传感器与检测技术第二章

传感器与检测技术第二章2023/7/29第1页，课件共107页，创作于2023年2月2.2热电阻式传感器22.1电阻应变式传感器12.3气敏电阻式传感器3目录2.4湿敏电阻式传感器42.5电阻式传感器的应用52023/7/29第2页，课件共107页，创作于2023年2月知识目标：（1）了解电阻应变片的结构和特性，掌握电阻式传感器的工作原理。（2）掌握电阻应变式传感器的测量转换电路。（3）熟悉电阻式传感器在工程上的应用。教学目标技能目标：（1）能够根据检测要求选择合适的电阻式传感器。（2）能够根据被测信号的特点设计出简单合理的传感器检测电路。（3）能够正确维护常用电子检测设备。

2023/7/29第3页，课件共107页，创作于2023年2月情感目标：（1）养成良好的工作责任心、坚强的意志力和严谨的工作作风。（2）培养良好的合作精神、创新精神和竞争意识。教学重难点教学重点：电阻式传感器的工作原理和应用。教学难点：电阻式传感器的测量电路。2023/7/29第4页，课件共107页，创作于2023年2月电阻式传感器是一种指将各种被测非电量（如力、位移、形变、速度和加速度等）的变化量，转换成与其有一定关系的电阻的变化，通过对电阻的测量达到测量非电量的目的的传感器。电阻式传感器包括电阻应变式传感器、热电阻式传感器、气敏电阻式传感器和湿敏电阻式传感器等几种。电阻式传感器2023/7/29第5页，课件共107页，创作于2023年2月2.1电阻应变式传感器电阻应变式传感器主要由电阻应变片及测量转换电路等组成。应变效应：导体或半导体材料在外力作用下会产生机械变形，其电发生变化的现象称为应变效应。2023/7/29第6页，课件共107页，创作于2023年2月2.1.1电阻应变式传感器的工作原理金属丝受拉时，l变长、r变小，导致R变大。2023/7/29第7页，课件共107页，创作于2023年2月2.1.2电阻应变片的类型结构、粘贴与特性应变片可分为金属应变片及半导体应变片两大类。前者可分成金属丝式、金属箔式、金属薄膜式三种。目前箔式应变片应用较多。金属丝式应变片使用最早，有纸基、胶基之分。由于金属丝式应变片蠕变较大，金属丝易脱胶，有逐渐被箔式所取代的趋势。但其价格便宜，多用于应变、应力的大批量、一次性试验。金属应变片金属丝式金属箔式金属薄膜式2023/7/29第8页，课件共107页，创作于2023年2月1.电阻应变片的类型结构2023/7/29第9页，课件共107页，创作于2023年2月金属箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅，其横向部分特别粗，可大大减小横向效应，且敏感栅的粘贴面积大，能更好地随同被测物体变形。此外，与金属丝式应变片相比，它还具有散热条件好，允许通过的电流较大，可根据使用要求制成各种形状，便于批量生产等优点，所以其使用范围日益扩大，已逐渐取代金属丝式应变片。2023/7/2910第10页，课件共107页，创作于2023年2月箔式应变片的外形2023/7/29第11页，课件共107页，创作于2023年2月金属薄膜式应变片金属薄膜式应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅，其加上保护层。它的优点是应变灵敏度高、允许电流密度大、工作范围广。2023/7/29第12页，课件共107页，创作于2023年2月半导体应变片半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。所谓压阻效应是指半导体材料在某一轴向受外力作用时，其电阻率ρ发生变化的现象。它的突出优点是灵敏度高、尺寸小、横向效应小、动态响应好。但它有温度系数大，应变时非线性关系比较严重等缺点。2023/7/29第13页，课件共107页，创作于2023年2月1）电阻应变片的检查电阻应变片的检查包括外观检查和电阻检查。（1）外观检查。检查敏感栅排列是否整齐、均匀、破损，引出线是否焊接牢固等。（2）电阻检查。电阻检查要精确到0.05Ω。2.电阻应变片的粘贴2）被测物体的表面处理

为了保证一定的黏合强度，须将被测物体表面处理干净，清除杂质、油污和表面氧化层。粘贴表面应保持平整、光滑。粘贴表面面积约为应变片的3～5倍。2023/7/29第14页，课件共107页，创作于2023年2月3）确定贴片位置可用笔在被测物体表面划出定位线，粘贴时应使电阻应变片中心线与定位线对准。精密要求较高时，可以用光学投影的方法来确定贴片位置。4）粘贴应变片：首先用甲苯、丙酮等溶剂清洗被测物体表面，然后在清洗过的表面上均匀地涂一薄层黏合剂作底层。待其晾干后，再在此底层和电阻应变片基片的底面（也要先用溶剂清洗)各涂一层薄而均匀的黏合剂，待稍干后将电阻应变片贴在划线处，在电阻应变片上放一张玻璃纸，用手指按压，将多余的黏合剂和气泡挤出。2023/7/29第15页，课件共107页，创作于2023年2月5）黏合剂的固化处理粘贴好电阻应变片后，根据所使用黏合剂的固化工艺要求进行固化处理。6）粘贴质量检查：检查粘贴位置是否正确，黏合层是否有气泡和漏贴，敏感栅是否有短路和断路现象，以及敏感栅绝缘性能是否良好等。2023/7/29第16页，课件共107页，创作于2023年2月7）引出线的焊接与防护：将引线和端子用烙铁焊接起来，注意不要把端子扯断。电阻应变片的引出线最好采用中间连接片引出，并加以固定。

为保证电阻应变片工作的长期稳定性，应采取防潮措施，如在电阻应变片及其引线上涂以石蜡、环氧树脂等防护层。2023/7/29第17页，课件共107页，创作于2023年2月3.电阻应变片的特性

1）电阻应变片的横向效应敏感栅是由N条长度为l的直线段和直线段端部的（N-1）个半径为r的半圆圆弧组成的，若该应变片承受轴向应力而产生纵向拉应变时，则各直线段的电阻将增加，但半圆则受到从到之间变化的应变，其电阻的变化将小于沿轴向安放的同样长度电阻丝电阻的变化，因而将直的电阻丝绕成敏感栅后，虽然长度不变，应变状态相同，但由于电阻应变片敏感栅的电阻变化减小，因而其灵敏度较整个电阻丝的灵敏度要小，这种现象称为电阻应变片的横向效应。2023/7/29第18页，课件共107页，创作于2023年2月（a）（b）

图2-4电阻应变片的轴向受力图及横向效应图为了减小电阻应变片横向效应产生的测量误差，现在一般多采用金属箔式应变片。2023/7/29第19页，课件共107页，创作于2023年2月2）电阻应变片的初始电阻

电阻应变片未粘贴时，在室温下所测得的电阻称为电阻应变片的初始电阻，用符号R0表示。R0越大，其允许的工作电压也越大，有利于灵敏度的提高。R0常用的有60Ω、120Ω、250Ω、350Ω和1000Ω等，其中以120Ω最为常用。2023/7/29第20页，课件共107页，创作于2023年2月2.1.3电阻应变式传感器的测量转换电路2023/7/29第21页，课件共107页，创作于2023年2月电桥平衡的条件：R1/R2=R4/R3

调节RP，最终可以使R1/R2=R4/R3（R1、R2是R1、R2并联RP后的等效电阻），电桥趋于平衡，Uo被预调到零位，这一过程称为调零。图中的R5是用于减小调节范围的限流电阻。2023/7/29第22页，课件共107页，创作于2023年2月①ΔRi<<R时，电桥的输出电压与应变成线性关系。②若相邻两桥臂的应变极性一致，即同为拉应变或压应变时，输出电压为两者之差；若相邻两桥臂的应变极性不同，则输出电压为两者之和。③若相对两桥臂应变的极性一致，输出电压为两者之和；反之则为两者之差。④电桥供电电压U越高，输出电压U0越大。但是，当U大时，电阻应变片通过的电流也大，若超过电阻应变片所允许通过的最大工作电流，传感器就会出现蠕变和零漂。⑤增大电阻应变片的灵敏系数K，可提高电桥的输出电压。2023/7/29第23页，课件共107页，创作于2023年2月

