精密与特种加工

精密与特种加工马德毅TELadeyi@第一章概论第一节精密与特种加工的产生背景第二节精密与特种加工的特点及其对机械制造领域的影响第三节精密与特种加工的方法及分类第四节精密与特种加工技术的地位和作用第一节精密与特种加工的产生背景制造技术的发展已经有了几千年的历史。现代的智能控制自动化制作和现代的超精密加工及纳米加工，代表了当前先进制造技术发展的重要方向。由于现代科学技术的迅猛发展，机械工业、电子工业、航空航工业、化学工业等，尤其是国防工业部门，要求尖端科学技术产品向高精度、高速度、大功率、小型化方向发展，以及在高温、高压、重载荷或腐蚀环境下长期可靠地工作，为了适应这些要求，各种新结构、新材料和复杂形状的精密零件大量出现，其结构和形状越来越复杂，材料的性能越来越强韧，对精度要求越来越高，对加工表面粗糙度和完整性要求越来越严格，使机械制造面临着一系列严峻的任务：机械制造面临严峻的任务：解决各种难切削材料的加工问题解决各种特殊复杂型面的加工问题解决各种超精密、光整零件的加工问题解决特殊零件的加工问题解决各种难切削材料的加工问题如硬质合金、钛合金、淬火钢、金刚石、石英以及锗、硅等各种高硬度、高强度、高韧性、高脆性的金属及非金属材料的加工。解决各种特殊复杂型面的加工问题如喷气涡轮机叶片、锻压模等的立体成型表面，炮管内膛线、喷油嘴和喷丝头上的小孔、窄缝等的加工。解决各种超精密、光整零件的加工问题如对表面质量和精度要求很高的航天航空陀螺仪、激光核聚变用的曲面镜等零件的精细表面加工，形状和尺寸精度要求在0.1μm以上，表面粗糙度Ra要求在0.01μm以下。特殊零件的加工问题如大规模集成电路、光盘基片、微型机械和机器人零件、细长轴、薄壁零件、弹性元件等低刚度零件的加工。要解决上述一系列问题，仅仅依靠传统的切削加工方法很难实现，有些根本无法实现。在生产的迫切需求下，人们通过各种渠道，借助于多种能量形式，不断研究和探索新的加工方法，精密和特种加工技术就是在这种环境和条件下产生和发展起来的。目前，精密与特种加工已经成为制造领域不可缺少的重要方面．在难切削材料、复杂型面、精细零件、低刚度零件、模具加工、快速原形制造以及大规模集成电路等领域发挥着越来越重要的作用。第二节精密与特种加工的特点及其对机械制造领域的影响精密与特种加工是一门多学科的综合高级技术，要获得高精度和高质量的加工表面，不仅要考虑加工方法本身，而且涉及被加工的工件材料、加工设备及工艺装备、检测方法、工作环境和人的技艺水平等等。精密与特种加工技术与系统论、方法沦、计算机技术、信息技术、传感器技术、数字控制技术的结合，促成了精密与特种加工系统工程的形成。精密加工\特种加工精密加工包括微细加工、光整加工和精整加工等，与特种加工关系密切。特种加工是指利用机、光、电、声、热、化学、磁、原子能等能源来进行加工的非传统加工方法（NTM，Non-TraditionalMachining），它们与传统切削加工的不同特点主要有：与传统切削加工的不同特点①主要不是依靠机械能，而是主要用其他的能量（如电能、热能、光能、声能以及化学能等）去除工件材料；②刀具的硬度可以低于被加工工件材料的硬度，有些情况下，例如在激光加工、电子束加工、离子束加工等加工过程中，根本不需要使用任何工具；③在加工过程中，工具和工件之间不存在显著的机械切削力作用，工件不承受机械力，特别适合于精密加工低刚度零件。由于具有上述特点，就总体而言，特种加工技术可以加工任何硬度、强度、韧性、脆性的金属、非余属材料或复合材料，而且特别适合于加工复杂、微细表面和低刚度的零件，同时，有些方法还可以用于进行超精密加工、镜面加工、光整加工以及纳米级（原子级）的加工。特种加工技术不仅可以采取单独的加工方法，更可以采用复合加工的方法。精密导与特药种加帮工技誓术引泛起了供机械服制造极领域舟内的于许多仍变革帝：提高装了材扁料的紧可加幸工性侦。改变硬了零械件的宫典型近工艺蝴路线畅。大大首缩短笋新产漂品试姿制周庭期。对产秒品零计件的松结构耽设计出产生俊很大打的影错响。对传献统的云结构修工艺待性好惰与坏遵的衡朽量标吓准产腰生重艺要影跳响。提高想了材保料的王可加听工性工件彩材料蹈的可党加工续性不惧再与指其硬烫度、沟强度耀、韧循性、愈脆性蜻等有弟直接夏的关缩慧系。柿金刚嘴石、门硬质菊合金女、淬莲火钢恢、石筹英、骄玻璃婚、陶敢瓷等占是很胶难加广工的寻，现稀在已突经采盟用电静火花智、电找解、湖激光沉等多召种方为法来岭加工稿制造咬刀具混、工钥具、耀拉丝闸模等脖等；拦用电汉火花蓝、线登切割征加工云淬火尽钢比守未淬立火钢升更容工易。改变葵了零醉件的坦典型鲜工艺的路线传统痛加工月中，响除磨袖削加笔工以顶外，技其他著的切瞎削加悼工、钓成型惑加工懂等都烦必须搂安排会在淬棵火热匀处理瓶工序敢之前架，这少是不弦可违妙反的值工艺巾准则竭。精纳密与瓦特种弹加工犁技术音的出谊现后是，为亏了免虏除加尾工后没再引堂起淬特火热行处理犁变形篮，一打般都熟是先笔淬火渠处理辜而后胀加工粥。如凉电火终花线秋切割馅加工较、电暑解加徐工等亦都必欠须先铃进行肢淬火滔处理涨后再防加工水。精密薄与特阴种加赶工的喊出现巩还对鸦以往研工序灶的“农分散渗”和警“集汪中”核产生梳了影言响。妙由于顶精密徐与特菌种加含工过医程中筹没有曾显著料的机等械作劈燕用力歪，即竭使是臭较大冠的、苹复杂技的加王工表希面，尼往往怒使用男一个径复杂俘工具赠、简更单的咸运动功轨迹律，经傅过一币次安收装、真一道斗工序撇加工问出来备，工苦序比萌较集潮中。大大虽缩短溜新产竭品试元制周绞期试制搞新产执品时剧，采妥用精弱密与头特种逮加工朱技术劳可以闯直接薯加工遍出各打种特隔殊、匠复杂贿的二在次曲富面体鼓零件驼，可喘以省扛去设菠计和选制造碑相应英的刀抓具、碰夹具赏、量尾具、孝模具哗以及县二次乐工具令，大血大缩锁短新浆产品伴的试遭制周铺期。对产拿品零更件的需结构瓦设计模产生井很大恐的影郑响例如泛山形妈硅钢灾片冲漠模，凤以往锋常采俱用镶盲拼式束结构旨，现伴在采涨用电粱火花唱、线炎切割水加工僚技术侄后，家即使董是硬铜质合鸡金的拍模具削或刀拜具，林也可毅以制尤成整杠体式座结构而。对传始统的尼结构会工艺训性好盗与坏邮的衡浮量标盏准产盐生重厌要影摸响以往冈普遍杯认为枕方孔兽、小及孔、缺弯孔贫、窄叔缝等毫是工芽艺性利差的慨典型样，是穗设计哗人员太和工在艺人太员非挑常“粥忌讳阁”的参，有旅的甚怀至是述机械泰结构饺的“不禁区箩”。森对于友电火臣花穿悄孔加晒工、焦电火斯花线喘切割盘加工工来说治，加搅工方遇孔和榴加工甜圆孔进的难吹易程嘱度是诸一样晓的。葵有了范电火眠花和攀线切打割之个后，圆现在萌为了风避免浅淬火拼处理乐产生固开裂居、变鞋形等收缺陷芒，还闭特意蹈把钻爷孔、眼开槽报等安沿排在木淬火互处理石之后悉。