贵州筑芯威半导体技术有限公司年产60万片半导体防浪涌芯片产研销项目环评报告

报批本一”环境影响报告表(含风险专项评价)项目名称：年产60万片半导体防浪涌芯片产研销项目建设单位(盖章)：贵州筑芯威半导体技术有限公司月中华人民共和国生态环境部制1一、建设项目基本情况建设项目名称年产60万片半导体防浪涌芯片产研销项目项目代码/建设单位联系人联系方式建设地点 贵州省(自治区)贵阳市花溪县(区)燕楼镇(乡/街道)狮子口龙燕路南侧燕楼创新产业孵化基地地理坐标(106度37分48.94秒，26度20分7.26秒)国民经济行业类别C3979其他电子器件制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电及电子专用材料制造398—有酸洗的建设性质团新建(迁建)改建扩建技术改造建设项目申报情形团首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)/项目审批(核准/备案)文号(选填)/总投资(万元)2000环保投资(万元)31环保投资占比(%)施工工期2022年4月~2022年10月(6个月)是否开工建设是：2500专项评价设置情况根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南污染影响类》(试行)，本项目中有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量，需进行环境风险专项评价，环境风险专项评价内容附报告后规划情况规划名称：《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划》规划实施单位：贵阳市花溪区产业园区管理委员会审查机关：贵阳市花溪区人民政府审批文号：花府函[2020]173号规划环境影响评价情况文件名称：《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书》审查机关：贵阳市生态环境局审批文件名称：贵阳市生态环境局筑环函[2020]55号<关于对《中关2村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书》审查意见函>审批文号：筑环函[2020]55号规划及规划环境影响评价符合性分析1、项目与《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)》的符合性分析项目位于贵阳市花溪区燕楼镇中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园，项目属于燕楼产业园产业布局规划先进制造基础配套产业，项目用地属于规划工业用地之中，符合用地规划。项目与中关村贵阳科技园经开园区燕楼产业园位置关系见附图1、项目与燕楼产业园布局规划关系见附图2。2、项目与《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书》及审查意见的符合性分析⑴与规划环境影响报告书的符合性项目与规划产业负面清单分析见表1、与生态环境准入要求分析2。表1项目与规划产业负面清单符合性分析结果产业负面清单要求本项目符合性⑴禁止新(改、扩)建除热电联产以外的煤电、钢铁、建材、焦化、有色、石化、化工等行业中的高污染项目。本项目不属于该类项目。符合⑵禁止新建涉及有毒有害气体排放的化工项目。本项目不属于化工项目且不涉及有毒有害气体排放。符合⑶禁止使用有磷洗涤剂；禁止生产、销售和使用各种含磷洗涤剂。本项目不涉及含磷洗涤符合⑷禁止未经评估和无害化治理的污染场地进行土地流转和开发利用。本项目租用贵阳市花溪产业投资(集团)有限公司在建花溪区燕楼创新产业孵化基地103厂房。符合⑸绿色生态廊道内禁止开发建设。本项目位于燕楼产业园规划工业用地，不涉及绿色廊道。符合⑹禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂等项目。本项目不涉及生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂。符合⑺禁止以化工原料名义出售调和油组分，禁止以化工原料勾兑调和油，严禁运输企业储存使用非标油，坚决取缔黑加油站点。本项目不涉及。符合3⑻禁止新建每小时75蒸吨及以下燃煤锅炉。本项目不涉及锅炉。符合⑼严禁引入国家明令淘汰的落后生产能力、工艺和产品和国家明确禁止建设本项目不属于禁止建设符合⑽禁止不符合园区产业定位的项目入驻本项目属于燕楼产业园产业布局规划先进制造基础配套产业，与园区产业相符。