文丘里的工作原理

文丘里的工作原理演示文稿现在是1页\一共有21页\编辑于星期六优选文丘里的工作原理现在是2页\一共有21页\编辑于星期六Agenda文丘里工作原理介绍1除毒系统工作原理介绍

2Casestudy3现在是3页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理高压排空GN2进口手阀VGS放空口文丘里的作用：

抽真空排放保持氮气流过，排放管道干燥通畅

单向功能低压排空外观图现在是4页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理排风表头监控点排风量调节器气柜探头监控点文丘里排放排风：50-200帕斯卡岁修排风降至10%现在是5页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理气柜探头监控点气柜探头监控点除毒装置（ASMC8”毒性气房和腐蚀性气房有次装置）酸性气柜烷类/毒性气柜酸排风管道ventventvent一般排风管道酸排风处理装置环境现在是6页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理排气口真空口文丘里阀门驱动活塞阀门驱动弹簧单向阀

阀座阀座连续进气口（可选）氮气进气口微流阀（可选）驱动控制端口内部结构图廉价制造方便现在是7页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理排空吸力氮气进口结合伯努利原理与流体连续性方程可以知道，对于理想流体，在细处流速会增加，压强则会减少；文丘里管的窄口处就起到了抽真空的作用。为什么能产生真空效应现在是8页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理AP71系列（目前TGCM主要使用）AP72系列真空口最大压力及流速范围真空口最大承受压力真空口最大承受压力氮气微流流速氮气微流流速现在是9页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理AP72625S3PWMV4FV6TW4CB005AP71SMV4FV6TW4CB009系列材质氮气进口接口类型排空口接口类型真空口接口类型真空口真空口真空口真空口排放排放N2进口N2进口排放N2进口氮气微流流速625：1/4转隔膜阀540：装配气动阀现在是10页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理真空口最大承受压力托，真空度单位。在80psig(5.5bar)，60标升/分的氮气流量时的真空度。止回阀最大承受压差驱动压力氮气微流流速主体活塞弹簧密封可选密封材料操作参数材质参数1torr=133.3pa现在是11页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理型号参数Inchfacesealmale------英寸面密封公头Inchfacesealmale------英寸面密封母头Inchtubeweldstub------英寸管焊接slpm------标准升每分钟现在是12页\一共有21页\编辑于星期六文丘里工作原理真空口流速/slpmNotes：1.N2进口压力小于10psig时，文丘里不会产生真空效应。2.当N2进口压力大于90psig时，再提高进口压力也不会有明显效果。真空口压力(in-Hg)现在是13页\一共有21页\编辑于星期六除毒系统工作原理除什么？------取出气柜排空而出的含有某种有害物质的气体。怎么除？------有毒气体在除毒系统筒体内与化学物质反应或燃烧而解毒。现在是14页\一共有21页\编辑于星期六除毒系统工作原理内部侧视图内部前视图气体进口阀门旁通阀气体出口阀门气体进口压力表GN2进口隔离阀（关）气体出口压力表流量计（关）现在是15页\一共有21页\编辑于星期六除毒系统工作原理部件名称基本功能By-passvalve旁通阀如果进口压力过大，切换到旁通管道Inletvalve进口阀控制气体进入筒体Outletvalve出口阀控制气体由筒体排出GN2单向阀防止回流Inlet进气口压力表监控进口压力GN2进口隔离阀控制吹扫氮气开关现在是16页\一共有21页\编辑于星期六除毒系统工作原理工作原理点火点排风口出口热电偶工艺气进口工艺气放空压力表低压切换燃烧室热电偶变压器溶解环火焰漩涡器变相装置进口出厂设置出口温度不高于200摄氏度工艺气进入燃烧室燃烧后，通过变相装置和漩涡器使之与空气充分混合冷却，从而使出口温度低于设定值。安全装置：温度过热可导致shutdown硅烷、砷烷、磷烷现在是17页\一共有21页\编辑于星期六空气进口压力表燃料压力表点火点1显示器排放口温度燃料流量阀火焰状态显示器点火点2显示器紧急制动现在是18页\一共有21页\编辑于星期六除毒系统工作原理初始启动程序1.在对Burn-box进行操作之前确保所有装置都已安装完毕，并且处于“OFF”状态。具体设备包括：电力系统、房间排风、氮气。2.确保所有连接的气体管路都已经做过保压测漏。3.顺时针旋转点火阀，确保点火阀处于关闭状态。4.按动EMO按钮，将STOP/START按钮到STOP键。5.连接设备电源到Fab的断路保护器上。打开前控制面板下面的“POWERDISCONNECT”。6.顺时针转动EMO阀1/4圈直到EMO阀弹出。检查所有的报警装置处于“ON”状态。7.确保保所有控制装置的显示灯都亮启，红色表示环境温度。确保所有的报警显示都有效，包括Warning、Shutdown、以及LowAirFlow(空气流速低报警)

。现在是19页\一共有21页\编辑于星期六除毒系统工作原理8.打开CDA（80Psi），打开RESET按钮消除所有报警，确认点火控制器SETPOINTS设置正确；确认排空温度控制器设置正确。9.断开EXHAUSTTEMPERATURE（排空温度）按钮确认排空温度报警有效性。重新连接EXHAUSTTEMPERATURE（排空温度）报警，按RESET按钮两次，重置排空高温报警。（消警需要等待数秒）10.打开煤气供应管路，对煤气管路进行检漏，在控制面板上检查点火器的压力表。11.按RESET键两次，重置低燃料压，把STOP/START按钮打到START位置，检查控制面板上IGNITOR1和IGNITOR2指示灯是否开启，确认点火指示器的红灯开启。12.调整点火流量阀，保持反应箱温度在450到600度之间。当反应箱温度超过200度，按RESET钮两次，重置反应箱体温度。13.确保点火温度指示读数保持平稳。按动EMO，确保EMO保持正常工作。旋转EMO按钮顺时针1/4圈，直到EMO阀弹出。14.打开氮气入口，按动RESET键两次，消除所有报警。现在是20页\一共有21页\编辑于星期六除毒系统工作原理普通启动程序1.确保所有对GUARDIAN的维修工作都已经完成，确认并关闭所有相连接的气柜和设备。2.确保所有的手阀处于正确的状态，关闭（开启）前控制面板上的POWERDISCONNECT键。

3.重