第一讨章吵概松论第一霜节仔精游密与词特种掠加工禾的产窑生背畜景第二牌节眯精胞密与次特种四加工治的特俘点及溉其对角机械竿制造咳领域虚的影镜响第三采节足精残密与叫特种愤加工逝的方腊法及症分类第四芬节劫精娱密与爬特种握加工绸技术贯的地涂位和浇作用第三壮节日精记密与奏特种愁加工败的方划法及乘分类加工厦成形成的原仙理加工价方法拾机理加工超成形好的原犯理精密离与特银种加衣工从暂加工友成形编的原蒙理和逢特点优来分项类，录可以怒分为扁去除系加工亡、结涂合加够工、圾变形误加工腿三大塔类。去除鞋加工去除岔加工龙又称什为分挤离加冈工，僻是从馒工件扛上去巧除多者余的忆材料朵，例眯如金馒刚石锋刀具陶精密绣车削堤、精吃密磨假削、却电火零花加伐工、革电解奶加工析等。结合权加工结合呀加工热是利狭用理轮化方政法将险不同娃材料诞结合塌（Bo兄nd治in响g）在挥一起徐。按惯结合古的机蝴理、罗方法毛、强蔽弱等谢又可享以分订为附迫着（De洗po沟si敲ti春on）、糕注入槽（In欧je塌ct静io鹊n）、礼连接巩（Jo奇in造te须d）三时种。察附着且加工姜又称堪为沉葡积加俊工，匀是在管工件扶表面漠上覆叨盖一赚层物谅质，谢为弱辟结合令，例概如电遗镀、善气相镰沉积抵等。国注入独加工尿又称果为渗配入加皮工，膊是在村工件滔的表湿层注赌入某旬些元术素，似使之反与工衫件基克体材洗料产定生物壳化反仇应，落以改指变工送件表莫层材提料的春力学看、机锁械性杨质，泊属于怖强结男合，酷例如索表面匪渗碳芽、离治子注讲入等昏。连吉接是检将两驱种相巧同或冶不同寇的材晓料通捧过物楚化方难法连高接在谷一起学，例喜如焊辛接、哲粘结扒等。变形筑加工变形旗加工津又称治为流淹动加疼工，蕉是利石用力吨、热蒙、分谷子运撒动等色手段撤使工膊件产狂生变逝形，益改变穷其尺术寸、植形状剖和性锋能，涂例如价锻造堡、铸看造、乱液晶总定向垒等。从材择料在吊加工乒过程淡中的渐流动年来分帽析，吨去除电加工摩是使凡工件灾材料丙逐步梁减少残，一丸部分邻工件琴材料燥变成训切屑曲的加愁工，浪这种村流动挽称为默分散臂流。结合形加工微是使物工件激材料离在加柜工过释程中浙逐步悉增加交的加碍工，脂这种预流动杜称之竿为汇咐合流借。近年循来，早提出御和发竿展了扰电铸瓣、晶珠体生姨长、烦分子捎束外痰延、暂快速惊成形筑加工庸等加执工方斧法，岭突破恳了传攻统加具工大帖多局誉限于肤分离歪去除植和表报面结搏合加离工的誉概念养，特馒别是莲快速绪成形我加工卸是一长种利绸用离颈散／休堆积输成型牌技术企的分狗层制肯造方孟法，梳将一相个三堤维空鼓间实渣体零堂件分鹿散为袜在某卧个坐咸标方连向上毒的若日干层驾有很插小厚崖度的境三维淋实体公，由箱于厚找度很燥小，骄可按困二维只实体倚成型哨，再饺叠加奋而成洲为所那需零饶件的冈原型牛。变生形加越工是叼指在棉加工丙过程惩中工阵件材誓料基隶本不敞变的吩加工哨，称猪为直茄通流肿。加工车方法颜机理从加轮工方罚法的责机来蚂分类须，精猎密与住特种做加工狗可以历分为饰传统良加工值、非撇传统针加工待、复坛合加胆工。传统疲加工攀是指榨使用飘刀具堆进行捧的切客削加壮工以获及磨际削加魂工；非传症统加渠工是舞指利按用机挖、光亩、电惨、声侄、热杂、化拴学、浑磁、喜原子贝能等捧能源谅来进亡行加伏工的盲特种衣加工剪方法烦；复合粉加工寨是指除采用快多种拖加工轰方法杰的复梁合作馆用，族其中史包括予传统则加工熊和非哈传统罚加工剥的复残合、发非传储统加找工与葱非传愿统加熄工的咐复合撞，进遗行优挣势互炼补、临相辅惰相成户的加醉工。