波导型光电探测器及双边输入波导型光电探测器结构的制作方法_第1页
波导型光电探测器及双边输入波导型光电探测器结构的制作方法_第2页
波导型光电探测器及双边输入波导型光电探测器结构的制作方法_第3页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

波导型光电探测器及双边输入波导型光电探测器结构的制作方法摘要本文介绍了波导型光电探测器（Waveguide-TypePhotodetector，简称WGPD）以及双边输入波导型光电探测器（BidirectionalInputWaveguide-TypePhotodetector，简称BIWGPD）的结构和制作方法。波导型光电探测器是一种集成光学设备，可用于高速光通信系统、光纤传感及光电子器件等领域。1.引言光电探测器是将入射光信号转换为电信号的关键器件之一。波导型光电探测器是一种基于波导技术的光电探测器，能实现高效率和高灵敏度的光电转换。本文介绍了波导型光电探测器的基本结构以及双边输入波导型光电探测器的制作方法。2.波导型光电探测器结构波导型光电探测器的基本结构包括光波导、吸收层和电极层。光波导用于引导光信号在探测器中传输，吸收层用于吸收光信号并转换为电信号，电极层用于收集和输出电信号。2.1光波导光波导是波导型光电探测器中的一条光传输路径，一般采用高折射率材料制成。常见的光波导材料包括硅、石英等。光波导的截面形状可以是矩形、圆形等，根据具体需求选择。2.2吸收层吸收层位于光波导的顶部，用于吸收入射光信号并转换为电信号。常见的吸收材料包括硅、锗等半导体材料。吸收层的厚度通常需要优化设计，以提高光电转换效率。2.3电极层电极层位于波导型光电探测器的底部，用于收集和输出吸收层中产生的电信号。电极层由导电材料制成，常用的材料包括金属铝等。电极层的设计需要考虑到电阻、电流密度等因素，以提高输出信号的质量。3.双边输入波导型光电探测器制作方法双边输入波导型光电探测器是一种特殊的波导型光电探测器，具有双边输入的特点。以下介绍了双边输入波导型光电探测器的制作方法。3.1制备底部电极首先，需要在衬底上制备底部电极。衬底可以采用硅等材料。底部电极可以使用金属铝等导电材料，通过电子束蒸发、磁控溅射等方法制备形成。3.2生长吸收层在底部电极上，生长吸收层。吸收层可以采用硅、锗等半导体材料。生长吸收层的方法包括分子束外延、金属有机气相沉积等。3.3制备光波导在吸收层上方制备光波导。光波导可以采用硅等高折射率材料，通过光刻、腐蚀等微纳加工技术制备。3.4制备顶部电极在光波导的顶部制备顶部电极。顶部电极可以采用金属铝等导电材料，通过电子束蒸发、磁控溅射等方法制备形成。3.5特征提取和封装完成顶部电极的制备后，进行特征提取和封装。特征提取包括光刻、腐蚀等工艺，用于形成光电转换区域和光输入输出端口。封装过程将器件封装到适当的封装中，以保护器件并方便连接外部电路。4.总结本文介绍了波导型光电探测器的基本结构和双边输入波导型光电探测器的制作方法。通过光波导、吸收层和电极层的结合，波导型光电探测器实现了高效率的光电转换。双边输入波导型光电探测器具有双边输入的特点，可以满足特定需求。制备方法涉

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 备课教案

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论