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文档简介

04DB34

超高真空不锈钢真空部件表面处理方法Surface

ultra

vacuum

parts 安徽省市场监督管理局

DB34/T

2019前 言

DB34/T

2019超高真空不锈钢真空部件表面处理方法

GB

8978

3.1

3.2

不锈钢真空部件的真空度应满足

10

不锈钢真空部件的真空度应满足

10

Pa~

-10

Pa

4.3

200

4.4

DB34/T

20194.5

抛光后，真空部件内表面粗糙度优于

Ra1.6。

采用超声清洗槽碱性溶液槽内超声振动

15

min~

min。

~

~40

4.7

在水温

80℃~

~10

4.11.1 4.11.2 对于形状简单，无隙缝的不锈钢真空部件采用无水乙醇浸泡脱水，浸泡时间小于

min。4.11.3

min。4.11.4 不锈钢真空部件无水乙醇超声脱水参数参照附录

A。4.12 验收按照本标准第

4.13.1 4.13.2 DB34/T

20194.13.3 4.14其他4.14.1 4.14.2

5.1

不锈钢真空部件内表面粗糙度优于

Ra1.6。

清洗前后去离子水电导率的比值应在

0.1

6.1

在天然散射光线或无反射光的白色透射光下进行目视检验。光的照度应不低于

300

Lx（即相当于

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