符合⑾严禁不符合部分国家产业政策的项本项目属于《产业结构调整指导目录(2019年本)》中鼓励类，符合国家产业政策。符合表2项目与规划生态环境准入清单符合性分析结果清单类型产业负面清单要求本项目符合性空间布局⑴生态红线范围内禁止开发活动本项目不占用生态保护符合⑵燕鲁小河水源保护区上有集雨面积范围内禁止加上地下水污染型建设项目。本项目不在该保护区范符合⑶根据园区产业布局规划，企业必须进入相应产业布局区域。本项目为半导体防浪涌芯片产研销项目，位于先进制造基础配套产业区域。符合⑷园区涉重项目，必须严格执行重点重金属污染物特别排放限值。无明确具体重金属总量来源的，各级生态环境管理部门不得审批项本项目含镍废水为生产工艺中的化学镀镍后清洗产生，含镍废水经含镍废水预处理GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放标准后，经特殊运输车运至贵阳中电环保发电有限公司处理，无需另行申请总量。符合污染物排放管控⑸园区实行污染物总量管控，污染物总量满负荷后不得继续引进项目本项目大气有组织污染请总量，本项目废水属于间接排放，且下游污水处理厂及处置单位均能处理本项目废水，不会突破园区污染物总量控制。符合⑹瓮岗河禁止设置排污口本项目废水为间接排放，不新增排污口。符合⑺青岩河实行污染物排放总量管控。环境风险⑻近期完成园区污水管网、中水回用管网建设，与近期建设项目同步设施、同步完成、同步投入使用。本项目租用贵阳市花溪产业投资(集团)有限公司在建花溪区燕楼创新产业孵化基地103厂房设符合4置生产线，园区污水管网等基础设施已配套。资源开发利用要求⑼规划区土地资料利用上限12.3505平方公里工业用地，未突破园区规划限制。符合⑽规划区禁止使用燃煤锅炉本项目不涉及锅炉。符合2.3-5产业入驻准入指标体系表的要求，控制好工业用水重复利用率、可再生能源使用率、单位工业增加值废水产生量、单位工业增加值新鲜水耗等指标。本项目严格按照园区规划相关要求实施，废水、废气、固体废物、噪声等采取防治措施后均可满足规划中生态环境保护要求。符合根据表1、表2分析结果可知，本项目符合《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书》规划产业负面清单及生态环境准入要求规定。⑵与规划环境影响报告书审查意见的符合性《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书》审查意见中提出的相关要求及符合性分析如下：①加强空间管制、总量管控和环境准人在前文的表1、表2中已分析，本处不再赘述。②严格企业污染控制措施项目废气污染物主要为生产线清洗、光刻、蚀刻、钝化等工序产生的酸性废气和有机废气，以及喷砂产生的粉尘。生产线设置在密闭厂房内，工艺节点酸性废气经碱液喷淋塔处理后经1#排气筒达标排放；工艺节点粉尘采取集气罩收集后经2#排气筒达标排放；工艺节点有机废气采取活性炭吸附处理后经3#排气筒达标排放；车间无组织废气采用排风系统加强通风换气。废气经采取处理措施后对环境空气影响小，满足大气污染治理要求。项目生产废水经生产废水处理站处理，设置含氟废水、含镍废水分质处理设施，两种废水处理设施均采取“化学沉淀”工艺。其中含氟废水采取“pH调节+CaCl2化学沉淀+絮凝沉淀”工艺，含镍废水采取“pH调节+H2O2破络+Na2S化学沉淀”工艺。含氟废水经预处理达到燕楼污水处理厂接管协议浓度后与纯水制备产生浓水混合后排至项目北侧龙燕路的市政污水管后排入燕楼污水处理厂处理(已办理含5氟废水处置协议，见附件5)；含镍废水经预处理达GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放标准标后运输至贵阳中电环保发电有限公司污水处理站处理(已办理含镍废水处置协议，见附件6)。职工办公等产生的生活污水主要为车间卫生间污水，依托基地化粪池截留沉淀处理达燕楼污水处理厂接管协议浓度后，经市政污水管排入燕楼污水处理厂处理，符合水污染防治要求。项目生产产生的一般固体废物(废砂、废刀片、废包装、不合格产品等)集中收集后外售；含氟废水处理设施产生的污泥定期清掏，根据实际工艺产生的污泥进行危险废物性质的鉴定，若鉴定为危险废物则委托有资质的单位进行处置，若为一般固废，则移交园区建材企业综合利用。危险废物(酸性废液、含氟废液、废弱碱液、有机废液、废镍液、废活性炭、废机油、含镍污泥等)集中收集后，分区暂存于危废暂存间，交有资质单位处置；职工办公等生活垃圾由车间一层设置垃圾箱收集后依托基地垃圾转运箱收集，由环卫部门运至中电项目燕楼生活垃圾综合处置场处理。