扩散生产培训

扩散生产培训第一页，共二十五页，编辑于2023年，星期日目的及意义培训的目的了解扩散原理介绍扩散车间操作流程熟悉人员、生产、设备安全的要求和危险预防措施培训的意义简单介绍扩散车间的生产流程，强调生产安全问题第二页，共二十五页，编辑于2023年，星期日内容提纲扩散原理扩散车间的基本生产流程人员、生产、设备的安全培训第三页，共二十五页，编辑于2023年，星期日单晶硅太阳能电池第四页，共二十五页，编辑于2023年，星期日多晶硅太阳能电池第五页，共二十五页，编辑于2023年，星期日扩散方式扩散原理扩散方法1.三氯氧磷（POCl3）液态源扩散2.涂布源扩散3.固态氮化硼源扩散目前业内批量生产采用第一种方式第六页，共二十五页，编辑于2023年，星期日N2扩散装置示意图第七页，共二十五页，编辑于2023年，星期日可分为三步：POCL3→PCL5+P2O5（800度左右）PCL5+O2→P2O5+CL2P2O5+Si→SiO2+P磷扩散原理扩散原理第八页，共二十五页，编辑于2023年，星期日扩散车间操作流程扩散原理不合格合格开机准备器件清洁物料准备开机上料自动生产下料关机清洗扩散后清洗返工流程检验第九页，共二十五页，编辑于2023年，星期日插片：戴好手套，手套的戴法为：内层汗布手套外层PVC手套。调节插片台风量，然后用石英吸笔吸取硅片后轻轻插入石英舟的槽中，每槽一片插入石英舟（做单面扩散时每槽插两片）。主要操作要求第十页，共二十五页，编辑于2023年，星期日主要操作要求检测：等待硅片冷却后，每炉取出5片检验，他们的位置应该为石英舟的五个均匀分布点，将测试片按照从炉口到炉尾的顺序取下来，按照硅片盒的小面到大面方向放入盒内，用作测试方块电阻。（详见《方块电阻测试作业指导书》）下片：用吸笔或镊子依次将硅片从石英舟中取出放置在洁净的传递盒中（注意轻拿轻放，避免摩擦碰撞，防止P-N结损坏），放入传递窗，卸片时注意片子正反面，一律规定正面朝上并且不得发生磨擦（规定扩散面为正面）。第十一页，共二十五页，编辑于2023年，星期日返工片处理方法扩散车间不合格片返工流程1.二次扩散，生产中方块电阻偏高的，可以做二次扩散工艺。2.反面扩散，后清洗传过来的硅片，在反面做生产工艺。3.重新制绒，对于外观不合格和电阻偏低的硅片，需要返回制绒车间重新制绒。

第十二页，共二十五页，编辑于2023年，星期日扩散制结的卫生注意事项由于我们车间是分子级的扩散，所以对车间洁净等级和工具的卫生情况要求很高，总结如下：1.所有操作工具必须永远保持干净的状态，包括吸笔、镊子、石英舟、碳化硅悬臂桨。2.吸笔镊子应放在干净的玻璃烧杯内，不得直接与人体或其它未经清洗的表面接触。3.石英舟应放置在石英凳或氮气柜内。4.碳化硅悬臂桨暴露在空气中的时间应做到越短越好。第十三页，共二十五页，编辑于2023年，星期日扩散车间产品安全生产安全的要求和危险预防的措施按照车间要求正确穿戴工作服和劳保用品。操作人员根据岗位操作要求正确操作。坚守自己的岗位，不能随意串岗。从事危险工作时，应按照规定，正确作业，包括不单独作业、正确穿戴防护服等等。正确操作设备。按照设备维护要求定期检查和维护设备。所有的工作，除了日常维护外，都要有负责人员执行监管。保证车间的干净整洁。保证产出产品的合格检验。第十四页，共二十五页，编辑于2023年，星期日产品监控1、扩散后方块电阻检测仪器：方块电阻测试仪方块电阻值一般在40-60Ω/sq范围内,每片测量五个点。批次间扩散方块电阻不均匀度≤3Ω/sq，片内扩散方块电阻不均匀度≤3.5Ω/sq，不同设备所生产的硅片均匀性有所差异。2、扩散后外观检测(目测部分)

1）表面手印和沾污（不能下传）2）蓝斑片（一般可下传但效率低点）3）黑斑片（一般可下传但效率低点）生产安全的要求和危险预防的措施第十五页，共二十五页，编辑于2023年，星期日扩散车间设备安全设备安全的要求和危险预防的措施总体结构分为四大部分控制部分(动力柜)推舟净化部分电阻加热炉部分气源部分第十六页，共二十五页，编辑于2023年，星期日MainPowerCabinet

第十七页，共二十五页，编辑于2023年，星期日设备安全的要求和危险预防的措施Tempress扩散炉操作界面主菜单界面按4，进入tubecontrol第十八页，共二十五页，编辑于2023年，星期日Tempress扩散炉操作界面设备安全的要求和危险预防的措施返回tubecontrol界面，按2开始运行程序按6，选择工艺菜单第十九页，共二十五页，编辑于2023年，星期日Tempress扩散炉操作界面备注：除了上述方法，还可以在自动装载系统操作界面上对扩散炉进行操作，当打开自动模式时，操作人员只需要在装载台上取放石英舟，其他事情全部由电脑自动控制。在tubecontrol界面，按3可以终止运行的程序第二十页，共二十五页，编辑于2023年，星期日48所扩散炉操作界面主界面第二十一页，共二十五页，编辑于2023年，星期日48所扩散炉操作界面点击主菜单左上角的“工艺运行”按钮，出现下图界面，选中正确的工艺文件，点击“运行”按钮，工艺就会自动运行。第二十二页，共二十五页，编辑于2023年，星期日48所扩散炉操作界面工艺运行后，界面自动跳进监控状态，在此界面可以终止程序或者跳步。第二十三页，共二十五页，编辑于2023年，星期日安全标志热：热表面。触摸此表面会烧伤皮肤。电击：指出这里有这样的危险，在此物处于带电情况下你有可能遭受电击。