材料现代测试方法XSAUS

第五章光电子能谱与俄歇电子能谱X射线光电子能谱（X-rayPhotoelectronSpectroscopy，XPS）紫外光电子能谱（UltravioletPhotoelectronSpectroscopy，UPS）俄歇电子能谱：（AugerElectron

Spectroscopy，AES）主要用于分析表面化学分析、表面吸附分析、断面的成分分析。光电子能谱：主要用于分析表面化学元素组成、化学态及其分布，特别是原子的价态，能级结构。光电子能谱指：§5.1光电子能谱分析基本原理一.电子的结合能与光电效应一.电子的结合能与光电效应光电效应：在外界光的作用下，样品中的原子吸收入射光子的能量，若入射光子的能量大于原子中某一层电子的结合能和样品的功函数，则吸收了光子的电子将离开样品表面进入真空，且具有一定的动能，此即光电效应。如图

X光电子：原子的内层电子吸收入射的X射线从而脱离原子成为自由电子，此即X光电子。电子的结合能：原子中某个电子吸收了光子的能量后，跃迁至原子的费米能级所消耗的能量。费米能级：0K时固体能带中电子占据的最高能级。一.电子的结合能与光电效应光电效应的能量关系：样品的功函数：处于费米能级的电子克服样品晶格的引力离开样品表面进入真空成为静止电子所消耗的能量。1s2s2p。。。EFEVEB2pEB2pEB2pEchhν=Ec+EB+

－

re（Einstain公式）

hν-入射光量子能量；Ec-光电子的动能；EB-电子的结合能；－样品的逸出功；

re-原子的反冲能量。反冲能量很小，可忽略，因此，在光电子能谱图上就可以将动能以结合能表示出来：EB

=hν－Ec－用电子能谱仪测得的是光电子的动能Ec，逸出功，就可以测定结合能。光电子能谱图（能谱曲线）上横轴以结合能Eb表示。一.电子的结合能与光电效应光源：X光源：能量高，可以电离价电子也可以电离内层电子。得到谱线是分立的。作为XPS仪的激发源，希望其强度大、单色性好。在目前的商品仪器中，一般采用Al/Mg双阳极X射线源。常用的激发源有MgKX射线，光子能量为1253.6eV和AlKX射线，光子能量为1486.6eV。真空紫外光：能量低，一般只能使价电子成为光电子，通常采用He-1紫外光。得到谱线是连续的。1s2s2p。。。EFEVEB2pEB2pEB2pEch二.光电子能谱的测量原理光电效应的能量关系：EB=hν－Ec－二.光电子能谱的测量原理光电效应的能量关系：EB=hν－Ec－实际上，用能量分析器分析电子动能时，样品与仪器样品架相连，电接触良好且电子迁移达平衡时，两者的费米能级在同一水平，但功函数不同。存在接触电势差＝-1，使自由电子的动能由Ec变为Ec1，则：Ec+

=Ec1+1=hν－EB;所以EB=hν－Ec1－1

1一般为常数(约4eV)，Ec1由电子能谱测得，因此，可求出样品的电子结合能EB。EB

=hν－Ec1－11s2s2p。。。EFEVEB2pEB2pEB2pEch分析器1Ec1EV1二.光电子能谱的测量原理光电效应的能量关系：EB=hν－Ec－EB=hν－Ec1－1不同元素的原子，其电子结合能EB不同，电子结合能是特征性的。因此，我们可以根据电子的结合能对物质的元素种类进行定性分析。经X射线照射后，从样品表面某原子出射的光电子的强度是与样品中该原子的浓度有线性关系，因此，可以利用它进行元素的半定量分析。三.XPS，UPS的特点分析层薄，0.5～2.0nm。分析元素广，除H和He外所有元素。主要用于样品表面各类物质的化学状态鉴别，能进行各种元素的半定量分析。具有测定深度-成分分布曲线的能力。空间分辨率较差，μm级。数据收集速度慢，对绝缘样品有一个充电效应问题。§5.2光电子能谱实验技术（一）.X射线光电子能谱仪XPS仪由X射线激发源、样品台、电子能量分析器、检测器系统、超高真空系统等部分组成。一.光电子能谱仪

（一）.X射线光电子能谱仪电子能量分析器电子能量分析器是XPS的中心部件。其功能是测量光电子的能量分布。有两种类型：半球形分析器和筒镜形分析器。半球形分析器对光电子的传输效率高和能量分辨率好，多用在XPS谱仪上。筒镜形分析器对俄歇电子的传输效率高，主要用在俄歇电子能谱仪上。（一）.X射线光电子能谱仪（一）.X射线光电子能谱仪半球形分析器。通过控制内外球的电压，就可以收集具有不同初动能的光电子。实际上，初动能有一定宽度。超高真空系统在XPS仪中必须采用超高真空系统，主要是出于以下两方面的原因：避免X射线和光电子与残余气体分子碰撞而损失能量。保持样品表面的原始状态，不发生表面吸附现象。（一）.X射线光电子能谱仪二.样品的制备及测定（一）样品的制备与安装无机材料一般情况下，尤其在分析样品自然表面时，无须制备，但在分析前须去除易挥发的污染物，常用方法有：溶剂清洗或长时间抽真空，以除去试样表面的污染物。如对陶瓷或金属样，用乙醇或丙酮擦洗，然后用蒸馏水洗掉溶剂，吹干或烘干。用氩离子刻蚀法除去表面污染物。擦磨、刮剥和研磨。表层与内表面的成分相同的固体样品，用SiC纸擦磨或用刀片刮剥；粉末样品采用研磨的办法使之裸露出新的表面层。真空加热法。对于能耐高温的样品可采用在高真空度下加热的办法除去样品表面的吸附物。粉末、有机和高聚物样品压片法。软散的样品采用压片的方法。溶解法。样品溶解于易挥发的有机溶剂中，然后将1～2滴溶液滴在镀金的样品托上，晾干或用吹风机吹干。研压法。对不溶于易挥发有机溶剂的样品，可将少量样品研磨在金箔上，使其形成薄层。（一）样品的制备与安装（二）仪器校正采用标样来校正谱仪的能量标尺，常用标样有纯Au、Ag、Cu。标样Cu3pAu4f7/2Ag3d5/2CuL3MMCu3p3/2AgM4NNAlK75.1483.98368.26567.96932.671128.78MgK75.1384.0368.27334.94932.66895.75常用标样的结合能EB（eV）全扫描：取全谱与标准谱线对照，找出各条谱线的归属。以便识别样品中所有元素，并为窄区谱（高分辨谱）的能量设置范围寻找依据。结合能扫描范围1100～0eV，分辨率2eV。窄扫描：对某一小段感兴趣的能量范围扫描分析，分辨率0.1eV。扫描区间括待测元素的能量范围，但又没有其他元素的谱线干扰。窄扫描可以得到谱线的精细结构。另外，定量分析最好也用窄区谱，这样误差更小。（三）收谱（四）XPS图谱解释

X射线光电子能谱代表了原子的能级分布情况。不同元素原子的能级分布不同，X射线光电子能谱就不同，能谱的特征峰不同，从而可以鉴别不同的元素。

EB=hν－Ec1－11.原子辛能级赚的划裙分原子醋中单泼个电舒子的臂运动通状态盏用量匀子数n，l，ml，ms来描坐述。n为主捆量子漠数，眨电子杰的能量主要掌取决娇于n，n值越姐大，答电子胀的能榴量越类高。n=很1，2，3，4，…，但不漂等于舰零，棚通常市以K，L，M，N，…表示孔。l为角跃量子日数做，它委决定糖电子讲云的几何誉形赛状，不裳同的l值粱将原碌子内饭的电边子壳袍层贤分肾成矩几炮个亚亮层，顺即能努级。l=闲0，1，2，…，（n－1）。通怒常分剪别用s，p，d，f，…表示爬。斥当n=间1时，l=阶0；n=听2时，l=否0，1。匠在家给兵定念壳水层级的划能阁级责上拒，团电妙子粗的禾能窝量是随l值期的梅增纸加阳略鲁有镇增坟加却。ml为双磁攻量情子唐数配，运它向决持定早电稻子唇云尺在毯空间桨伸展柔的方月向道（即悉取向董），ml=l,l-1，…，0，-佣1，…，-l。散若l=汁0，则ml=绒0；若l=抬1，则ml=蹦1，0，-袭1；依田次类限推误。1.原子少能级穿的划国分ms为更自饭旋反量己子数杂，义它恨表丙示馒电锯子狡绕醋其自跪身轴汽的旋洽转威取向沿，与拿上述察三个创量子爹数饮没歪有认联持系垃。洁根顿据韵电尼子浑自奴旋当的史方慨向未，通它霸可层以酸取+1藏/2或-1兼/2。K(n=1)s(l=0)m=0+1/2-1/2L(n=2)M(n=3)s(l=0)p(l=1)s(l=0)p(l=1)d(l=2)m=+2-2+10-1+1/2-1/2+10-1+10-1m=0m=0....无磁场有磁场原子的电子能级另外狸，原振子中创电子续的轨疗道运锈动和帖自旋档运动芽之间摊存在泰着电坑磁相犯互作霞用，照即：自旋锤－轨坐道偶膨合作期用的结转果使基其能披级发法生分爆裂，龟对于l＞0的内素壳层徐来说宝，这魂种分江裂可椒以用馆内量袋子数j来表愤征，预其数品值为渴：j=l+ms，l–ms;ms=1穷/2当l=啦0时，j=逃1/饲2；若l=仗1，则j=l±牢1/州2，混即：j=挡3/宗2和1/票2。除s亚壳甩层外界，潜凡l＞0的趋各雷亚榨壳层留，都刊将分列裂成烟两个粉能级貌，策在XP库S谱图医上情出绕现档双沃峰。电子跟能谱合实验膀通常棵是在袜无外旅磁场籍作用币下进霞行的远，磁搬量子己数ml是简森并的越。所牛以，秀在电页子能定谱中谷，用n、l和j三个勒量子逃数来孟表征黎内层董电子垦的运纷动状凉态。如，旺在XP烛S图谱漠分析忘中，瞒单个捏原子鬼能级盗用两陡个数庙字和席一个床小写竟字母者表示艇：3d5/诸2。1.原子梳能级亚的划攀分j=l+ms，l–ms;ms=1好/21.原子帜能级缩慧的划它分C1奔s、Ti名2p、W4猴f和Ag底3d的XP定S谱图，西结勾果夺证明售，l＞0的Ti例2p、W4时f和Ag口3d在XP俘S谱驱图涌上出闭现桃双号峰殃；C笼1s的l=英0，佣只滔出扫现翁单冤峰永。电子纽奉能量碰用E=Enl迁j表示日。光电案子则己用被呆激发殿前原菌来所墙处的投能级虽表示。如勉：K层——1S光电欲子；L层——奏2S，2P渣1/膛2，2P民3/餐2光电缓子；M层——3S，3P1/欲2，3P3/灭2，3d3/扑2，3d5/细2光电县子…。2.化学末位移由于稀原子或所处跟的化稠学环水境不夸同而湾引起嗓的内眼层电雨子结絮合能陵的变当化，援在谱庙图上谨表现嘉为谱辅峰的培位移践，这什一现弹象称逝为化款学位馋移。化学授位移待产生轻的原铜因：原子槽核对座内层捏电子教有吸团引力感，外堪层电删子对岗内层怕电子申有排职斥（仰屏蔽咐）作摇用。县当原异子的巷化学淋环境助发生伙改变打时，神会引绩起原剖子核冶的吸向引力帽和外污层电赴子的增屏蔽单作用算的改帝变，骨从而任改变矩内层罢电子缠的结塑合能轰，因棉此XP晒S谱峰副发生射移动途。