③严格遵循重金属污染物排放“减量置换”或“等量替换”的原则，涉重项目环评阶段必须有明确具体的重金属总量来源本项目含镍废水为生产工艺中的化学镀镍后清洗产生，含镍废水经含镍废水预处理GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放标准后，经特殊运输车运至贵阳中电环保发电有限公司处理，废水属于间接排放，不涉及总量控制。④加强工业发展过程中的环境管理与风险管控，污水处理管网、中水回用管网、必须与园区同步建设，强化风险管理，完善风险防控管理体系。本项项目严格按照规划及相关标准要求加强风险管理，完善风险防控管理体系，环评对企业提出了应急预案内容要求以及风险防范措施，详细内容见下文环境风险专项评价章节。综上所述，项目在严格采取相应环保治理措施的前提下，与《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书》审查意见中相关内容相符。其他符合性分析1、产业政策符合性分析根据《产业结构调整指导目录(2019年本)》(中华人民共和6国国家发展和改革委员会令第29号)，项目属于鼓励类中“二十八、信息产业；21、新型电子元器件(片式元器件、频率元器件、混合集成电路、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高密度印刷电路板和柔性电路板等)制造”类，符合国家产业政策。2、项目与《“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案》(环大气[2017]121号)符合性分析本项目与《“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案》符合性分析见表3。表3项目与“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案符合性分析一览表序号方案条例本项目符合性1严格建设项目环境准入。提高VOCs排放重点行业环保准入门槛，严格控制新增污染物排放量。重点地区要严格限制石化、化工、包装印刷、工业涂装等高VOCs排放建设项目。新建涉VOCs排放的工业企业要入园区。严格涉VOCs建设项目环境影响评价，实行区域内VOCs排放等量或倍量削减替代，并将替代方案落实到企业排污许可证中，纳排放项目，应从源头加强控制，使用低(无)VOCs含量的原辅材料，加强废气收集，安装高效治理设施。符合。本项目位于花溪区燕楼产业园区内，所在区域不属于重点地区。本项目有机物料设置专门的有机物料仓库存储，采用专门的化学品胶桶密封存储并做好相关防渗防漏措施，减少了源头排放。生产过程中光刻和钝化工序等涉及有机物料使用的在通风橱中进行，生产活动产生的VOCs经活性炭吸附处理装置处理后达标排放。2因地制宜推进其他行业VOCs综合治理。各地应结合本地产业结构特征，光刻、涂胶、涂装等工序VOCs排放控制。3、项目与《挥发性有机物(VOCs)污染防治技术政策》符合性分析根据生态环境部公告2013年第31号《挥发性有机物(VOCs)污染防治技术政策》，项目与其符合性分析见表4。表4项目与挥发性有机物(VOCs)污染防治技术政策符合性分析一览表序号政策条例本项目符合性1源头和过程控制。含VOCs产品的使用过程中，应采取废气收集措施，提高废气收集效率，减少废气的无组织排放与逸散，并对收集后的废气进行回收或处理后达标排放。符合。本项目有机物料设置专门的有机物料仓库存储，采用专门的化学品胶桶密封存储并做好相关防渗防漏措施。生产过程中涉及有机物料使用的在通风橱中进行，生产活72VOCs回收价值时可采用吸附技术、吸收技术对有机溶剂回收后达标排放，不宜回收时，可采用吸附浓缩燃烧技术、生物技术、吸附技术、等离子体技术或紫外高级氧化技术等净化后达标排放。动产生的VOCs经活性炭吸附处理装置处理后达标排放。3末端治理与综合利用。对于不能再生的过滤材料、吸附剂及催化剂等净化材料，应按照国家固体废物管理的相关规定处理处置。符合。本项目有机废气处理的活性炭吸附净化装置中产生的废活性炭收集后暂存于危险废物暂存间，定期交有资质单位处置。4、与《打赢蓝天保卫战三年行动计划》符合性分析根据国务院文件国发〔2018〕22号关于印发《打赢蓝天保卫战三年行动计划》的通知，本项目不属于高耗能、高污染企业，项目废气严格采取污染防治措施后达标排放，与行动计划相符。5、项目与“三线一单”符合性分析根据筑府发〔2020〕20号《贵阳市人民政府关于印发贵阳市“三线一单”生态环境分区管控实施方案的通知》，本项目与“三线一单”符合性分析如下：⑴生态红线根据黔府发〔2018〕16号《省人民政府关于发布贵州省生态保护红线的通知》，项目位于贵阳市花溪区燕楼镇中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园区内，项目租用贵阳市花溪产业投资(集团)有限公司在建花溪区燕楼创新产业孵化基地103厂房，不占用生态保护红线，项目与生态红线位置关系见附图3。⑵环境质量底线①大气环境项目所在区域贵阳市大气环境质量底线(以PM2.5年均浓度为基准)2020年、2025年及2035年分别为<35μg/m3、<33μg/m3、28μg/m3。根据《2020年贵阳市生态环境状况公报》，现状满足大气环境质量底线要求。项目生产线设置于密闭厂房内，工艺节点酸性废气经碱液喷淋塔处理后经1#排气筒达标排放；工艺节点粉尘采取集气罩收集后经2#排气筒达标排放；工艺节点有机废气采取活性炭吸附处理后经3#排气筒达标排放；车间无组织废气采用排风系统加强通风换气。废气采取处理措施后对环境空气影响小。8②水环境项目周围环境主要地表水为翁岗河和青岩河(下游称涟江)，翁岗河为青岩河支流，属于涟江花溪区控制单元，涟江水环境质量底线为2020年、2025年2035年均达到Ⅲ类。根据《2020年贵阳市生态环境状况公报》中数据显示，现状青岩河水质为Ⅱ类，满足水环境管控单元Ⅲ类水质目标。本项目建成后，含氟生产废水经预处理达到燕楼污水处理厂接管协议浓度后，与纯水制备产生浓水混合排至市政污水管排入燕楼污水处理厂处理，含镍废水经预处理达标后运输至贵阳中电环保发电有限公司污水处理站处理；职工办公等产生的生活污水依托基地化粪池截留沉淀处理达燕楼污水处理厂接管协议浓度后，经市政污水管排入燕楼污水处理厂处理，项目建设不会导致水质发生突发性变化。③土壤到2020年，全市土壤环境质量总体保持稳定，农用地和建设用地土壤环境安全得到基本保障，土壤环境风险得到基本管控。到2025年，土壤环境质量继续保持稳定，农用地和建设用地土壤环境安全得到进一步保障，土壤环境风险得到进一步管控。到2030年，土壤环境质量稳中向好，农用地和建设用地土壤环境安全得到有效保障，土壤环境风险得到全面管控。到2035年，全市土壤环境质量得到进一步改善，生态系统实现良性循环。项目租用贵阳市花溪产业投资(集团)有限公司在建花溪区燕楼创新产业孵化基地103厂房设置生产线，用地稳定安全，与底线相符。⑶资源利用上线本项目不涉及能源(煤炭)、岸线内容，则仅分析水资源和土地资源。贵阳市花溪区用水总量约束性指标至2030年为1.45亿m3。本项目用水取自市政给水，在花溪区燕楼产业园规划用水范围。贵阳市花溪区土地利用上线控制指标中建设用地总规模指标为17002.49ha。本项目用地属于《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)》规划工业用地，用地不会突破许可用地要求。9⑷生态环境准入清单ZH52011120002)，项目与花溪区燕楼工业园重点管控单元位置关系见附图4。符合性分析见表5。表5项目与花溪区燕楼工业园重点管控单元符合性分析一览表序号管控单元要求本项目符合性1①按照贵州省、黔中经济控要求中水环境工业污染重点管控放区普适性准入要求执行。污染、高能耗行业。③不得引入与目前园区功能定位和产业规划相冲突的企业。④严禁引入国家明令淘汰工艺和产品和国家明确禁止建设的“新五小”⑤花溪区燕楼工业园主要足《贵阳市生态环境局关于贵阳市产业园区主要行业环境准》(筑环函[2019]245号)附件《贵阳市产业园区主要行业环境准入一览表》要求。符合。①本项目不排放重金属废气，不使用燃煤，项目符合贵州省及贵阳市水要素普适性要求；②项目废气及废气污染物排放量均较小，对环境影响小；③本项目为半导体芯片产研硝项目，位于先进制造基础配套产④本项目不属于限制及淘汰类产业，项目不采用落后的生产工艺、技术和设备。⑤本项目满足主要行业环境准入相关要求。2①园区企业废水处理达到相应行业预处理标准并经允许接纳后，可进入园区污水处理厂处理后达标排放；排放污水需满足规划环评提出的对应受纳水体水环境容量要求。②所有入驻企业必须实现生产废水、生活废水达标循升级工业集聚区应同步规划建设污水集中处理设施并安装自动在线监控装置。③在规划园区内尽可能实现废物的资源化，建设中水回用设施，提高水循环利用符合。①本含氟废水经预处理达到燕楼污水处理厂接管协议浓度后，与纯水制备产生浓水混合排至市政污水管排入燕楼污水处理厂处理，含镍废水预处理达GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放标准后，运至贵阳中电环保发电有限公司污水处理站处理；职工办公等产生的生活污水依托基地化粪池截留沉淀处理后，经市政污水管排入燕楼污水处理厂处理。②对建设单位提出了自行监测要求，企业运行期间按照相关技术规范和自行监测要求进行监测管率。