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文档简介
04DB34
超高真空不锈钢真空部件表面处理方法Surface
ultra
vacuum
parts 安徽省市场监督管理局
DB34/T
2019前 言
DB34/T
2019超高真空不锈钢真空部件表面处理方法
GB
8978
3.1
3.2
不锈钢真空部件的真空度应满足
10
不锈钢真空部件的真空度应满足
10
Pa~
-10
Pa
4.3
200
4.4
DB34/T
20194.5
抛光后，真空部件内表面粗糙度优于
Ra1.6。
采用超声清洗槽碱性溶液槽内超声振动
15
min~
min。
~
~40
4.7
在水温
80℃~
~10
4.11.1 4.11.2 对于形状简单，无隙缝的不锈钢真空部件采用无水乙醇浸泡脱水，浸泡时间小于
min。4.11.3
min。4.11.4 不锈钢真空部件无水乙醇超声脱水参数参照附录
A。4.12 验收按照本标准第
4.13.1 4.13.2 DB34/T
20194.13.3 4.14其他4.14.1 4.14.2
5.1
不锈钢真空部件内表面粗糙度优于
Ra1.6。
清洗前后去离子水电导率的比值应在
0.1
6.1
在天然散射光线或无反射光的白色透射光下进行目视检验。光的照度应不低于
300
Lx（即相当于
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