全桥四臂工作方式的灵敏度最高，双臂半桥次之，单臂半桥灵敏度最低。2023/7/29第24页，课件共107页，创作于2023年2月

R1、

R2为受力应变片，

R3、R4为固定电阻。应变片R1

、R2感受到的应变1~2以及产生的电阻增量正负号相间，可以使输出电压Uo成倍地增大。双臂电桥2023/7/29第25页，课件共107页，创作于2023年2月U0R1＋⊿R1R4R3UR2－⊿R2R1R2F电桥灵敏度比单臂时提高一倍温度补偿作用2023/7/29第26页，课件共107页，创作于2023年2月四臂全桥

全桥的四个桥臂都为应变片，如果设法使试件受力后，应变片R1~R4产生的电阻增量（或感受到的应变1~4）正负号相间，就可以使输出电压Uo成倍地增大。上述三种工作方式中，全桥四臂工作方式的灵敏度最高，双臂半桥次之，单臂电桥灵敏度最低。采用全桥（或双臂半桥）还能实现温度自补偿。2023/7/29第27页，课件共107页，创作于2023年2月U0R1＋⊿R1UR2－⊿R2R4＋⊿R4R3－⊿R3电桥灵敏度是单臂时的四倍温度补偿作用2023/7/29第28页，课件共107页，创作于2023年2月单臂电桥时实际输出与电阻变化值及应变之间存在一定的非线性关系。对于半桥工作方式和全桥工作方式，两应变片处于差分工作状态，即一个应变片感受正应变，另一个应变片感受负应变，经推导可证明理论上不存在非线性关系。采用恒流源作为桥路电源也能减小非线性误差。2023/7/29第29页，课件共107页，创作于2023年2月电阻应变片的温度误差及补偿（1）产生温度误差的原因。

因环境温度改变而引起电阻变化主要有两个因素：其一是电阻应变片的电阻丝具有一定温度系数；其二是电阻丝材料与被测物体的线膨胀系数不同。：敏感栅材料的电阻温度系数:分别为电阻丝和被测物体线膨胀系数2023/7/29第30页，课件共107页，创作于2023年2月（2）温度补偿方法。

①线路补偿法。电桥补偿法是最常用的且效果较好的线路补偿法。

2023/7/29第31页，课件共107页，创作于2023年2月电桥的输出电压仅与被测物体的应变有关，而与环境温度无关。若要实现完全补偿，上述分析过程必须满足以下三个条件：i）两个应变片应具有相同的电阻温度系数、膨胀系数β、灵敏度和初始电阻。ii）黏贴补偿应变片的补偿块材料和黏贴工作应变片的被测物体材料必须一样，两者的膨胀系数必须相同。iii）两个应变片应处于同一温度场中。2023/7/29第32页，课件共107页，创作于2023年2月全桥的温度补偿原理

当环境温度升高时，桥臂上的应变片温度同时升高，温度引起的电阻值漂移数值一致，可以相互抵消，所以全桥的温漂较小；半桥也同样能克服温漂。2023/7/29第33页，课件共107页，创作于2023年2月②电阻应变片的自补偿法。当温度发生变化时，电阻应变片自身的阻值为零，这种特殊的电阻应变片称为自补偿电阻应变片。由式(2-12)可知，欲使不受Δt的影响，需满足2023/7/29第34页，课件共107页，创作于2023年2月电阻应变式传感器的应用1.应变式荷重传感器2023/7/29第35页，课件共107页，创作于2023年2月应变片在等截面圆柱展开图上的位置

2023/7/29第36页，课件共107页，创作于2023年2月应变式荷重传感器外形及受力位置2023/7/29第37页，课件共107页，创作于2023年2月FF2023/7/29第38页，课件共107页，创作于2023年2月荷重传感器原理演示

荷重传感器上的应变片在重力作用下产生变形。轴向变短，径向变长。

2023/7/29第39页，课件共107页，创作于2023年2月汽车衡2023/7/29第40页，课件共107页，创作于2023年2月汽车衡称重系统2023/7/29第41页，课件共107页，创作于2023年2月2.应变式加速度传感器图2-22应变式加速度传感器的结构1—惯性质量块；2—悬臂梁；3—腔体；4—应变片；5—壳体2023/7/29第42页，课件共107页，创作于2023年2月压阻式固态压力传感器

利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好，灵敏度相等，漂移抵消，迟滞、蠕变非常小，动态响应快。（a）结构原理图（b）电阻分布图图2-24压阻式压力传感器的结构1—低压腔；2—高压腔；3—硅杯；4—引线；5—硅膜片2023/7/29第43页，课件共107页，创作于2023年2月2023/7/29第44页，课件共107页，创作于2023年2月小型压阻式固态压力传感器高压进气口低压进气口绝对压力传感器2023/7/29第45页，课件共107页，创作于2023年2月小型压阻式固态压力传感器呼吸、透析和注射泵设备中用的压力传感器p1进气管p2进气管固态压力传感器2023/7/29第46页，课件共107页，创作于2023年2月小型压阻式固态压力传感器表压压力传感器p1进气管2023/7/29第47页，课件共107页，创作于2023年2月2.2热电阻式传感器热电阻式传感器是利用导体或半导体的阻值随温度变化而变化的原理进行测温的。它可分为金属热电阻式传感器和半导体热敏电阻式传感器。物质的电阻率随温度变化而变化的现象称为热电阻效应。热电阻式传感器金属热电阻半导体热敏电阻2023/7/29第48页，课件共107页，创作于2023年2月2.2.1金属热电阻式传感器

温度升高，金属导体内部电子热运动加剧，从而使自由电子通过金属导体时的阻力增大，宏观上表现出电阻率变大，电阻值增大；反之，则电阻减小。因此，金属导体具有正的温度系数，即电阻与温度的变化成正比。2.金属热电阻式传感器的工作原理2023/7/29第49页，课件共107页，创作于2023年2月

取一只100W/220V灯泡，用万用表测量其电阻值，可以发现其冷态阻值只有几十欧姆，而计算得到的额定热态电阻值应为484

。2023/7/29第50页，课件共107页，创作于2023年2月2.金属热电阻的分类和结构1）金属热电阻的分类电阻温度系数大且稳定；电阻率高;易提纯、复现性好的金属材料才可用于制作热电阻目前使用最广泛的金属热电阻材料是铜和铂.在铂、铜、镍中,铂的性能最好。采用特殊结构可制成标准温度计,它的适用温度范围为(-200～+960)℃。铜电阻价廉并且线性好,但温度高了易氧化,故只适用于温度较低【(-50～+150)℃】的环境中。表2—1列出了热电阻的主要技术性能。2023/7/29第51页，课件共107页，创作于2023年2月表2-1铜热电阻和铂热电阻的主要技术性能材料铂铜测温范围/℃－200～850－50～150电阻率/Ω•m9.81×10-8～10.6×10-81.7×10-8特性近似于线性、性能稳定、精度高线性较好、价格低、体积大2023/7/29第52页，课件共107页，创作于2023年2月2）金属热电阻的结构金属热电阻主要由热电阻丝、绝缘骨架、引出线等组成。图2-7铂热电阻的结构1—铆钉；2—电阻丝；3—引线；4—绝缘骨架42023/7/29第53页，课件共107页，创作于2023年2月图2-8铜热电阻的结构1—绝缘骨架；2—漆包铜线；3—引线2023/7/29第54页，课件共107页，创作于2023年2月薄膜型及普通型铂热电阻

2023/7/29第55页，课件共107页，创作于2023年2月小型铂热电阻

2023/7/29第56页，课件共107页，创作于2023年2月汽车用水温传感器及水温表

铜热电阻电阻温度系数应尽可能大且稳定；电阻率高2023/7/29第57页，课件共107页，创作于2023年2月附录铂热电阻分度表2023/7/29第58页，课件共107页，创作于2023年2月可设定温度的温度控制箱

旋转式机械设定开关

拨码式设定开关2023/7/29第59页，课件共107页，创作于2023年2月3.金属热电阻式传感器的测量转换电路图2-9热电阻的三线制接法工业热电阻多采用三线制接法。即从热电阻引出三根引线，这三根引线粗细相同，长度相等，且电阻值均为R。当工业热电阻和电桥配合使用时，采用这种引线方式可以较好地消除引线电阻的影响，提高测量精度。2023/7/29第60页，课件共107页，创作于2023年2月2.2.2半导体热敏电阻式传感器1.半导体热敏电阻式传感器的特性