④采取多措并举提高工业固废的综合利用水平。⑤大气污染物排放需要满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-2017)排放 等)需满足园区规划环评大气环境容量和总量控制要求，工业废气排放达标率100%。理，并建议建设单位对(含废水中流量、pH、氟化物、镍等因子安装自动监测设备)③项目废水的下游处置单位燕楼污水处理厂、贵阳中电环保发电有限公司污水处理站尾水，在园区内实现综合利用，实现园区中水回用。④本项目一般固废集中收集后外售，含氟污泥若鉴定为一般固废后，可移交园区进行资源化利用。⑤项目生产工艺节点产生的酸性废气经碱液喷淋塔处理后经1#排气筒达标排放；工艺节点粉尘采取集气罩收集后经2#排气筒达标排放；工艺节点有机废气采取活性炭吸附处理后经3#排气筒达标排放；车间无组织废气采用排风系统加强通风换气。3①园区应制定环境风险应急预案，按要求开展突发环境事件风险评估。基本符合。环评提出建设单位应按照[2015]4号《企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法(试行)》要求编制突发环境事件应急预案并报生态环境主管部门备案，应急预案编制时考虑与园区应急预案联动，形成多级环境风险管控体系。4水资源：2020年用水总量控mGDP水量下降26%，万元工业增加值用水量下降28%，土地资源：2020年人均城镇工矿用地不超过130m2，亿元GDP建设用地量不超过23.59公顷/亿元。符合。本项目新鲜用水量较低，且用水量在园区水资源估算范围内，对区域总用水量控制影响小；项目用地位于园区已规划用地，不属于新增占用地，对区域国土空间开发强度无影响。综上分析，项目不在生态保护红线内，满足环境质量底线要求，未超出资源利用上线，本项目与贵阳市“三线一单”相符。6、与《贵州省建设项目环境准入清单管理办法(试行)》([2018]303号)通知的符合性分析根据贵州省生态环境厅关于印发黔环通[2018]303号《贵州省建设项目环境准入清单管理办法(试行)》的通知，项目属于“二十八、计算机、通信设备和其他电子设备制造业；83、电子元件及电子专用材料制造”，属于绿色通道类(绿线)，编制环境影响报告表，并符合相关功能区、规划、总量控制等要求，符合管理办法要求。7、与《贵州省推动长江经济带发展负面清单实施细则(试行)》符合性分析根据贵州省推动长江经济带发展领导小组办公室文件第22号关于印发《贵州省推动长江经济带发展负面清单实施细则(试行)》的通知，本项目与其符合性分析结果见表6。表6项目与细则符合性分析结果序号细则要求本项目符合性1第五条：禁止在自然保护区核心区、缓冲区的岸线和河段范围内投资建设旅游和生产经营项目。区、缓冲区的岸线和河段范围内。符合2第六条：禁止在风景名胜区核心景区的岸线和河段范围内投资建设与风景名胜资源保护无关的项目。风景名胜区核心段保护范围。符合3第七条：禁止在饮用水水源一级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建与供水设施和保护水源无关的项目。河段范围内、不在内。符合4第八条：禁止在饮用水水源二级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建排放污染物的投资建设项目。符合5第九条：禁止在水产种质资源保护区的及围湖造田等投资建设项目。种质资源保护区，符合6第十条：禁止在国家湿地公园的岸线和河段范围内挖沙、采矿，以及任何不符合主体功能定位的投资建设项目。国家湿地公园。符合7第十四条：禁止在《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。于划定的河段保护区及保留区内。符合8第十五条：禁止在生态保护红线和永久基本农田范围内投资建设除国家重大战略资源勘查项目、生态保护修复和环境治理项目、重大基础设施项目、军事国防项目以及农村居民基本生产生活等必要的民生项目以外的项目。与永久基本农田。符合9第十七条：禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染项目。合规园区为列入《中国开发区审核公告目录》或省人民政府批准设立的园区。污染项目，且选址业园区内符合第十九条：禁止新建、扩建法律法规和符合相关政策明令禁止的落后产能项目。后产能项目。第二十条：禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的重过剩产能行业。符合注：仅分析与本项目相关的条例根据上表分析结果可知，本项目符合《贵州省推动长江经济带发展负面清单实施细则(试行)》条例规定。二、建设项目工程分析建设本项目位于贵阳市花溪区燕楼镇中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园，租用花溪区燕楼创新产业孵化基地在建103厂房西侧(总楼层高4层，每层高5m)1、2层作为项目生产车间。厂房占地面积2500m2，总建筑面积约5000m2。项目计划建设一条4英寸高可靠性瞬态电压抑制二极管(TransientVoltageSuppressor，TVS)生产线，产能为50000片/月，实现年产60万片TVS芯片。项目组成见表7，厂区平面布置示意图见附图5。表7项目组成一览表组成主要工程内容主体工程纯水制备区面积36.9m2，布设纯水机。液氮、液氧存放区面积36.9m2，存放液氮、液氧。空压机房面积41.6m2喷砂车间面积41.6m2封装预留面积2033.6m2，封装预留不在本次评价范围内。2F清洗车间面积158.6m2，设置清洗台，布设清洗机、烘箱、冰柜等设备。扩散车间面积205.6m2，布设扩散炉。光刻车间面积84.7m2，布设涂胶、显影、烘箱设备。测试划片区预留实验室面积351.7m2，预留实验室不在本次评价范围内。酸类物料仓库面积49.5m2，堆存酸类物料。有机类物料仓库面积41.4m2，堆存有机物料。原料仓库面积44.1m2，堆存其他物料。硅片来料及出货包装区面积25.6m2车间办公室及会议室面积90.4m2辅助工程办公区(设置于车间2F)面积226.4m2，作为管理人员办公用地。休息区(设置于车间2F)面积100.0m2，设置更衣间、洗手池和外套存放区。公用工程供电接园区供电网供水接市政给水管网环保工程大气污废气生产线设置在密闭厂房内，工艺节点酸性废气经碱液喷淋塔处理后通过1#排气筒(25m高)达标排放；工艺节点粉尘采取集气罩收集后经2#排气筒(25m高)达标排放；工艺节点有机废气采取活性炭吸附处理后经3#排气筒(25m高)达标排放；车间无组织废气采用排风系统加强换气。水污生产废水车间一层北侧设置一处生产废水处理站，废水采取分质分工艺处理。含氟废水经含氟废水处理设施(规模为150m3/d)处理，采取“pH调节+CaCl2化学沉淀+絮凝沉淀”工艺；含镍废水经含镍废水处理设施(规模为20m3/d)处理，采取“pH调节+H2O2破络+Na2S化学沉淀”工艺。含氟废水经预处理达到燕楼污水处理厂接管协议浓度(其中氟化物达到GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放标准)后，与纯水制备产生浓水混合排至市政污水管排入燕楼污水处理厂处理；含镍废水经预处理达标后采用特殊运输车运至贵阳中电环保发电有限公司污水处理站处理。生活污水职工办公等产生的生活污水依托基地厂房设置化粪池截留沉淀处理达燕楼污水处理厂接管协议浓度后，经市政污水管排入燕楼污水处理厂处理。噪声设备噪声清洗机、划片机、测试机等设备设置在厂房内，并设置隔声、减振垫等降噪措施。生活垃圾车间一层北侧靠西侧设置一个垃圾收集箱，生活垃圾收集后依托基地垃圾转运箱运至中电项目燕楼生活垃圾综合处置场处理。一般固废废金刚砂收、废刀片、不合格产品和废包装材料分类收集后暂存于一层设置的一般固废暂存间(约15m2)，定期外售；含氟废水处理设施产生的污泥定期清掏，企业投产后，根据实际工艺产生的污泥进行危险废物性质的鉴定，若鉴定结果为危险废物则委托有资质的单位进行处置，若为一般固废，则移交园区建材企业综合利用。危险废物设置一间危险废物暂存间，位于厂房二层北侧，总面积约42m2，容积约210m3，做好相应防渗防漏防腐蚀措施。危险废物(酸性废液、含氟废液、废弱碱液、有机废液、废镍液、废活性炭、废机油、含镍污泥等)集中收集后，分区暂存于危险废物暂存间，定期交有资质单位处置；含镍废水处理设施污泥清掏后委托有资质单位处置。危险废物的暂存严格按照GB18597-2001《危险废物贮存污染控制标准》及其2013年修改单相关规定执行。地下水、土壤严格按照HJ610-2016《环境影响评价技术导则地下水环境》要求对酸类物料仓库、有机物料仓库区、危废暂存间、涉及用酸等危险物质清洗的车间和生k≤1×10-7cm/s材料作为地面防渗材料。厂房办公地面等进行常规硬化处理。2、主要原辅材料项目主要原辅料统计见表8，相关能耗见表9。表8主要原辅料用量一览表序号名称纯度或成分年用量存储量单位存储方式储存地点1原硅片>99.9%60000050000片纸箱原料仓库2磷纸/60000050000片袋装3硼砂纸四硼酸钠60000050000片胶袋4氨水26%~28%21.3.8t桶装5玻璃粉/1247kgk袋装6玻璃结合液/33028L桶装7次亚磷酸钠NaH2PO2·H2O70158kgk袋装8氯化镍NiCl2·6H2O2092kgk袋装9双氧水30%~35%43.03.6t桶装氧化铝粉/9.6kgk袋装金刚砂/t袋装液氮/172801440kgk储罐液氧/8400700kgk储罐冰醋酸>99.7%1.1t桶装酸类物料仓库硫酸95%~98%54.94.6t桶装氢氟酸49%~50%25.62.1t桶装硝酸69%~71%48.94.1t桶装盐酸36%~38%38.93.2t桶装负胶漂洗液乙酸丁酯5961497L桶装有机类物料仓库20光刻胶含31.8%的二甲苯(1,3-二甲苯)和41.9%的乙苯5783803L桶装21显影液含70%~80%的正庚烷和20%~30%的二甲苯131691097L桶装22乙基纤维素/kgk袋装23硅胶含4%~6%的二氧化硅粉(气相)、1%~2%的含氢硅油、86%~94%的乙烯基硅油、0.1%~0.3%的抑制剂、3~6ppm的铂催化剂40033kkg纸箱表9相关能耗一览表序号名称数量单位1水60309.6t/t/2电960000、主要设备主要生产设备见表10，测试中心设备见表11表10主要生产设备一览表序号设备名称规格数量单位1纯水机20t/h(每天制水8~10小时)1台2清洗台2.3×0.9台3大超声机8花篮摆动超声2台4小超声清洗机4花篮2台5扩散炉4管7台6喷砂机/1台7热电偶/47台8蚀刻清洗台双花篮2台9烤箱3排烤箱台机3工位3台曝光机双工位台显影机/2台体式显微镜/7台晶向显微镜/1台石英工具/8套四探针测试仪RTS-81台测试机/8台点测机/6台分选机/1台20划片机/8台表11测试中心设备一览表序号设备名称数量单位1高温高压带电测试Hast1台2快速温变试验箱EC-25EXTH1台31000浪涌测试1/4IS07637-25a1台51.2/50usf8/20浪涌发生器30kA1台6静态机台测试机1台7晶像显微镜1台8研磨机1台9解剖机1台晶体管图示仪器1台触屏示波器1台4、劳动定员及工作制度拟建项目劳动定员80人，实行每天3班制，每班8h，年工作日312天。不在厂内食宿。职工办公等生活污水依托基地设置的化粪池截留沉淀处理，职工生活及餐饮依托燕楼创新产业孵化基地已建生活区及配套设施，不在本次评价内容中。5、给排水方案⑴给水本项目用水取自市政给水管，生产线生产用水以建设单位设计用水为准(见附件3)，生活用水定额参考DB52/T725-2019《用水定额》。⑵排水本项目生产废水经生产废水处理站处理。其中含氟废水经含氟废水处理设施处理，含镍废水经含镍废水处理设施处理，含氟生产废水经预处理达到燕楼污水处理厂接管协议浓度(其中氟化物达到GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放标准)后，与纯水制备产生浓水混合排至市政污水管排入燕楼污水处理厂处理，含镍废水经预处理达GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放标准后采用特殊运输车运至至贵阳中电环保发电有限公司污水处理站处理。职工办公等产生的生活污水依托基地已设置的化粪池截留沉淀处理后，经市政污水管排入燕楼污水处理厂处理。项目污废水排污路径见附图6。本项目所用纯水采用纯水设备制得，纯水设备定期由销售厂家安排维护(包括设备中EDI系统涉及的废旧离子交换树脂由厂家定期更换，不在厂内再生，无其他污染物产生)，纯水制备过程中产生的浓水排至市政污水管排入燕楼污水处理厂处理，纯水制备工艺流程见图1。。双级脱脱终原箱原水纯水双级脱脱终原箱水图1纯水制备工艺流程图表12用排水量一览表用水项目(纯水)标准规模用水(m3/d)排水(m3/d)备注新鲜用水纯水用水*1纯水制备用水//171.7/42.9制水率75%2扩散前清洗13L/片1923片/25.021.2该部分用水由纯水机制备3光刻前清洗10L/片/26.34沟槽蚀刻清洗22L/片/42.336.05化学镀镍清洗7L/片/13.546划片清洗15L/片/28.824.57废气洗涤用水//0.012/0.01循环使用(定期补充，表中用排水量按全年所用平均折算)8办公用水80人4.0/3.4职工餐饮及生活污水依托基地建设的生活区及其配套环保设施处内容中分析生产区办公产的生活污水。9//175.7/155.7/不可预见用水//7.6/5.6按上述的10%计消防用水20L/s(室内)s/////合计193.3128.8171.3/注：“*”：表中所用纯水均由新鲜水制得，即纯水用水总量包含于新鲜用水总量之中。