2.化学保位移化学个位移痛能给袍出分昌子的株结构袍信息艇。化学筹位移谊的分雁析、灾测定沉，是XP邮S分析卖中的脸一项咬主要柳内容精，是销判定膊原子迅化合羡态的腥重要好依据交。氧化羡价越羊高，轧结合议能越惩大。EB（Be霜F7）>EB(Be绳O)>EB(B稀e)2)与所找考虑懒原子状相结遍合的宾原子刚，其更元素赞电负篇性越岂高，线结合怕能也给越大盲。电负擦性:F疫>O3.雨X亮PS图谱膏解释Pe买rk棋in介-E伏lm杨er公司粥的x射线蕉光电想子谱胸手册饶。在遵此手社册中基有在Mg修K和Al贸K照射烟下从Li开始贫各种在元素鸦的标烧准谱坟图，蹈谱图抱上有苹光电撇子谱哑峰和孕俄歇清峰的吵位置样．还猎附有序化学挥位移匹的数抵据。庭对照拖实测诵谱图障与标赢准谱休图，催不难地确定艇表面办存在跨的元增素及蜘其化杏学状证态。X射线毙光电雕子能血谱代都表了悔原子散的能笑级分花布情泽况。画不同买元素蜂原子雷的能防级分丹布不宜同，X射线堆光电扬子能昼谱就漆不同偷，每俯一个撤元素描都有目一套标准免谱图XP柿S谱。EB=hν－Ec1－魂13.午X峡PS图谱疫解释光电恶子谱茧图中茅峰的然种类但光下电子更谱并备不单初只有冲光电店子峰弦，还怪伴随袖有其申他峰.光电坟子谱妻图峰氏的种晌类有秀：光电纯子峰狡和俄泉歇峰息、X射线溜伴峰隔和鬼虑峰、携上假伴峰崇、多重越分裂刊峰、特征秀能量临损失徐峰。3.用X巴PS图谱紧解释光电页子谱它图中低峰的胜种类光电馅子峰疮和俄矮歇峰谱图士中光狭电子沾峰是暑最主低要的话，光电租子峰叛强度晒最大造、峰旬宽最岛小、航对称绩性最关好。每圆一种游元素葬均有般自已杰的最藏强的捎、具渴有自根身特蔑征的嫂光电漠子线哈，此旨为定具性分童析的医依据葱。谱图搏中必懒然也骆有俄盯歇峰夹。由须于俄歇平电子乡丰的动厚能与帝激发徐源无碗关，可鼠以使衔用不幻玉同的X射线橡激发水源采民集同榨一样示品的杆谱线发，在乳以动家能为辆横坐蔑标的峡谱图速中，掌俄歇布谱线榜的能荐量位刃置不瓣变，嫁光电层子峰繁则相荐反；踩在以戴结合化能为铃横坐萄标的爸谱图但中，吸光电释子的渣能量谢位置急不变苦，俄兆歇谱另线则木相反悟。因铅此，球可以利用退换靶兽的方己法区肉分光土电子牛线和兴俄歇绣线。hee俄歇电子光电子e3.局X奴PS图谱杜解释光电套子谱菜图中亡峰的敬种类X射线轧伴峰衫和鬼僚峰能量比特域征X射线更高的次愤要辐毒射成曾分，终将在门主峰低结德合能外处产生弓与主很峰保红持一湿定距资离、证并与新主峰摇有一做定强愈度比记例的奇伴峰位，称贵为X射线胞伴峰。在靶峡材有紫杂质里、污周染或杯氧化肚等非立正常央情况眼下，迈其他锋元素殊的X射线阵也会徐激发余光电瞒子，绑从而歼在距价正常葬光电图子主搜峰一净定距亲离处挠出现扣光电给子峰疾，称催为X射线涨鬼峰。携上脊伴峰脑（sh芒ak各e-敏up）光电业离时灾发射胁出一滩个光乏电子亲后，谦对外央层价帮电子改来说雅，相华当于挨增加筑了一辞个核脏电荷浇。离信子处笋于激瓣发态疏，此浪时这她部分袄原子随发射贩的光桃电子召的初迟动能虽有所览减少她。结御果在梁主峰涌的高港结合棍能端筑出现孝一个猫能量耐损失堆峰（sh励ak粘e-察up）3.首X壁PS图谱皂解释光电流子谱炎图中井峰的近种类多重蚁分裂坏峰如果督原子皂（或锅离子棉的价乳壳)有未筹成对拆电子火存在冰，则赶内层缩慧芯能母级电午离后闪留下般不成卵对电哭子，赠可与蔑原来帅未成希对电拼子进录行耦亲合，蚊从而淘发生能级派分裂，导侍致光巾电子她谱峰遗分裂牌成多锐个谱培峰，哭称之初为多重兔分裂。特征沾能量惕损失秤峰光电朽子经眨历非虎弹性智散射材，会保损失矩固定黎能量棋，这烂样在坡主峰蹄高结港合能纯端形汁成伴孩峰，刘称为料特征于能量跌损失直峰。揉对于妻固体水样品幼，最票重要糖的此猫类峰裳是等涉离子谦损失睡峰。等离堆子损键失峰任何朱具有怨足够粥能量瓶的电跌子通休过固惕体时戚，可或以引愉起导苗带电雁子的瞧集体宾振荡炼，产虎生能赔量损停失。掌在谱施图上河产生帽一系捐列等睬间距龄的能栽量损饺失峰秆。XP菌S谱图滋能量甘校准XP抵S的定弓性分逮析和欠价态晶分析锄都是基于岔光电栗子谱搂图中舰峰位圈置的乒能量旧值。为吐确保末分析倍的准逗确性讽，XP寸S仪应鄙定期帮（每抚工作览几个锯月或赚半年敬）进勺行能量拌校准。荷电衔效应：用XP近S测定族绝缘段体或收半导匪体时碰，由督于光壤电子饮的连厘续发健射而勤得不饶到足箭够的存电子辛补充倍，使娘得样辈品表秆面出献现电神子“培亏损沙”，躺这种秀现象倾称为挽“荷寨电效凉应”瓦。荷电采效应边将引高起的盾能量脚位移葛，所香测结辉合能继值偏臣高。碰荷电格效应找还会踩使谱银锋展姻宽、烦畸变模，对顾分析塘结果道产生掘一定饭的影脚响。3.嫁X面PS图谱丢解释一.定性遮分析实际金样品飘的光塑电子裕谱图浓是样调品中般所有仙元素纠的谱筝图组损合。粘根据若全扫圈描所乡丰得的耍光电刻子谱巷图中峰的怖位置蹲和形痕状，对照臂纯元如素的林标准桐谱图来进陶行识语别。一般筝分析黄过程溪是首先得识别窝最强江峰，因C,液O经常泥出现屿，所得以通甜常考饮虑C1煎S和O1奶S的光斯电子山谱线肥，然后找出被识摩别元泉素的切其它次强父线，并么将识削别出脖的谱线冲标示出来昌。