半导体的电阻随温度的升高而急剧减小，并呈现非线性关系。2023/7/29第61页，课件共107页，创作于2023年2月2.半导体热敏电阻的分类与结构1）半导体热敏电阻的分类半导体热敏电阻按温度系数可分为正温度系数热敏电阻PTC和负温度系数热敏电阻NTC与CTR，三者的温度特性曲线如图2-11所示。2023/7/29第62页，课件共107页，创作于2023年2月热敏电阻外形

MF12型NTC热敏电阻聚脂塑料封装热敏电阻2023/7/29第63页，课件共107页，创作于2023年2月其他形式的热敏电阻

玻璃封装NTC热敏电阻MF58型热敏电阻2023/7/29第64页，课件共107页，创作于2023年2月其他形式的热敏电阻

带安装孔的热敏电阻大功率PTC热敏电阻2023/7/29第65页，课件共107页，创作于2023年2月其他形式的热敏电阻

贴片式NTC热敏电阻2023/7/29第66页，课件共107页，创作于2023年2月MF58型（珠形）高精度负温度系数热敏电阻MF5A-3型热敏电阻（参考深圳科蓬达电子有限公司资料）2023/7/29第67页，课件共107页，创作于2023年2月非标热敏电阻

2023/7/29第68页，课件共107页，创作于2023年2月非标热敏电阻2023/7/29第69页，课件共107页，创作于2023年2月热敏电阻温度面板表

热敏电阻

LCD2023/7/29第70页，课件共107页，创作于2023年2月热敏电阻体温表

2023/7/29第71页，课件共107页，创作于2023年2月热敏电阻用于CPU的温度测量

（参考小熊在线公司资料）2023/7/29第72页，课件共107页，创作于2023年2月热敏电阻用于电热水器的温度控制

2023/7/29第73页，课件共107页，创作于2023年2月现代社会中，人们在生产与生活中往往会接触到各种各样的气体，由于这些气体有许多是易燃、易爆的，如氢气、一氧化碳、氟利昂、煤气瓦斯、天燃气、液化石油气等，因而就需要对它们进行检测和控制。气敏电阻式传感器就是一种将检测到的气体成分与浓度转换为电信号的传感器。人们根据这些信号的强弱就可以获得气体在环境中存在的信息，从而进行监控或报警。2.3气敏电阻式传感器2023/7/29第74页，课件共107页，创作于2023年2月2.3.1气敏电阻式传感器的工作原理气敏电阻式传感器是利用气体在半导体表面的氧化还原反应导致敏感元件电阻值变化而制成的。2023/7/29第75页，课件共107页，创作于2023年2月2.3.2气敏电阻式传感器的结构和分类气敏电阻式传感器一般由敏感元件、加热器和外壳三部分组成。气敏电阻按结构分按加热方式分烧结型薄膜型厚膜型直热型旁热型2023/7/29第76页，课件共107页，创作于2023年2月（a）烧结型气敏电阻（b）薄膜型气敏电阻（c）厚膜型气敏电阻图2-13气敏电阻式传感器的结构2023/7/29第77页，课件共107页，创作于2023年2月图2-14直热型气敏电阻式传感器2023/7/2978第78页，课件共107页，创作于2023年2月图2-15旁热型气敏电阻式传感器2023/7/2979第79页，课件共107页，创作于2023年2月气敏电阻外形酒精传感器

其他可燃性气体传感器2023/7/29第80页，课件共107页，创作于2023年2月酒精测试仪呼气管2023/7/29第81页，课件共107页，创作于2023年2月一氧化碳传感器2023/7/29第82页，课件共107页，创作于2023年2月其他气体传感器NH3传感器甲烷传感器2023/7/29第83页，课件共107页，创作于2023年2月氧浓度传感器外形

