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碱性氯化铜蚀液1.性2.刻程的要学应)Cl2334

2被Cu(NH)]2+络离其蚀刻反应如34Cu(NH)Cl＋Cu→2Cu(NH)Cl34232

的Cu(NH)32

1+

1+

量NH3

-

所2的[Cu(NH)34

2+

)Cl＋2NH＋1/2O)O324323422刻1克分子铜需要消2和2()→去膜Cu2+

()3.蚀液方年版的印中介－4表10－4

13·H324

/

克/

2－6克2+

2

－0

1－0.64

3

4

4

4

3

00

－O100、NHCl224·HO670322液PH值在9.6左O的作用是作为络合32

NH4(NH4)PO的344.响刻率因的Cu

2+

氯化Cu

浓的响2+是氧化剂，所以2+0－11盎/－16/加司/－30盎/加仑在180

溶的响PH～8.8之间。当PH值8.0一损坏加热器值过高，蚀刻液中氨过饱和，游离氨值增大也会增氯铵量影:[Cu(NH32

1+

NH存乏[Cu(NH)1+34432着蚀刻的进行是，Cl

-含Cl含量4在温的响

3在45～55℃为宜。5.蚀液调刻补美255g/lPH值氨水(26%)比重1.03

置情况下＝分析值－规定)(l)(g/l)量((上述1506.蚀刻程常现问

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