分淹析时甚最好罩选用愤与标社准谱邀图中刘相同河的靶恢。§5尤.3光电洲子能厌谱的逢应用Fe原子针标准夺谱一.定性悠分析§5尼.3光电择子能军谱的杏应用一.定性斗分析§5上.3光电售子能管谱的杯应用由图义可知映，除跑氢以女外，羽其它签元素盾的谱杏峰均罢清晰索可见哀．图盏中氧起峰可回能是饭杂质咽峰，逗或说法明该趁化台愤物已栗部分念氧化犹．(C3H7)4NS2PF2的X射线朴光电途子谱录图．例1硅晶址体表崭面薄杯膜的情物相蓝分析对薄县膜全瓣扫描摘分析义得下视图，舰含有Zn和S元素汤，但饱化学美态未圆知。一.定性嫌分析§5胞.3光电笼子能婚谱的版应用为得去知Zn和S的存影在形兽态，桌对Zn的最套强峰奏进行岭窄扫趋描，吨其峰哭位10惕22晃eV比纯Zn峰10爽21呢.4素eV更高怜，说脾明Zn内层搂电子远的结匆合能车增加旁了，同即Zn的价天态变笨正，倚根据厅含有S元素进并查会文献拣中Zn的标江准谱舍图，治确定倚薄膜仪中Zn是以Zn易S的形技式存盛在的驼。一.定性豆分析－例1硅晶悠体表尤面薄志膜的炕物相新分析§5骑.3光电亲子能林谱的撒应用二.定量此分析因光电俊子信骆号强皂度与样誓品表豪面单柱位体洒积的抢原子壶数成芽正比遇，故新通过勤测量旗光电种子信颠号的胞强度领可以裁确定篇产生幸光电艇子的择元素康在样所品表焰面的残浓度始。x射线玻光电养子谱卖用于狂元素杯定量洋分析骑有理轰论模钻型法研、灵骡敏度复因子驻法、次标样满法等咐各种骆方法筑．目粱前应盈用最山广的邮元素(原子)灵敏事度因缎子法代．灵川敏度稿因子(S边)定义患为：e－电遗子电凝荷；A—被探至测光躺电子主的发膏射面旨积；f－x射线未的通历量(每秒泊每单怜位面婆积多注少光纪子)；y－产怀生额删定能铅量光桌电子细的光群电过跟程的斗效率－一鄙个原充子特都定能尤级的阴光电秃离截轮面，勿这个霞能级特上的融一个情电子丘光致饰电离使发射然出去按；－(非弹摊性散说射)平均验自由惧程；－角度熊因子贞，与x射线待入射擦方向律及接距收光匙电子竞方向炭有关滤的因脂子；T－谱镰仪检港测出梢自样健品的政光电爪子的狱检测抚效率口，T与光费电子荐能旦青有关栏。二.定量玩分析采用溉相对黄灵敏淡度因胀子法有，原俗理与夕俄歇保电子就能谱昆方法献相同丢，元减素X的原值子分码数为句：相对松灵敏洗度因乒子通岁常以F1裙s谱线负强度庭为基梳准，有糕峰面软积S和峰烫高S之分僚，面尿积法叶精度翅高些接。因链影响翅因素鄙多，冈只能简半定扫量。三.化学赠态分些析通过心谱峰汪化学钟位移洪的分占析不队仅可贼以确缴定元恶宗原隙子存肚在于借何种裁化合抓物中笔，还愚可以所研究聚样品颤的化城学结肥构。化学搞态分瓦析是XP方S最具件特色的分立析技虾术。雁具体觉分析透方式铲是与桶标准亲谱图末和标妈样对如比。化学餐环境据不同载，产奔生化晚学位级移。三.化学鲜态分未析为得删知Zn和S的存栏在形鼠态，守对Zn的最芦强峰部进行借窄扫配描，圆其峰陈位10恳22做eV比纯Zn峰10欣21申.4轰eV更高叙，说沾明Zn内层互电子雅的结猪合能未增加呈了，览即Zn的价清态变蛋正，熟根据乔含有S元素伐并查蜜文献福中Zn的标勿准谱薯图，处确定四薄膜眉中Zn是以Zn缎S的形包式存倍在的斯。硅晶退体表心面薄版膜的添物相粒分析活塞督环表速面涂惩层的总剖析活塞岂环表馅面涂劣有未孙知物热，将漏涂层里制成盒薄片施进样红测量XP迅S谱，极如图训。由C1幅s和F1小s峰可老知涂候层是园碳氟萝材料拴。三.化学成态分胃析四.深度邪分析目的渣是获栽得深见度-成分阿分布真曲线数或深季度方方向元稠素的晋化学沈态变去化情稍况。常用蛮离子届溅射节法：捷用惰饰性气陪体离孕子束迫轰击纠样品长，逐撤层剥蹈离样梁品表榴面，扫然后京对表域面进骄行分显析。19胖25年P．Au痒ge弹r在We即ls售on云室龙中首黄先观赏察到馆俄歇荡电子唱的径钟迹，宅并且快正确隙地解羡释了例这种裙电子西的产仔生过伐程．50年代药在次唇级电叛子中负检测么到了凤俄歇芬电子耻。到19愈67年L.纷A．Ha饥rr绸is采用舟微分叙法和损锁相贵放大盐器，娃解决歌了如系何从雹强的糖本底师噪声盛中把寄俄歇舍电子膛信号督检测叔出来最的问喉题，应从此兵发展恢了利极用俄波歇电待子进语行表蝴面分蓬折的惯俄歇薯电子倦能谱扩仪(A失ES锡)，其拴特点傅是对阴近表逝面5—猴20角A范围苍有很贪高的屿灵按汤度，述能分兼析阔为期表付中Be以上曾所有核元素话．§5百.4俄歇身电子货能谱完分析陆（AE战S）e俄歇电子h一、移俄歇势电子仅能谱泡的基谣本原违理俄歇林电子饥能谱曲（Au毙ge欣r锤El齿ec近tr观on吴S篇pe献ct江ro甘me血tr灭y，简蹲称AE槽S）主端要依丙靠俄乖歇电多子的观能量般及强磁度来贝分析纽奉元素更及含皆量的喷，是阻目前萍最重仆要和乖最常恼用的恩表面学分析龄和界平面分扇析方位法之平一到。（一看）俄极歇电聋子的尝产生饥及能拾量关垄系电子纵束照羞射固声体表澡面，剃将固监体内托原子茶的内态层电杂子击常出，谁使原辱子处菠于高卸能的叹激发匠态。凭外层滔电子苗跃迁匪到内专层的卫电子磨空位败，同露时以挨两种且方式裂释放扫能量演：发音射特鸟征X射线品；或汽引起展另一哥外层躁电子敞电离荣，使底其以捉特征墨能量刑射出气固体斥表面汁，此阴即俄狸歇电裙子。§5犹.4俄歇蛮电子条能谱粪分析饿（AE菠S）e俄歇电子h一、钳俄歇乌电子岁能谱赤的基膝本原六理（一骨）俄啦歇电洽子的冈产生蹦及能唉量关竞系§5法.4俄歇载电子研能谱自分析籍（AE倡S）Ey(z+)e俄歇电子hEW(z)EX(z)考虑抓到W电子厘的电症离将芽引起震原子贩库仑榴电场钟的改自组，论使壳说层能炸级略境有变话化。芬通过浆半经破验简锹化。一、调俄歇哑电子马能谱怀的基呼本原茂理（一心）俄些歇电痕子的惯产生保及能射量关勇系§5圣.4俄歇级电子较能谱倡分析鹿（AE丢S）Ey(z+)e俄歇电子hEW(z)EX(z)俄歇茧跃迁栗的方结式不夏同，报产生判的俄乔歇电窝子能诉量不溪同。袄如K层电专子被禽激发弦后，蹲可产免生KL1L1，KL1L2，KL2L3，…等K系俄训歇电校子。俄歇迷电子炼的能触量具肠有特尖征值幕，其改能量痰特征亚主要遣由原廉子的谎种类定确定披，测孔试俄画歇电钱子的转能量核，可坝以进领行定竭性分书析；气根据祖俄歇恩电子散信号单的强勿度，寒可以侵确定榆元素刑含量王，进庸行定识量分虚析。（二狂）、植俄歇串电子谷的强斗度§5高.4俄歇哲电子俊能谱过分析绵（AE颗S）Ey(z+)e俄歇电子hEW(z)EX(z)俄歇沿电子沫的强访度与戏电离坊截面悦、俄炸歇跃涛迁几妖率及齿平均赠自由探程有衬关。1.电离元截面码（激塘发几落率）沫：某一右入射稻粒子术穿越姜样品掘时能昨发生黑电离梨碰撞仙的几逝率。笛可理龟解为淡能量孔为Ep的一弄次电据子把复原子去中w能级垒上结撇合能叙为EBw的电骗子电雕离出抓去的纱难易尺程度枝，是Ep和EBw的函伴数，课越大床，产掏生俄释歇电戒子的驴几率革也越角大。由计森算和餐实验哑得知隐：1)Ep必须窜大于EBw，才堂不为亩零。运即入对射电摸子束丧的能涛量要压大于确样品声原子担中被顺电离调电子雅的结险合能于才可贴能产超生电俘离。2)当Ep/EBw约为3时，完才有餐最大女值，拼此时棚俄歇粱电子占产额酸最高执，故净一般伞选择痕激发卵源电灭子束兵的能降量为券俄歇巨电子堡能量胸的3倍左膛右。024QWEp/EW（二揪）、忘俄歇意电子灿的强丙度§5稿.4俄歇粉电子嚷能谱夹分析被（AE跳S）Ey(z+)e俄歇电子hEW(z)EX(z)俄歇姿电子珠的强雾度与耀电离抵截面头、俄速歇跃葛迁几途率及角平均态自由供程有码关。2.俄歇阳跃迁固几率撑：激发堂原子枕退激膛发的边方式陵有两宿种，谈一种段是电轮子填圾充空饱穴产划生俄少歇电硬子的勤俄歇奴跃迁坟，另扇一种骂是电慰子填宰充空屠穴产供生X射线颜的荧俭光过威程，搁俄歇叙跃迁嗽几率PA和荧宰光产经生几藏率PX之和火为1。根困据半奶经验盼计算交，K能级烂激发扎的PA与PX的关吩系如元图。可见练，当县元素鸣原子听序数Z＜19时(轻元挥素)，俄出歇电职子跃速迁几足率在90口%以上倡，直枝到Z增加肉到33时，隶荧光蹄几率促才与写俄歇座几率泪相等球。（二裁）、位俄歇喘电子件的强管度§5功.4俄歇鸽电子裕能谱渣分析困（AE圆S）Ey(z+)e俄歇电子hEW(z)EX(z)俄歇秋电子需的强狂度与超电离静截面境、俄零歇跃跨迁几侮率及界平均搭自由裕程有密关。2.俄歇习跃迁也几率燃：用于搏分析搁时，Z≤卵15的元繁素应杰采用KL疾L或其弱它K系列脱的俄兆歇电对子；Z＞15时，L系列阁的荧紧光几告率为著零，勇应采瘦用LM慢M或其章它L系列溉的俄臣歇电我子；Z≥燃42时，M系列猴的荧桑光几雕率为枯零，竞应采喝用MN亦N和MN榜O电子粥。3.平均歉自由胁程N卫—到达氏表面糠的俄裹歇电替子数拾；N0—所有婶的俄凡歇电青子数逮；X询—样品脸取样举深度顾，nm；—非弹摧性散旺射平翻均自获由程骨，nm。（二宜）、邮俄歇汇电子乐的强宿度§5想.4俄歇李电子断能谱肤分析产（AE扫S）4.俄歇骂谱：(1何)直接的谱：N(吊E)～E；E-动能,背底耽较高秘，不探容易僚识别(2浴)间接构谱：dN油(E叔)/俗dE～E；E-动能物，较虏高信爹噪比父，容易古识别（二廊）、旷俄歇捡电子传的强倚度§5除.4俄歇驳电子消能谱苏分析危（AE适S）4.俄歇束谱：(1紧)直接罗谱：N(方E)～E；E-动能,背底刃较高党，不知容易坏识别(2祖)间接啦谱：dN英(E场)/中dE～E；E-动能熟，较方高信己噪比讲，容易传识别与XP戒S类似潮，原亦子所权处的腿化学民环境肿不同勿而引捉起的砌内层唐电子床结合轮能的浑变化上，引胳起俄朵歇峰摄的位逮移，调强度李的变歇化。畅俄歇敏跃迁烤涉及筝三个茫能级袭，元灰素化到学态出变化进时，惕能级盐状态河有小辛的变放化，希结果戒这些梁俄歇轧电子授峰与峰零价阵状态道的峰载相比垂有几赢个电董子伏壶特的琴位移钳。二、都俄歇炒电子途能谱异分析§5碑.4俄歇芹电子坝能谱图分析念（AE缠S）（一早）俄得歇电遍子能箩谱仪俄歇壁电子用能谱炭仪主梅要由股快速任进样帅系统床、超也高真率空系阻统、悉电子条枪、就离子职枪、倾能量盐分析鼠系统汤以及舌计算芒机数口据采项集和端处理经系统被等组弊成。1.电子粮束源在俄热歇电莲子能峰谱仪污中，妖通常提采用颤的有服三种纹电子槽束源题，包怠括钨脊丝、颗六硼见化铼幸灯丝剑以及伸场发炭射电殃子枪驴。其件中目跌前最建常用伟的是岁采用爹六硼短化铼辞灯丝其的电盈子束据源。骨该灯苗丝具掏有电贞子束留束流轧密度叹高，牵单色锈性好乡丰以及朋高温枪耐氧慢化等遭特性暑。二、她俄歇圆电子茫能谱父分析§5梅.4俄歇概电子精能谱饺分析燃（AE机S）（一法）俄精歇电币子能踏谱仪俄歇壮电子侵能谱席仪主亭要由善快速每进样继系统嫂、超俯高真鼻空系秋统、山电子领枪、赞离子软枪、吵能量遍分析谣系统论以及阿计算尽机数读据采垃集和地处理寸系统千等组宫成。1.电子青束源现在盘新一羊代的茶俄歇蔽电子僚能谱如仪较脊多地维采用菌场发垮射电年子枪顿，其料优点零足空惯间分艘辨率毙高，织束流孩密度秘大，砖缺点么是价芽格贵期，维届护复传杂，如对真开空要性求高必。而哭电子延枪又临可分浸为固殖定式效电子佛枪和骗扫描梁式电耕子枪罗两种爪。扫描式电耕子枪渔适合菊于俄覆歇电拉子能爷诺的摄微区荒分析狱。二、惯俄歇脖电子干能谱组分析§5总.4俄歇珍电子洲能谱市分析斜（AE刚S）（一角）俄妨歇电嫁子能拜谱仪2.能量美分析荣器俄歇谣电子啄的数薯量很何少，跃仅为愈入射旬电子晚数的10－3以下暗，而献背散众射电脸子和挽二次锁电子幸的数洞量与鼓入射锤电子叨同一析数量趴级，滚俄歇喉电子敢的信进噪比膝低,检测扇困难截。目毒前主卵要有类两种画能量铃分析猫器。(1烤)阻挡远场分冒析器奖（RF论A）：或徐称减殿速场报分析钥器。膨它由充四个端半球裕面栅厅极和遇收集历屏组双成。涨如图秒。入眯射电凶子束占在样董品表朴面的傅轰击疮点在仓栅极宜和收氏集屏抬的曲拌率中晚心上秧，以田保持腿高的酿分辨讽率。茫样品虎、第腥一栅瘦极接悉地，霜第二嗽、第残三栅鸟极并足联，秃带负京电位怠，约塘在－10圾00～0V之间攀连续馒可变委。二、谱俄歇厨电子谅能谱盆分析§5疲.4俄歇般电子写能谱状分析客（AE贫S）（一夜）俄己歇电鉴子能飞谱仪2.能量抹分析便器(1秆)阻挡柄场分猜析器逃（RF灿A）：只谦有当怀电子暑的能极量大竟于栅陆极阻载挡电兔压时米，才遣能穿垫过栅唯极到样达收糟集极局，而康能量闲较低冈的电守子将描被“凯阻挡叨”。收集巧极电馋流信恭号经积前置悟放大总器、否相移取器后则与倍立频信母号2ω或参宁考信屡号ω比较央，频巴率相饥同的案分量畜转换搂为直眠流电怨压加邀于记恰录仪辰或显妹示器采的Y轴，杏从而否得到断俄歇纯电子叠能谱原曲线碌～E或N(亭E)～E。二、细俄歇佣电子孤能谱须分析§5饼.4俄歇型电子蚁能谱县分析膜（AE汗S）（一券）俄饲歇电爷子能斗谱仪2.能量晕分析吹器(2辈)筒镜误分析鹊器（CM叶A）：由同冒轴的轨两个稍圆筒撒形电叔极构贿成的指静电机发射乐系统淘。如剪图。将内圆繁筒开塞两个丝式环状欣狭缝粘（入惰口光床阑和喷出口洲光阑龙），拘样品干放于这中心才轴位肚置，完样品软和内发筒接尝地，连外筒漂加负悬电压－U。样品穴上S点发燥射的洲电子衡以42领°1称8′的发诊射角核由入榆口光太阑进冤入内日外筒凝之间挣，外暖筒的泄负电公位使退具有宏一定唇能量宏的电石子偏秀转方咏向，冷通过至出口洗光阑,聚焦明在中滩心轴资上，兼聚焦瞒点F(电子秒检测涉器)离S点的萍距离岁为L咱=窑6.晨19键r1。r1r2=2烧r1§5仔.4俄歇斑电子至能谱匪分析绞（AE虾S）（一针）俄寺歇电骂子能方谱仪2.能量捷分析际器(2忠)筒镜孔分析轻器(C臭MA像)：聚焦戒点F(电子漆检测筛器)离S点的烦距离抖为L书=彩6.螺19沉r1。r1r2=2r1能够岗被聚秆焦和恼检测万的电奴子，舍其能佩量须质满足醋如下亡关系汇：连续冈改变烧外筒格的偏桃转负狐电压任，即踪蝶可得停电子然能谱军曲线N(键E)～E或能量咐分辨层率理播论上区可达棚到0.产04％，流实际绩上一聋般在0.签1％左铁右。辉总的蕉灵撤著度可苦比阻垃挡扬瘦分析传器提陆高2～3个数终量级的。§5凡.4俄歇荡电子算能谱芳分析壶（AE绢S）（一法）俄饶歇电叙子能帆谱仪2.能量寨分析脊器(2向)筒镜鸣分析仍器(C局MA梅)：r1r2=2r1俄歇鄙谱仪口的电杆子枪僵常装掀在筒甘镜分欧析器峡的内煌筒腔砌里，杨形成冬同轴涛系统颂，而款在侧来面安谊放溅窝射离烟子枪邮作样匠品表套面清爸洁或县剥层福之用3.俄歇酬电子享能谱朱分析浆的特盟点(1殃)分析四层薄专，0～3n搏m。AE明S的采存样深骑度为1～2n讯m，比XP享S（对运无仗机物则约2n应m，对冠高聚夕物≤10哄nm）还杠要浅禁。更踩适合两于表红面元馒素定忌性和皂定量缸分析景。(2拦)分析穗元素照广，调除H和He外的颂所有向元素悟，对写轻元挎素敏辱感。(3非)分析吃区域恳小，写≤50孙nm区域竭。§5羡.4俄歇光电子昏能谱星分析兆（AE舍S）（一察）俄驰歇电苹子能战谱仪3.俄歇氏电子袭能谱战分析束的特单点(4哈)可获弹得元砖素化弄学态微的信蠢息。(5煎)具有水元素犹深度再分布哑分析堤的能渐力。勒需配咐合离世子束泛剥离室技术稼。(6腿)由于裕电子性束束俗斑非苗常小胡，AE烫S具有底很高农的空超间分晒辨率铲，可循以进台行扫纷描和册在微柜区上沈进行凑元素凑的选惨点分蛾析、活线扫派描分羽析和怒面分谊布分己析.。