可用于汽车尾气测量2023/7/29第84页，课件共107页，创作于2023年2月2.4湿敏电阻式传感器湿敏电阻式传感器是由湿敏元件和转换电路等组成，能感受外界湿度(通常将空气或其他气体中的水分含量称为湿度)的变化，并通过湿敏电阻式传感器的物理或化学性质的变化，将环境湿度变换为电信号的装置。2023/7/29第85页，课件共107页，创作于2023年2月2.4.1大气湿度与露点1.绝对湿度和相对湿度1）绝对湿度绝对湿度用每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量表示。一般用符号AH表示，单位为g/m3或mg/m3，其表达式为

(2-27)式中，mv为待测空气中的水蒸气的质量（g）；V为待测空气的总体积（m3）。2023/7/29第86页，课件共107页，创作于2023年2月2）相对湿度在许多与大气湿度相关的现象中，都与大气的绝对湿度没有直接的关系，而与大气中的水蒸气离饱和状态的远近程度有关。相对湿度是指被测气体中的水蒸气的气压与该气体在相同温度下饱和水蒸气的气压的百分比。用符号RH表示，其表达式为

(2-28)式中，PV为在t℃时被测气体中的水蒸气的气压（Pa）；PW为待测空气在温度t℃下的饱和水蒸气的气压（Pa）。2023/7/29第87页，课件共107页，创作于2023年2月t/℃Pw/Pat/℃Pw/Pat/℃Pw/Pat/℃Pw/Pa－200.77－92.1325.292219.83－190.85－82.3235.692321.07－180.94－72.5346.102422.38－171.03－62.7656.452523.78－161.13－53.0167.013031.82－151.24－43.2877.514055.32－141.36－33.5788.055092.50－131.49－23.8898.6160149.4－121.63－14.22109.2170233.7－111.7804.582017.5480355.7－101.9314.932118.65100760.0表2-2在标准大气压的不同温度下饱和水蒸气的气压2023/7/29第88页，课件共107页，创作于2023年2月2.露点当温度下降到某一温度，水蒸气的气压与同温度下的饱和水蒸气的气压相等时，空气中的水蒸气将向液相转化而凝结为露珠，其相对湿度RH为100％，这一特定的温度被称为空气的露点温度，简称为露点空气中水蒸气的气压越小，露点越低。因此，只要知道待测空气的露点温度，通过表2-2就可以查到在该露点温度下的饱和水蒸气的气压，这个饱和水蒸气的气压也就是待测空气的水蒸气的气压。2023/7/29第89页，课件共107页，创作于2023年2月2.4.2湿敏电阻式传感器的分类湿敏电阻的原理：水是一种强极性的电解质。水分子极易吸附于固体表面并渗透到固体内部，引起半导体的电阻值降低，因此可以利用多孔陶瓷、三氧化二铝等吸湿材料制作湿敏电阻。2023/7/29第90页，课件共107页，创作于2023年2月1.金属氧化物陶瓷湿敏电阻式传感器金属氧化物陶瓷湿敏电阻式传感器是由金属氧化物多孔性陶瓷烧结而成的。烧结体上有微细孔，可使湿敏层吸附或释放水分子，造成其电阻值的改变。为了减小测量误差，在陶瓷基片外设置由镍铬丝制成的加热线圈，以便对元件加热清洗，减小恶劣气体对元件的污染。图2-16多孔陶瓷湿—电转换元件2023/7/29第91页，课件共107页，创作于2023年2月陶瓷湿度传感器特性曲线

在右图所示的陶瓷湿度传感器特性曲线中，纵坐标的标度有何特点？其电阻率变化约有多少个数量级？图2-17氧化镁复合化合物-二氧化钛湿敏电阻式传感器的相对湿度与电阻值2023/7/29第92页，课件共107页，创作于2023年2月2.金属氧化物膜型湿敏电阻式传感器特点是传感器电阻的对数值与湿度成线性关系，具有测湿范围及工作温度范围大的优点。图2-18金属氧化物膜型湿敏电阻式传感器的结构2023/7/29第93页，课件共107页，创作于2023年2月高分子材料湿敏电阻式传感器具有响应时间快、线性好、成本低等特点。3.高分子材料湿敏电阻式传感器高分子材料湿敏电阻式传感器是目前发