第四尸节痰精券密与赤特种协加工猪技术吊的地森位和窗作用目前绝，先灾进制辣造技邀术已容经是轿一个都国家系经济薪发展倘的重放要手蛙段之凉一，闹许多记发达征国家刮都十启分重削视先菜进制炎造技讨术的状水平脏和发故展，仓利用县它进干行产手品革角新、葱扩大姿生产川和提当高国桥际经牲济竞障争能榴力。美国故、日社本、耽德国镇等国朴家的畏经济恩发展京在世择界上氧处于妥领先犁水平现的重浆要原窝因之—，就碑是他引们把云先进满制造桐技术廊看作期是现企代国扔家在绕经济辜上获测得成嫁功的纱关键坝因素虹。日莲本在露第二芬次大骑战后位，二戒为了辩迅速路恢复否经济愧，大聚力发留展制吩造技伸术，杰特别谦是精隆密加甩工技位术，渔使机飘械制筝造业瓣的水籍平有翅了很介大的其提高填，有课力地愧支持疤了相秒关工背业领嫌域的丈发展址，在纺汽车锻制造置业和悦微电帅子工团业方窄面取淹得了奥显著当的成遭绩，锅在短志短的30年中蔽，从—个战摩败国测发展茂为世地界上让的经下济强奸国。发展蔬先进蒸制造仓技术倡是当史前世谦界各做国发管展国狂民经何济的扁主攻饱方向箱和战吸略决运策，胆同时融又是毅一个穷国家舍独立威自主该、繁文荣富澡强、炒经济位持续怜稳定嘱发展弓、科忠技保浪持先管进领妹先的肯长远彼大计住。从先进鸭制造余技术爱的技疏术实茫质而翻论，全主要识有精胁密、传超精秧密加疏工技合术和泻制造书自动罪化两宫大领斯域，前怒者追只求加驳工上者的精稍度和对表面说质量纽奉极限傻，后绝者包歪括了摆产品凤设计堡、制淋造和盐管理愧的自器动化赚，不矮仅是势快速围响应允市场留需求泼、提谢高生质产率饲、改岩善劳韵动条候件的辛重要郑手段珍，而持且是裁保证肢产品背质量劝的有泽效举络措，洁两者仿有密款切的书关系顷，有槽许多颠精密角、超再精密团加工撒要依载靠自起动化主技术纷才得专以达预到预缝期指摩标，族制造迁自动蔬化通翻过精赛密加决工才药能准笔确可舍靠地劈燕实现污。两例者具摘有全蚀局的拘决定悲性的由作用评，是盐先进打制造触技术浅的支托柱。目前筐，精仇密与财特种旺加工如技术鄙水平立是一践个国皇家制突造工肾业水瞧平的摘重要状标志慎之一皇。精显密加望工所街能达女到的参精度挠、表吼面粗敲糙度桥、加维工尺池寸范化围和律几何焦形状任是一练个国害家制貌造技晓术水芹平的帽重要霞标志锡之—。精密瓦与特泊种加御工技士术已呢经成砍为国们际竞抽争中络取得借成功乳的关们键技羊术。料发展苹尖端协技术急，发刃展国站防工惑业，锄发展璃微电梯子工闪业等暮，都财需要带精密县与特扯种加岔工技治术来顶制造呢相关数的仪萍器、火设备乖。在制鹊造自耗动化戴领域尺，已叔经进核行了捏大量矿有关烘计算爷机辅聪助制振造软松件的刊开发模，还楚进行货了计原算机皂集成途制造蛮（CI换M）技驳术，坐生产幼模式亮如精魂良生赛产、境敏捷网制造伶、虚逐拟制验造以袄及清降洁生途产和筒绿色守制造剖等研佳究。找这些艳都代围表了触当今蚁社会典高新相制造移技术毕的一犯个重高要方拢面。款但是钥，作艘为制源造技闹术的糖主战乘场，匙作为先真实封产品棚的实杆际制陪造，音必然泥要依残靠精击密加站工技婶术。柴例如扩，计遭算机雄工业暗的发蠢展不宜仅要硬在软隐件上允，还死要在喂硬件傲上，哀亦即翠在集然成电论路芯荷片上送有很花强的温设计恐、开漆发和抢制造搅能力葬。目尸前我投国集踢成电撑路的翼制造涛水平保制约枪了计仁算机那工业粥的发梯展。我国锈对精拍密与末特种胖加工诵技术大既有崖广大防的社嫁会需过求，鸽又有扣巨大瓶的发喉展潜匙力。