等贩。刘迟昏7撤、真空泵排出仪来的油蒸气对摇环境的影响如饼何。如果环境丘不允许有污染舱，可以选无油没真空泵，或者臣把油蒸气排到苗室外宁。映博室8父、真空泵工作蹦时产生的振动骂对工艺过程及攀环境有无影响揪。若工艺过程榜不允许，应选场择无振动的泵锤或者采取防振毫动措施蓝。股特所9掠、真空泵的价游格、运转及维轻修费用安。粘念水环式真空泵汪的选择证基一、泵类型的聚确定寨泵的类型主要碑由工作所需的威气量、真空度呼或排气压力而受定尝。屯拆泵工作时轨，需要注意以槐下两个方面岗：正拥尽可能要求在差高效区内，也朋就是在临界真矛空度或临界排龟气压力的区域兴内运行丽。捉疲应避免在最大渠真空度或最大雷排气压力附近为运行。在此区养域内运行，不袍仅效率极低，研而且工作很不樱稳定，易产生药振动和噪音。拢对于真空度较艰高的真空泵而记言，在此区域条之内运行，往慕往还会发生汽符蚀现象，产生轻这种现象的明蒸显标志是泵内超有噪音和振动堡。汽蚀会导致丽泵体、叶轮等寒零件的损坏，希以致泵无法工拖作魄。轧星根据以上易原则，当泵所且需的真空度或宫气体压力不高朽时，可优先在纳单级泵中选取贺。如果真空度淹或排气压力较泳高，单级泵往辆往不能满足，冒或者，要求泵立在较高真空度口情况下仍有较辜大气量，即要盏求性能曲线在河较高真空度时乡较平坦，可选仓用两级泵。如源果真空度要求毁在疤－翅710mmH沙g加以上，可选用攀水环－大气泵业或水环－罗茨蛙真空机组作为很抽真空装置桑。歪健如果只作扇真空泵用，则续选用单作用泵围比较好。因为沃单作用泵的构扣造简单，容易盆制造和维护，需且在高真空情傍况下抗汽蚀性绞好。星如果仅作较大概气量的压缩机键使用，则选用液双作用的泵比龟较合适。因为牢双作用泵的气攻量大，体积小程，重量轻，径跪向力能得到自川动平衡，轴不侧容易产生疲劳吐断裂，泵的使凤用寿命较长遣。亭蔬二、根据系统矩所需的气量选蕉择真空竭泵凤射初步选定纷了泵的类型之婆后，对于真空申泵，还要根据罩系统所需的气总量来选用泵的踏型号。买关于真空泵的程抽速选择及抽辈气时间计算可劈参照我公司网萄页郊.料面对各种型式谨的水环式真空絮泵及压缩机，乞我们特将其各才自特点收集如发下，以利于用膀户选日型茫曾代号厘主要特点鼻极限真空度

萍mmHg解工作真空度

麻mmHg拆抽速范围

势m所3要/min替密封形式烛sk笔国内设计单级习水环真空泵，骑结构简单、维邪修方便。目前糊国内主流的低薄真空水环式真养空泵。牙-700轮-300~-剂650锈0.15~1厘20牌盘根、

睛机械密封行2sk利国内设计双级捡水环真空泵，朽相当于两窝台扫S斯K川水环泵串联使脂用，比较单级壶水环泵具有真办空度高及高真井空下抽速较大遗的特点。目前鹊国内主流水环算式真空泵。活-735确-300~-横700袍1.5~30豪盘根、

冤机械密封糖2BV僵采用西门子先数进技术，机泵左同轴，结构紧眼凑，效率高，迟真空度高，性叛能稳定，将逐阁渐替济代领S榨K户、舅2S露K响系呈列银0.4~6m帐3冈/mi琴n首抽速的水环真段空泵。讽-735裳-300~-之700仁0.45~8腿.33散机械密封楼2BE1骗采用西门子先扰进技术，效率棚高，真空度高歼，性能稳定，斯将逐渐替首代胀S酬K锋、螺2S贝K茂系线列池6~120m简3观/mi此n通抽速的水环真刻空泵。凡-735

偏-640桌-300~-箭700

钟-300~-孟600水5~400际盘根、

也机械密封怨SZ恼5屯0摆年代苏联技术渔，效率低，能拉耗大由，爬8漂0拒年代初已被淘早汰，主要应用谣于老用户。讽-640~-穴700武-300~-看650煌1.5~27形盘根脉SZB讽5储0亚年代苏联技术众，效率低，能缓耗大钱，次8兴0