场发射扫描电镜操作规程

场发射扫描电镜操作规程一、操作流程1.打开电脑，启动Windows2000操作系统。2.双击桌面上的“JEOLPC-SEM6700”图标，进入扫描程序界面。3.点击工具栏中的“Tool”按钮，弹出“Maintenance”窗口，打开“Gun/PMT/Vac”标签，查看真空室和过渡室的真空度是否在指定范围（枪室真空度不能小于5x10-8,过渡室真空度不能小于5x10-6），打开“InstrumentFlash'标签，点击“NormalFlash”选项，清除枪表面吸附的气体等杂质。4.确认工具栏中的加速电压按钮“HT”为兰色，选择“Stage”菜单下的“Exchange"（或点击工具栏中的“SpecimanExchange'按钮），打开“SampleExchange'窗口，选择要使用的样品夹，点击“Exchange1”。5.旋转工作距离旋钮使WD为8mm，倾斜角为0o，当屏幕左下角指示的样品台的位置显示为“X=35.0,Y=25.0,R=0”且样品室操作面板上的“EVAC”和“EXCHPOSN”指示灯亮时，按“VENT”指示灯，该灯闪烁，氮气进入样品交换室。6.当样品室操作面板上的“VENT”指示灯停止闪烁保持一直亮的状态时，打开样品交换室。7.将样品固定到样品夹上，滑动进入样品夹夹具中，关闭样品交换室。8.按样品室操作面板上的“EVAC”指示灯，开始抽真空，该指示灯闪烁，等样品交换室达到一定真空度后，该指示灯停止闪烁保持一直亮的状态。

灯变亮时，表明样品已经进入样品室。灯变亮时，表明样品已经进入样品室。.水平抽出样品交换杆至杆末端完全离开导槽后，倾斜样品交换杆，此时工具栏中的加速电压按钮“HT”变为黑色。.当加速电压按钮“HT”变为兰色时，打开加速电压，按钮“HT”变为绿色。根据试样设置加速电压(0.5~30KV)，工作距离(1.5,2,3,6,8,15mm)，探针电流值。.当发射电流值为10uA时，打开枪阀，扫描开始。.调节操作面板上的放大倍数，焦距，亮度，对比度，像散等旋钮，获得清晰的图像。.按操作面板上的“Freeze”按钮，锁住图像。.点击“File”菜单下的“ImageFileHandling"选项，打开“Load/Save/PrintImage”窗口。.点击“Export"或“Save”按钮，输入文件名及有关信息后，点击“Save”按钮，则样品的图像被存储在文件中。.停止扫描要先关闭枪阀，再关闭加速电压。.确认工具栏中的加速电压按钮“HT”为兰色，选择“Stage”菜单下的“Exchange”选项，打开“SampleExchange”窗口，选择使用的样品夹，点击“Exchange1”。.旋转工作距离旋钮使WD为8mm，倾斜角为0。，当屏幕左下角指示的样品台的位置显示为“X=35.0,Y=25.0,R=0”且样品室操作面板上的“EVAC”和“EXCHPOSN”指示灯亮时，按“VENT”指示灯，该灯闪烁，氮气进入样品交换室。取出样品夹。21.按样品室操作面板上的“EVAC”指示灯，使样品交换室保持真空状态。22.选择菜单栏中的“File”菜单下的“Exit”选项，退出扫描程序。23.关闭电脑。二、注意事项：1.做完“Flash”30秒后，才可以进行扫描操作；先做“NormalFlash”再做“StrongFlash"且两次Flash之间要间隔30秒以上。2.做完“Flash”后首次开加速电压，电压值应从0.5KV开始逐步加大，步长小于4KV，并且要等发射电流值为10uA时，才能改变加速电压。样品表面最高不能超过样品台6mm，并且在超过样品台表面一定高度后，设置的工作距离要相应加上该高度值。例如：想观察一定电压下工作距离为3mm时的图像，而样品表面高过样品台2mm，则要调节工作距离旋钮，使工作距离值为5mm。4.扫描样品时要先开加速电压，等发射电流值为10uA时再开枪阀，扫描结束后要先关闭枪阀，再关加速电压。5.测试弱磁性的样品，放样品和取样品时要打开操作面板上的“LowMag”按钮以减小物镜磁性，并且工作距离要在8mm以上。6.测试样品一定要固定好以防掉入样品室。天津理工大学材料科学与工程学院2004年3月场发射扫描电镜操作规程打开电脑，启动扫描程序。将待测样品固定到样品夹上，送入样品室。设置合适的加