第二叶章财金壮刚石青刀具滴精密馆切削倍加工第一翼节安概再述第二咽节月超倾精密菜机床源及其市关键凑部件第三谁节超侄精密状机床办的主蒸轴部俘件第四韵节精俗密导钓轨部祥件第五输节富金棚刚石牙刀具陈的结椒构一概核述精密振与超陷精密服加工巾和制滑造自级动化套是先犁进制滚造技乡丰术的争两大读领域升。当外代的奸精密鉴工程京、微哗细工风程和庆纳米拼技术铜是现烧代制汪造技沟术的咱前沿可、未是来技风术的苍基础煎。通常扬将加机工精龄度在0.滋1~忙1μ肢m，加魔工表父面粗队糙度Ra在0.复02茅~0瓦.1帽μm之间犬的加或工方顿法称近为精投密加味工，悔而将祥加工骨精度宵高于0.咳1μ昌m，加售工表遥面粗悉糙度Ra小于0.蠢01屯μm的加武工方待法称戴为超性精密屡加工异。一概寄述天然塌金刚君石刀采具是富精密汽与超初精密规加工株的基殿本刀送具。铃金刚骆石刀污具的穿超精便密加鸟工技鸽术主猎要应何用于食两个奴方面壁，即讨单件骄大型恩超精芬密零括件的暮切削油加工抱和大坏量生厚产中菌的中衣小型或超精巡寿密零昼件加踏工。一、泄超精涂密加途工的恰难点二、却超精吓密加尘工的峰方法三、叠超精适密加园工的背实现庸条件一、换超精垄密加愚工的匀难点超微却量去鸟除技缸术是碑实现拆超阶盈级精润密加眠工的鞭关键洽。这镇是因持为在翼这种亦情况现下：一、确超精均密加茶工的箱难点①暗工具惠和工破件表舒面微钉观的搂弹性踪蝶变形写和塑粱性变筒形是珠随机兄的，贼精度垃难以淘控制奴；②摇工艺销系统但的刚魔度和足热变箱形对国加工载精度立有很笔大影祖响；③箱去除侄层越顺薄，尝被加眯工表季面所铜受的颗切应援力越粥大，祸材料埋就越插不易架被去呼除。④确当去合除厚馅度在1μ漏m以下座时，仓材料定被去腔除的厉区域酸内产敬生的盛切应视力急睁剧增具大。颠因为矮当晶羊粒的腥尺寸瓜为数盏微米普时，分加工犹就需因在晶懒粒内绝进行客，即肿把晶部粒当施作一六个个据不连厚续体狸进行籍切削疾。在嘴晶粒嫩内部仙，大县约1μ她m左右舰的间膛隙内候就有忧一个唉位错佳缺陷叛。二、材超精压密加叶工的售方法⑴归超精扔密加循工按扔加工奶方式马不同抵可以发分为软切削幸加工似、磨屠料加销工（巷分固勇结磨钟料和晒游离昏磨料伐加工姜）、烧特种泛加工超和复来合加将工四顶类，常如表2-裂3所示累。⑵孙根据劳加工既方法封的机尚理和撤特点幻玉，最犁基本义的超担精密侨加工麦方法滑还可妙分为毫去除婆加工苦、结量合加屑工和跌变形厅加工仰三大霉类，每如表2-县4所示秘。⑶赞超精港密加浑工还斗可分跨为传绿统加扮工、需非传既统加室工和授复合座加工遭。传黄统加科工是智指刀袄具切木削加节工、叮固结累磨料历和游轨离磨音料加敢工；誉非传弓统加向工是酬指利团用电神能、某磁能巴、声铺能、躺光能视、化绒学能宅、核科能等肝对材尺料进供行加斯工和判处理膜；复虎合加招工是萄指多甲种加悔工方睬法的宜复合存。目灵前，水在制撞造业梢中以己切削词、磨薄削和惜研磨方为代户表的炉传统颤加工辰方法耽仍占召主要领地位.三、旱超精弦密加煮工的震实现输条件超精毁密加勿工是质一门俱多学漂科交茅叉的肝综合饱性高哄新技栗术，耍已从锡单纯汤的技懒术方架法发唐展成劣精密场加工验系统复工程汁。该细系统主主要雀包括侍以下鼻几个苏方面刻：①衔超精辜密加伪工的港机理夹与工联艺方述法；②心超精菊密加览工工字艺装怒备；③阀超精离密加欲工工纤具；④课超精哥密加棒工中点的工举件材份料；⑤狮精密脏测量掀及误暖差补佳偿技尘术；⑥央超精纱密加眼工工唇作环胶境、究条件胸等。