GB/T 42720-2023电子特气六氯乙硅烷

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T42720—2023

电子特气六氯乙硅烷

Electronicspecialtygas—Hexachlorodisilane

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T42720—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位洛阳中硅高科技有限公司昊华气体有限公司亚洲硅业青海股份有限公司中

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船邯郸派瑞特种气体股份有限公司福建久策气体股份有限公司湖州市南浔区佰通标准化研究院

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广东华特气体股份有限公司苏州金宏气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司北京高麦克

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仪器科技有限公司浙江博瑞电子科技有限公司玉门大洋天庆石化有限责任公司湖北和远气体股份

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有限公司三峡大学内蒙古兴洋科技股份有限公司福建德尔科技股份有限公司宁夏胜蓝化工环保科

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技有限公司武汉新硅科技潜江有限公司太和气体荆州有限公司昊华气体有限公司西南分公司大

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连光明化学工业气体质量监测中心有限公司上海申南特种气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限

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公司大连大特气体有限公司上海市计量测试技术研究院中国计量科学研究院宿州伊维特新材料有

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限公司联雄投资上海有限公司南大光电半导体材料有限公司上海凡伟仪器设备有限公司空气化

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工产品中国投资有限公司浙江炬和科技有限公司绍兴科艺标准技术咨询有限公司沈阳中复科金

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压力容器有限公司浙江西亚特电子材料有限公司浙江东开半导体科技有限公司和立气体上海有

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限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司衢州杭氧特种气体有限公司西南化工研究设计院有限

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公司

。

本文件主要起草人万烨王娟张园园付梦月严大洲郭琼陈海宝魏东亮柳彤沙婷曹素英

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陈辉张天泽廖恒易陈艳珊金向华孙猛傅铸红欧基友牛艳东刘丽娜张广第马彬淇杜大艳

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赖晓峰周鹏云

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Ⅰ

GB/T42720—2023

电子特气六氯乙硅烷

1范围

本文件规定了六氯乙硅烷的技术要求采样试验方法检验规则标志包装运输贮存及安全信

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息的要求

。

本文件适用于由生产多晶硅副产的六氯乙硅烷经纯化制备的电子用六氯乙硅烷

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

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本文件

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危险货物包装标志

GB190

化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T601

化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T602

氢气第部分纯氢高纯氢和超纯氢

GB/T3634.22:、

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GB/T3723

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

液体化工产品采样通则

GB/T6680

纯氮高纯氮和超纯氮

GB/T8979、

化学试剂气相色谱法通则

GB/T9722

电子级水

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化学品安全标签编写规定

GB15258

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T25915.11: