扩散硅压阻式压力传感器介绍

淄博飞雁先行测控技术有限公司扩散硅压阻式压力传感器介绍Jul.

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2015刁国荣扩散硅压阻式压力传感器工作原理扩散硅压阻式压力传感器工作原理：被测介质的压力直接作用于传感器的不锈钢膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，从而使传感器的电桥电阻值发生变化，利用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准电压信号。注：本PPT后续介绍的内容皆以Honeywell（13/19系列）不锈钢压力传感器为例进行介绍。扩散硅压阻式压力传感器内部结构图扩散硅压阻式压力传感器内部结构图如下：扩散硅压阻式压力传感器压力类型扩散硅压阻式压力传感器压力类型：普通表压Gage(G)密封表压Sealed(S)真空表压Vacuum

Gage(V)差压Differential(D)绝压Absolute(A)扩散硅压阻式压力传感器压力类型介绍Ⅰ普通表压Gage(G)真空表压Vacuum

Gage(V)普通表压和真空表压的测量参考点皆为当地大气压，不同的是普通表压只能测量高于大气压的压力（正压），而真空表压既能测量高于大气压的压力（正压），亦能测量低于大气压的压力（负压）。其测量原理如右图所示：优点：不受大气压的影响，测量准确。缺点：需要外接导气管，对环境要求较高，另外真空表压传感器的输出信号为双极性，所以信号处理较复杂。扩散硅压阻式压力传感器压力类型介绍Ⅱ密封表压Sealed(S)密封表压的测量参考点为背压腔里的密封标准大气压。其测量原理如右图所示：优点：不需要外接导气管，使用方便。缺点：当标定地点和使用地点的大气压差别较大时，会对传感器的输出产生一定的影响。扩散硅压阻式压力传感器压力类型介绍Ⅲ差压Differential(D)差压是测量两个压力的差值，此类传感器有两个引压腔，通常被称为正压腔（高压腔）和负压腔（低压腔），当负压腔通大气时，其功能同表压传感器。其测量原理如右图所示：优点：可以允许较高的共模压力。缺点：使用及维护稍复杂。扩散硅压阻式压力传感器压力类型介绍Ⅳ绝压Absolute(A)密封表压的测量参考点为真空，即绝压传感器的背压腔为真空。其测量原理如右图所示：优点：同真空表压一样可以测量负压，但绝压传感

器不需要外接导气管，使用方便。并且绝压

传感器的输出信号为单极性，处理相对容易。缺点：小量程绝压传感器受大气压影响较大。扩散硅压阻式压力传感器指标介绍非线性Best

fit

lineActualVoP在期望压力范围传感器输出曲线与一拟合直线的偏差。用满量程的%表示迟滞：在同一试验点当被测量值增加和减少时输出中出现的最大差值为迟滞。重复性：在所有下述条件（相同测量方法、相同观测者、相同测量仪器、相同地点、相同使用条件和在短时期内的重复）下对同一被测量进行多次连续测量所得结果之间的符合程度为重复性。响应时间：在0psi到FSS压力变化中，从10%上升到90%所用的时间。相应频率：响应时间的倒数。扩散硅压阻式压力传感器量程Ⅰ19系列不锈钢传感器（单位：PSI）额定量程最大工作压力爆破压力0-39150-515250-1030500-1545750-30901500-501502500-1003005000-20060010000-30090015000-50012002400扩散硅压阻式压力传感器量程Ⅱ13系列不锈钢传感器（单位：PSI）额定量程最大工作压力爆破压力0-500150025000-1000300050000-20006000100000-30009000100000-50001000010000扩散硅压阻式压力传感器技术指标扩散硅压阻式压力传感器技术指标：供电：L型典型值为1.5mA，最大值为2mAK型典型值为10V

，最大值为15V零位输出：典型值0mV，输出范围±2mV满度输出：典型值100mV，输出范围98mV～102mV非线性：±0.1%迟滞：±0.015%重复性：0.01%响应时间：0.1mS寿命：最少100万次循环补偿温度范围：0～82℃扩散硅压阻式压力传感器选型测量多大的压力？测量的压力形式？（G、S、V、D、A）介质是什么？(气体/液体/蒸汽)精度要求？工作温度范围?供电方式？（K/L）如何和电子系统相连？(什么样的输出)结构形式？扩散硅压阻式压力传感器压力单位各种压力单位之间的换算：Atm（标准大气压）

=101.325kPa1MPa=1000kPa1kPa=1000Pa1psi

=6.8946kPa

≈

7kPa1bar

=

100kPa1mH2O=9.80665kPa

≈

10kPa1in.H2O

=

248.22Pa ≈

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