在超兆精密绪加工抢的中鞠，必扣须综请合考玻虑以浸上因某素。第二氏节筐超树精密啊机床否及其急关键岸部件一、创典型丙超精释密机攀床超精黎密加赵工机标床是招超精客密加饭工最吗重要闷、最孕基本龄的加慕工设芽备。屈超精孝密加量工对族超精乳密加快工机洗床的怪基本疯要求掌如下叮：⑴会高精岸度。盏包括哗高的扔静精止度和裙动精征度。菌主要井性能应指标紫有几罢何精客度、动定位锦精度疗和重宰复定竟位精旋度以锅及分矿辨率段等。⑵脾高刚赖度。眯包括凝高的魔静刚割度和科动刚执度。够除本碗身刚迫度外精，还充要考见虑接喘触刚较度，流及由汉工件餐、机障床、星刀具真、夹鲜具所对组成槽的工希艺系掠统工亭程刚拜度。⑶码高稳尚定性肾。在么规定夕的工窃作环凤境下载和使伴用过陡程中两能长渐时间枕保持畜精度攻，具罚有良担好的乱耐磨汗性、错抗振付性等欲。⑷唇高自羡动化借。为截了保滑证加习工质夜量的梨一致灶性，运减少堆人为战因素牢的影强响，部采用购数控冬系统赔实现伏自动望化。以下衔是超窜精密据机床休发展题过程揭中的—些典触型的稻、有卫代表倒性的巩机床坊，它换们基崖本代养表了注超精肉密加置工技女术和霞超精充密机必床的绍发展贿过程拿。1．大撇型光卫学金敬刚石摸车床——LO颜DT犯MLO珍DT促M由美季国国芬防部哄高等骑研究击计划低局投梢资，LL磁L实验罩室和够空军Wr馅ig营ht航空英研究翠所等斥单位撤合作湾研制喂的加竖工光昆学零资件的剥大型纤光学殃金刚退石车困床（LO酱DT解M—创—L型ar裹ge触O矿pt腰ic郑al忌D军ia刮mo低nd羊T按ur脾ni证ng蛋M娃ac旅hi盼ne）。2．FG普-0敌01超精深密机斯床德国附的FG撤-0翻01超精邪密机振床可吨实现牧纳米遭级的监非球恰曲面庙加工翁。3．OA斗GM柴2啦50喝0大型束超精兵密机站床英国Gr掉an挣fi偿el晌d公司挠和SE铁RC趟B喜ri道ti想sh（Sc手ie赚nc纲e雀an发d尤En疫gi狡ne垫er喜in烧g槐Re腿se冰ar耀ch鹿C陪ou毁nc商il）于19洪91年合庸作研视制成傍功OA仅GM稀2鄙50武0大型贵超精朱密机曲床，筹用于X射线浮天体疑望远性镜的壶大型糟曲面侦反射抢镜的钢精密胖磨削咱和坐郑标测巴量。承该机隙床有未高精柿度回再转工巾作台选；由扮精密勤数控安系统抱驱动叫；导胜轨采疼用液鸡体静勿压，序磨轴虫头和造测量常头采狠用空练气轴极承；届床身撞结构满高刚伙度、揪尺寸谁高度乏稳定书，有衬很强杠的振界动衰惭减能袋力。4．AH虾NI顶O型高馋效专微用车券削、瓦磨削之超精氏密机薄床日本雁的TO曾YO庙TA公司溜生产波的AH赤NI寒O型高乘效专排用超棚精密零车床询，机闷床主途轴由缸空气眯轴承达支承材，刀架架设辽计成亿滑板能结构少，由延气动赴透平阀驱动搜的砂警轮轴缓转速井为10殃00新00赛r/悼mi颈n，采津用激意光测歌量反掉馈系谢统，芒直线巷移动煌分辨丑力为0.苦01苗μm，定屿位精钓度全演行程0.肃03吐μm，B轴回财转分梢辨力己为1.询3"。该耗机床我加工允的模劣具形俗状精拾度为0.宅05法μm，表戒面粗敢糙度Ra绞0.虽02民5μ孙m。超精豆密机阶床的木主轴丽部件主轴禾部件巡寿是保堪证超归精密恭机床累加工渴精度丢的核唱心。捧超精纸密加彻工对淘主轴收的要亭求是斤极高衰的回旷转精截度，杂转动枪平稳版，无冈振动遇。而手满足塌该要现求的液关键禾在于歼所用夺的精班密轴凡承。链早期寺的精匠密主港轴采登用超浪精密钩级的字滚动由轴承锈，现医在多仪使用趣液体瓶静压衔轴承的和空蜡气静名压轴寇承。1．液泊体静伪压轴滥承主正轴液体去静压我轴承唇具有唤回转鹊精度定高（0.治1μ胆m）、么刚度摇较高枣、转故动平馅稳、缩慧无振尚动的笛特点统，因诞此被童广泛粒用于幼超精时密机化床。液体框静压仔轴承璃的主狠要缺姨点是渐：①豆液体堤静压招轴承俘的油失温随律着转手速的毯升高溉而升钳高。柳温度面升高半将造籍成热然变形蓝，影模响主询轴精丑度。②掠静压迁油回颗油时袜将空耐气带骂入油愿源，侮形成裂微小司气泡店悬浮拔在油爬中，禁不易青排出汽，因女而降尺低了霉液体庄静压侄轴承浙的刚须度和饭动特塞性。2．空款气静耍压轴屋承主论轴空气持静压校轴承沃的工贼作原叼理和锤液体逆静压长轴承酸相同遭。空震气静京压轴损承具咐有很鸡高的扮回转棋精度按，在欲高速团转动数时温尝升甚洒小，弯基本说达到怀恒温台状态参，因口此造漏成的昂热变耕形误陡差很烦小。花但是哑与液脖体静企压轴掩承相真比，天空气朱轴承螺刚度猴低，猜承受竖载荷废较小捆。但待超精赚密加纺工切属削力忠很小打，所摩以空颜气轴忆承可插以满巴足相最关要塔求。以下昨是几挠种典挖型的荒结构诞：⑴惜双半众球空涌气轴贡承主丢轴：该主贴轴前托后轴榨承均妖为半该球状倘，同异时起程径向森轴承包和推垄力轴耕承的侧作用数。由族于轴茧承的相球形傅气浮劫面具证有自闯动调字心作津用，于因此淋可以商提高劳前后宁轴承帽的同禁心度替，以伤提高组主轴哭的回俩转精竖度。⑵嗽径向—推力勇空气弄静压碑轴承荐主轴叛：该结装构是传在液维体静皆压轴匠承主竿轴结如构基婶础上蛇发展撞起来饼的，妈只是乳节流眼孔和宋气腔无大小弦形状点不同言。该均结构漫中径制向轴如承的零外鼓习形轴归套可窝起自名动调黎整定隶心作卵用，高具体益方法侧是先四通气吊使轴敞套自旋动将毫位置霉调好招后再使固定己。这估样可派提高匙前后俩轴套膝的同体心度唇。⑶万球形—径向时空气违轴承颤主轴这种洒结构喂的主川轴前裕端球扩形同坐时起雷到径最向轴蚀承和色轴向雨推力传轴承买作用迷，并论具有当自动杆调心商作用去，保叠证了库前后虎轴承件的同少心度孩。⑷立冒式空位气轴飞承主棕轴该结零构主舍要用今于大纽奉型超赏精密狱车床荒，以休保证句加工中系统谷具有犁较高绞的刚打度，请且便拼于零帖件的吵装夹队。其味圆弧途面的栋径向伶轴承叛起到为自动止调心扰、提奖高精西度的傲作用罢。3．主前轴的斯驱动若方式主轴泻驱动您方式歌也是草影响脏超精哭密机递床主计轴回赏转精星度的烦主要砌因素焦之—。超烛精密摊机床伏主轴店的驱跨动主偷要有洋以下讯两种地方式洪：⑴惜柔性圆联轴绘器驱浩动机床誉主轴蝴和电弦动机拔在同参一轴疏线上要时，傻超精倚密机偶床的银主轴兆通过德电磁溜联轴但器或僻其他令柔性侨联轴赚器与蔽电动政机相蚊联。⑵吹内装症式同陆轴电歇动机曲驱动该驱为动形杀式采策用特难制的匀内装岗式电尝动机慌，其粗转子腥直接锋装在鉴机床土主轴捡上，度定子捡装在铲主轴搭箱内爱，电才动机没本身将没有静轴承答，而持是依沸靠机亦床的厘高精盒度空岔气轴言承支特承转暖子的旦转动玻。采堆用无帮刷直稿流电财动机息，可陪以很捏方便击地进影行主贵轴转南速的毕无级叶变速蛮，同趁时由源于电扑动机机没有筑电刷讯，不恢仅可估以消蠢除电歼刷引离起的轧摩擦川振动边，而眨且避笑免了奸电刷嚷磨损蜻对电迈动机渣运转此的影惨响。早期腐的超络精密疯机床位应用聋带传样动驱蜻动，吉在这烟种驱谁动方腊式中夺，通芳常采萌用直党流电欲动机武或交焦流变廊频电装动机锤，以深实现典无级岭调速依，避线免齿沙轮调算速产绒生的悟振动锤。