俄歇竹电子绳能谱津现已孝发展纺成为享表面馒元素康定性捎、半薄定量理分析扶、元乏素深颂度分萍布分竿析和钟微区坝分析巩的重登要手续段。并在材陷料研槽究领惯域具烤有广乎泛的煮应用改前景西。（二夸）样强品制庆备俄歇挠电子掉能谱民仪对辜分析烂样品榜有特削定的幻玉要求谢，在洞通常隙情况助下只王能分塔析固体具导电于样品。经茄过特钞殊处地理，绝缘歼体固啦体也可皇以进赞行分束析。粉体尺样品原则饺上不惑能进穗行俄啄歇电继子能铸谱分杠析，咬但经益特殊平制样慎处理依也可房诚以进刚行一漠定的狭分析灶。§5萍.4俄歇妨电子鲁能谱北分析租（AE剃S）（二通）样稍品制酿备由于购涉及浅到样取品在在真空叠中的饲传递推和放策置，越待分针析的陆样品营一般牢都需虑要经挡过一字定的坏预处浪理。纲主要它包括袋样品注大小意，挥睛发性崭样品称的处赠理，胞表面平污染菜样品雀及带扶有微鱼弱磁奴性的念样品罚处理摊。样品谦大小浑。由于兵在实占验过案程中既样品关必须编通过衡传递珍杆，数穿过派超高孩真空是隔离仁阀，丹送到戚样品猴分析芬室。阳因此患，样饿品的予尺广廉必须恼符合纹一定通的大去小规愤范，棚以利澡于真膊主系茫统的面快速梁进样词。对耐于块充状样叉品和堵薄膜片样品毫，其铸长度球最好撤小于10袍mm，高磁度小党于5m绩m。在邮样品残固定夸方便倦的前技提下恩，样帜品面摧积应戏尽可咬能地歇小，贞这样望可以杏在样每品台抄上多伟固定—些样杯品。2.粉末慢样品净。两种亏常用廊的制眉样方讽法。(1兵)用导坑电胶姓带直闪接把霸粉体筐固定牙在样待品台份上，课制样作方便禾，样摧品用垫量少剧，预巾抽到搂高真寒空的裙时间槐较短熄，缺注点是生胶件绘的成镜分可僻能会勾干扰跃样品佳的分窃析。归此外待，荷愿电效蔬应也乐会影漫响到军俄歇泽电子宋能谱降的采乏集。二、链俄歇抱电子沃能谱秀分析§5完.4俄歇墙电子嫩能谱舞分析香（AE言S）（二园）样荡品制没备2.粉末拼样品草。两种园常用绕的制番样方醋法。(2呆)把粉猾体样古品压楼成薄零片，虏然后快再固某定在仅样品器台上狼。优点犯：可以随在真志空中芽对样删而进宽行处拦理，抱如加凉热，药表面顺反应挑等，严其信再号强伙度也朝要比绑胶带霉法高体得多何。缺点捕：样品秘用量抢太大久、抽栽到超什高真扬空的门时间挤太长惩。并堤且对誉于绝尿缘体伸样品类，荷印电效陵应会荷直接蝇影响磨俄歇众电子番能谱图的录剥谱。目前吩比较祝有效踪蝶的方仰法是准把粉佳体样狂品或锯小颗我粒样母品直视接压氏到金窑属铟浓或锡围的基捡材表肌面。遮这样腊可以丛很方艰便地浮固定盐样品量和解枯决样焰品的顺荷电含问题歌。3.含有获挥发片性物忧质的遭样品在样团品进抬入真膨空系宫统前昼必须璃清除蛛掉挥扁发性句物质泽。一朝般可命以通赚过对颗样品沉进行狼加热获或用逐溶剂住清洗矿等方启法。夜如含胁有油纤性物迁质的惑样品匆，一僻般依孕次用潮正已她烷、魔丙酮爹和乙盯醇超涝声清积洗，柳然后金红外屯烘干再，才钩可以凭进入头真空冲系统亦。二、夜俄歇衬电子泊能谱株分析§5才.4俄歇责电子吵能谱脑分析蚕（AE挡S）（二厘）样虫品制虽备4心.表面妨有污布染的傲样品。表面脚有油速等有辱机物博污染驼的样针品，汪在进己入真爆空系厦统前阔必须煮用油拆溶性粮溶剂愧如环泪己烷局，丙乞酮等饥清洗盼掉样房诚品表念面的疗油污陈。最昆后再承用乙委醇清狸洗掉唇有机盖溶剂榆，为陵了保听证样脂品表慌面不敏被氧咬化，乏一般郊采用姐自然延干燥勾。5.有微练弱磁识性的饲样品碍。由于晃俄歇虽电子痰带有切负电赔荷，幅在微胸弱的论磁场统作用铜下，脱也可臭以发块生偏权转。锄当样族品具止有磁复性时怒，由从样品魔表面财出射愤的俄庙歇电稻子就霜会在睁磁场缘瑞的作章用下杏偏离云接收婶角，涂最后园不能嫩到达厅分析凑器，已得不舱到正香确的AE而S谱。熊此外销，当京样品藏的磁抖性很达强时膏，还项存在剧导致鲜分析柜器头胡及样马品架批磁化开的危傅险，涛因此艇，绝绞对禁降止带独有强惕磁性清的样誓用进份人分清析室苦。对贺于具仗有弱困磁性罪的样翅品，底一般煮可以龙通过刊退磁冤的方诉法去半掉样烟品的忘微弱昼磁性烤，然吓后就缎可以自橡正菜常样确品一奴样分幻玉析。二、维俄歇代电子耍能谱衬分析§5遥.4俄歇毒电子倦能谱泛分析暂（AE蔽S）（二放）样惯品制魔备6浅.离子肢束溅今射技判术为了枪清洁蝇被污提染的趋固体殊表面绘和进绒行离驱子束托剥离张深度饥分析宝，常浇利用厚离子蛾束对诱样品斗表面价进行毯溅射牧剥离醋。利爱用离矮子束嫂可定睡量控浇制地差剥离良一定慢厚度赤的表偏面层造，然置后再榴用俄天歇电损子能披谱分胁析表冈面成区分，然这样商就可仿以获忘得元胃素成煌分沿冰深度誓方向拍的分葱布图秤。7.样品证荷电巡寿问题对于辨导电裤性能戒不好源的样肿品如缺半导赏体材邪料、踏绝缘晃体薄烫膜，喊在电庭子束痛的作击用下世，共句表面鹊会产盐生一余定的统负电谷荷积舟累，暴样品傍表而恳何电摔相当苹于给奋表面呆口出淘的俄搁歇电渠子增献加了系一定昨的额午外电恒压，华使得纽奉测得摧的俄忧歇动松能比峰正常畜的要叫高。二、尖俄歇甘电子壶能谱区分析§5闪.4俄歇眉电子常能谱馅分析却（AE谢S）（二劲）样周品制竞备8.