高纯气体参数

编号技术参数低温吸附式氢气纯化器技术指标值净化前高纯氢指标（GB/T7445-1995）净化后超纯氢指标1纯度N99.999%N99.99999%2烃含量（以甲烷计，ppm）W1<0.013氧含量（ppm）W1<0.014氮含量（ppm）W5<0.015露点（°C）W-70C<-78C6尘埃含量（颗/升）粒径N0.3um3—5个粒径N0.3um0个7一氧化碳含量（ppm）W1<0.018二氧化碳含量（ppm）W1<0.01*若有特殊要求，可专门设计制造 *流量20~200立方 *最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速编号技术参数催化式氢气纯化器技术指标值净化前原氢指标（GB/T7445-1995）净化后高纯氢指标1纯度N99.99%N99.999%2烃含量（以甲烷计，ppm）10<13氧含量（ppm）5<14氮含量（ppm）<50<505露点（C）<-52C<-70C6尘埃含量（颗/升）-粒径N0.3um3—5个7一氧化碳含量（ppm）5<18二氧化碳含量（ppm）5<1*不具备除氮 *若有特殊要求，可专门设计制造 *最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速编号技术参数氙气纯化器技术指标值净化前原氙指标（GB/T5828-2006）净化后高纯氙指标1纯度N99.99%N99.999%2烃含量（以甲烷计，ppm）1<0.13氧（氩）含量（ppm）5<0.54氮含量（ppm）20<1.55露点（C）W-52°C<-76C6尘埃含量（颗/升）—粒径N0.3um3-5个7一氧化碳含量（ppm）1<0.18二氧化碳含量（ppm）1<0.19氟化物15<0.1*若有特殊要求，可专门设计制造 *流量0〜50立方 *最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速*不具备除氪、氦

编号技术参数低温吸附式氦气纯化器技术指标值净化前原氦指标（GB/T4844-2011）净化后超纯氦指标1纯度N99.999%N99.99999%2烃含量（以甲烷计，ppm）W0.5<0.13氮含量（ppm）W2<0.14氧含量（ppmW1<0.15氢含量（ppm）W1<0.16露点（°C）W-76C<-78C7尘埃含量（颗/升）粒径N0.3um3-5个粒径N0.3um3个8一氧化碳含量（ppm）W0.5<0.19二氧化碳含量（ppm）W0.5<0.1*若有特殊要求，可专门设计制造 *流量20~200立方 *最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速编号技术参数氦气纯化器技术指标值净化前原氦指标（GB/T4844-2011）净化后高纯氦指标1纯度N99.99%N99.999%2烃含量（以甲烷计，ppm）1<0.53氮含量（ppm）25<24氧含量（ppm5<15氢含量（ppm）7<16露点（C）W-52C<-76C7尘埃含量（颗/升）—粒径N0.3um3-5个8一氧化碳含量（ppm）1<0.59二氧化碳含量（ppm）1<0.5*若有特殊要求，可专门设计制造 *流量0~20立方 *最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速不具备除氖编号技术参数氮气纯化器技术指标值净化前原氮指标（GB/T8979-2008）净化后高纯氮指标1纯度N99.99%N99.999%2烃含量（以甲烷计，ppm）5<13氧（氩）含量（ppm）50<34氢含量（ppm）15<15露点（C）<-52°C<-76C6尘埃含量（颗/升）—粒径N0.3um3-5个7一氧化碳含量（ppm）5<18二氧化碳含量（ppm）10<1*若有特殊要求，可专门设计制造 *流量0~200立方 *最小流量是保证满足出口气纯度时的最低速

编号技术参数氧气纯化器技术指标值净化前原氧指标（GB/T14599-2008）净化后高纯氧指标1纯度299.99%299.999%2烃含量（以甲烷计，ppm）2<0.53氮含量（ppm）20W54氢含量（ppm）W1<0.55露点（°C）W-52CW-76C6尘埃含量（颗/升）_粒径20.3um3-5个7氩含量（ppm）10<28二氧化碳含量（ppm）5<0.5*若有特殊要求，可专门设计制造 *流量0~100立方 *最小流