要佳求电影动机侍经过验精密信动平个衡，辉并用柳单独为地基河，以市免振亿动影黄响超惭精密括机床桐。传织动带齐用柔淋软的貌无接宿缝的勇丝质冒材料贼制成忙，以纤产生传吸振签效果肠。4．超厦精密拐机床盗主轴熔和轴组承的慢材料选择血机床暑空气坟主轴播和轴仆承材真料时彩应考搁虑以芽下主汪要因阻素：么①挨耐磨踢损；嫩②酿不易虚生锈役腐蚀则；③虹热仇膨胀险系数家小；注④倍材料嫂的稳按定性毅好。制造焦空气贵主轴汤和轴直承的该材料炊主要崇有：歇①雅经表伤面氮忆化和鸦低温蹦稳定播处理坡的38堡Cr盲Mo逃Al氮化劣钢；禁②于不锈算钢；迷③蚊多孔轧石墨摊和轴狐承钢集。另帜外还切有铟押钢、巨花岗检岩、氏微晶难玻璃盏和陶蚊瓷等择。第四那节惨精密共导轨害部件1．超法精密雷机床瓶的总娱体布冶局2．常滋用的免导轨甘部件3．床绍身及棕导轨巩的材泻料4．微浙量进砖给装妥置1．超波精密税机床毙的总朱体布宴局超精丈密机巨床主越要用非于加咽工反语射镜痛等盘慨形零惠件，蒸一般萝不需忙要后哈顶尖羡，因护此在怪总体愤布局酬上比对较简役单。萌常见致的超裕精密浑机床现的总炊体布灶局有帮下面归几种蔽：⑴T形布晌局⑵着十字性形布参局⑶R-θ布局⑷树立式梅结构涛布局2．常体用的扑导轨篮部件超精柔密机尤床常圈采用衬平面取导轨歉结构纪的液程体静蕉压导阳轨和拘空气臭静压朱导轨算，滚而动导丹轨也宫有着毯广泛此的应秃用。变常用袋的超拐精密牺机床比导轨采结构捆形式仗有燕反尾型斗、平检面型千、V—平面欢型、毕双V形等垒。⑴衔液体判静压炸导轨液体悦静压歇导轨乒具有冰刚度助高，等承载爆能力泛大，亿直线天运动誓精度撕高，幕且运翁动平灾稳无役爬行浩现象骆等优陡点。嫂图2-队17浊a所示椅为平滔面型怪液体伍静压栗导轨糖，图2-奔17陶b所示猪为双殖圆柱陈型液配体静玻压导迟轨。目前的很多面超精辣密机软床的遥导轨撇部件县是用结花岗老岩制案造的镇。由弄于花劝岗岩吧加工饥困难前，一状般都溜不做湾成整孟体，教而是两做成秧花岗蹄石块墓之后射用螺堪钉紧遗固在报一起浇。⑵搁空气伐静压内导轨易和气挪浮导叠轨空气畏静压泊导轨寇和气状浮导里轨可石以达庙到很抚高的棕直线借运动君精度爪，运婶动平引稳，拒无爬焦行，裳且摩根擦因测数接指近于睁零，胶不发膨热。①谢空气艰静压悬导轨导轨洲运动窜件的采导轨梳面上稠下、蚁左右阶均在积静压滨空气朋的约培束下络，因惰此和为气浮默导轨献相比购有较额高的冰刚度胡和运抵动精恐度，尼但比躁液体励静压羞导轨魄要差虹一些都。空拥气静按压导卵轨有先多种问形式拘，其广中平晋面形宝导轨笛用得巨较多益。常筋用的喉静压株空气音压力毛为4×壳10旁5~议6×脂10视5P急a，气谊压高楚于6×乖10排5P四a时容赶易产年生振负荡。②倚气浮常导轨使用付气浮倘导轨滩的必皱要条抱件是突导轨著上的庭运动黄部件淹重量剂很重固且压局缩空录气的拒压力红非常讲稳定铃。气蛛浮导灵轨的薯刚度公较低冰，且态受压分缩空豆气压迟力波侵动的到影响历。3．床穷身及堆导轨吉的材扮料超精播密机踏床床宾身结泉构与堡所用动材料彻有关呼。常不用的饿床身肠及导谜轨材依料有塞优质纲耐磨雷铸铁雀、花嗽岗岩傅、人需造花花岗岩欢等。4．微亦量进粘给装情置超精耻密机猾床的饿进给环系统—般采雪用精窃密滚丘珠丝掠杠副当、液暖体静然压和估空气海静压追丝杠菊副。愚而高谣精度跨微量块进给工装置扛则有絮电致