俄歇渣电子圾能谱盾采样零深度俄歇葛电子伐能增血的采踪蝶样深搂度与碰出射弱的俄欣歇电支子的帜能量疗及材愚料的贪性质疾有关米。一愁般定援义俄贷歇电车子能境谱的期采样身深度士为俄婚歇电州子平裤均自滥由程望的3倍。眉根据抱俄歇桐电子抗的平祝均自蒙由程悟的数悼据可棚以估桑汁出塌各种渡材料誓的采乖样深彩度。杠一般昼对于质金属装为0.冷5～2n梁m，对封于无础机物个和有增机物催为1～3n跳m。从尼总体逐上来惩看，光俄歇龟电子崇能谱终的采洒样深阻度比XP蒸S的要忠浅，市更具云有表演面灵键敏性扶。二、庆俄歇跪电子脑能谱邮分析（三耕）俄秧歇电蛾子能裁谱的蚂分析1.定性芳分析俄歇膏电子申的能栗量仅废与原番子本也身的烂轨道颠能级馅有关岔，与服入射扑电子止的能盲量无骑关。安对于杀特定然的元否素及齿特定搏的俄甩歇跃服迁过神程，垃其俄歇愧电子萄的能斤量是平特征炕的。由坝此，鼠可根据豆俄歇雀电子野的动帖能来塔定性排分析评样品永表面孔物质狮的元傻素种班类。§5客.4俄歇漆电子闲能谱捷分析洁（AE据S）二、戚俄歇康电子放能谱致分析（三灶）俄伙歇电滑子能锄谱的聋分析1.定性妹分析定性捡分析否的方叫法是艰将测得薄的俄烈歇电些子谱阵与纯姿元素帽的标况准谱膀图比鱼较，通聪过对比善峰的涨位置遭和形前状来扎识别嘉元素强的种目类。标雾准谱赏图提威供了拔俄歇目峰的狡能量券位置废、形哨状和挥相对趴强度困，每担个元宇素一斜般都鄙有数璃个俄杀歇峰娱。样衣品俄负歇电蜓子谱扔图是姜样品失中各晚种元楚素俄邮歇电仰子谱酱的组夫合.俄歇惰电子道能谱谷定性放分析辜方法摸适用齐于除氢纪、氦的以外旨的所喉有元丝式素，且测每个答元素舅有多游个俄舞歇峰捉，定曲性分爱析的准确袍性很匹高。§5诉.4俄歇毙电子感能谱棕分析商（AE轻S）二、毒俄歇悦电子各能谱网分析（三辩）俄字歇电跪子能火谱的使分析1.定性赚分析根据Pe功rk颂in毒-E狂lm衬er公司塞的(俄歇侵电子职能谱凝手册)，建略议俄愁歇电鞋子能疲谱的端定性芬分析敬过程数如下块：(1坐)首先桐把注或意力源集中盘在最叔强的系俄歇叠峰上史。利称用“撕主要赞俄歇锄电子共能量绑图”姑，可颈以把擦对应崖于此蓝峰的秀可能母元素夸降低武到2~剪3种。材然后筹通过鼓与这庙几种断可能搅元素棒的标敬准谱询进行百对比链分析姻，确旱定元涂素种犯类。皆考虑凝元素拜化学色状态探不同弦所产先生的幼化学旬位移陶量.(2)在裕确定始主峰极元素粱后，猫利用胁标准糠谱图梳，在欺俄歇生电于题能谱临图上车标注脉所有宣属于井此元靠素的塌峰。(3)重鸣复(1)和渐(2)的狐过程耍，去所标识针更弱流的峰碗。含筝量少许的元泉素，吃有可夸能只祝商主词峰才烂能在伤俄歇阀谱上肯观测协到。(4)如识果还娇有峰旅未能叶标识左，则却它们陪有可框能是刚一次桃电子焰所产斥企的淘能量应损失荣峰。扰改变傍入射载电子西能量阻，观分察该哈峙是梁否移组动，锄如移诊动就滋不是阅俄歇坝蜂。§5驰.4俄歇冬电子罚能谱谎分析越（AE厕S）二、絮俄歇敞电子洒能谱丑分析（三械）俄摸歇电时子能脚谱的增分析1.定性侵分析横坐荡标为旦俄歇谊电子绕动能吉，纵艘坐标培为俄词歇电盟子计芒数的侍一次恰微分至。由科于俄厦歇跃叮辽过屋程涉挺及到卷多个芽能级隔，可学以同盆时激势发出划多种孔俄歇桑电子寇，因圆此在签AE臂S谱名图上常可以报发现镜Ti弦LM严M俄格歇跃究迁有盟两个答峰。金刚罪石表血面的杠Ti索薄膜锡的俄加歇定女性分屡析谱担(微搞分谱专)§5吹.4俄歇总电子鲜能谱狗分析继（AE没S）二、匪俄歇赠电子桐能谱歼分析2.定量疲分析怀或半克定量云分析俄歇惰电子计强度娱与样丸品中榆对应突原子建的浓械度有芬关，检据此捧可以颜进行蹲元素集的半铁定量疤分析饰。影响笑俄歇毁电子汉强度括的因昨素很阳多，锻除与涌原子公的浓左度有轧关外撕，还咳与样牺品表吓面的稀光洁原度、驰元素秩存在狭的化竭学状吨态以闯及仪次器的康状态驾（谱筹仪对督不同足能量口的俄哥歇电晒子的愉传输亭效率童不同旅）有乐关，善谱仪蒸的污氧染程伸度、饿样品炎表面姑的C和O的污捞染、蚊吸附总物的增存在树、激弟发源类能量洲的不掘同均俭影响孝定量封分析右结果叨，所果以，AE凡S不是将一种衔很好虫的定叙量分舟析方老法。根它给川出的括仅仅古是半辜定量谊的分钞析结音果。定量鸡分析双方法用有以翻下两珍种：(1音)标准输样品李法纯元沾素标餐样法迅：在怕相同存条件辅下测塌量样胖品中做元素X和纯爷元素X标样周的同记一俄先歇峰照，俄播歇电浓子信岛号强拳度分取别为Ix和Ixs砖td，则捕：Cx＝Ix/Ixs坏td§5腹.4俄歇者电子诵能谱看分析畏（AE获S）二、伶俄歇恋电子旧能谱眉分析2.定量槽分析惑或半脾定量收分析多元殿素标项样法沿：用景多元水素标成样（犁各元匀素浓咱度均抱已知册）代混替纯没元素换标样隙，标做样的霸元素讲种类尺及含佛量与尊样品招相近暑。设Cxs旁td为标竭样中罪元素X的原危子分肢数，才则：Cx＝Cxs垒tdIx/Ixs迅td因需瘦提供饭大量脂标样号，所香以，防实际握分析姿中标仅准样波品法私应用到不多恐。(2炮)相对骆灵敏奥度因湖子法该法醒是将各吼元素甘产生肯的俄限歇电屡子信银号均依换算胃成纯Ag当量坟来进板行比教较计透算。具番体过躲程：府在相雕同条关件下鞋测量稻纯元蚊素X和