0.0020.010.01塔废气洗涤补水3.825.021.2扩散前清洗2.998.019.298.0光刻前清洗6.378(纯水)78(纯水)沟槽蚀刻清洗4.328.824.5332.1电有限公42.9(浓水)0.6.4.44.03.4.44.032.0不可预见用水图2项目水平衡图(单位：m3/d)6、平面布置合理性项目位于中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园，租用花溪区燕楼创新产业孵化基地在建103标准厂房西侧1、2层作为生产用房。一层预留封装区域不在本次评价范围。一层设置有液氮和液氧存放区、纯水制备用房、喷砂车间、生产废水处理站、生活垃圾收集箱。二层首先是北侧自东向西设置有机物料仓库、酸类物料仓库、危险废物暂存间；其次，二层自北向南依次是更衣间、生产作业区(现场看板办公区、清洗车间和扩散车间、光刻车间)、原料仓库、测试划片区、预留实验室(不在本次评价范围)、前台及展厅、办公区域。生产作业区分区明显，生产线布局明确，无交叉操作影生产废水处理站设置于一层北侧，二层生产线产生的生产废水可自流流入废水处理设施处理，既有效将生产和废水处理设施分隔，也能降低废水处理设施事故对生产线的风险影响。卫生间设置于二层南侧，卫生间污水可沿污水管道自流进入基地设置的化粪池。危废暂存间设置于二层北侧，与生产线之间有走廊间隔，危废暂存间事故风险对生产线影响较小；同时危废暂存间与废水处理设施位于同一侧，危废暂存间发生泄露后，可由布设管道直接接入废水处理设施，进一步减轻危废暂存间事故风险对周围环境带来的影响。一般固废暂存间和垃圾收集点设置于一层北侧偏西，可便于一般固体废物的清运和垃圾倾倒。办公区与预留实验室之间设置展厅间隔，距离生产线较远，可降低噪声对办公区的影响。二层东侧有走廊，楼梯和电梯设置于南侧靠东，产品与大件物料通过电梯输送，方便快捷。综合分析，项目平面布置较为合理。7、选址合理性项目用地为中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园规划工业用地，位于规划先进制造基础配套产业组团，项目与《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)》及其规划环评与审查意见相符。同时，也符合贵阳市“三线一单”相关管控要求。本项目生产设施布设于密闭厂房内，生产线工艺节点酸性废气、粉尘、有机废气处理后达标排放，车间废气采用排风系统通风换气，对外环境影响小。项目含氟废水经生产废水处理站处理达燕楼污水处理厂接管协议浓度后，与纯水制备产生的浓水混合排至市政污水管排入燕楼污水处理厂处理；含镍废水经预处理达标后运输至贵阳中电环保发电有限公司污水处理站处理；职工办公等产生的生活污水依托基地化粪池截留沉淀处理后，经市政污水管排入燕楼污水处理厂处理，对周围水环境影响较小。设备设置于厂房内，通过设备源头降噪、车间降噪及距离衰减后，对声环境影响小。此外，项目北毗邻龙燕路、北侧500m为花安高速，项目东侧200m为园km处为燕楼收费站，交通便利。区域电力、给水、排水工程均已完善。20工艺流程和产排污环节1、施工期主要产污工序⑴施工期施工简述本项目租用花溪区燕楼创新产业孵化基地标准厂房，施工期主要为生产分区的设置、设备安装，以及办公区的内部装修等，施工工程规模较小。施工期工艺流程及产污节点见图3。废气废气、废水施工队伍进场设备安装室内装修清场投入使用图3施工期工艺流程及产排污节点图⑵施工期主要污染工序分析如下：①施工期废气：施工装修、设备安装钻孔等产生扬尘和少量装修废气。②施工期废水：施工人员生活污水，以及厂房改造、办公区内部装修产生施工废水。③施工期噪声：施工安装使用机械产生噪声。④固体废物：主要来自施工期装修产生的装修固废、施工人员产生的生活垃圾以及设备安装时产生的废弃包装物(废木材及纸箱等)。2、营运期主要产污工序⑴生产线项目设置1条生产线，生产线设置清洗车间(扩散前清洗、光刻前清洗、沟槽蚀刻)、扩散车间(扩散、钝化)、喷砂车间(喷砂)、光刻车间(光刻)、测试划片区(划片、测试)和出货包装区(包装)。生产线主要生产工艺包括：扩散前清洗→扩散→喷砂→光刻前清洗→光刻→沟槽蚀刻→钝化→化学镀镍→划片→测试、包装入库→待售。生产工艺流程及产排污节点图4。216份硝酸1份乙酸酸性废气烘箱6份硝酸1份乙酸酸性废气烘箱扩散炉废水光刻前清洗废气水槽烘箱弱碱液硅烘箱废水光刻废气甩胶盘光刻胶沟槽蚀刻废气烘箱废水化学镀镍酸性废气镍水化学镀镍水测试、包装入库水烘箱划片烘箱测试、包装入库待售片废水液水槽废水硅片废气显影液槽UV光机显影液废气漂洗槽漂洗液硅酸性废气硅片酸槽液水槽废水3份氢氟酸3份乙酸酸槽扩散前清洗1份双氧水氨气废水废气水槽废水酸槽液废包装材料酸槽液喷砂机水槽钝化烘箱片5份硝酸废气烘箱烘箱酸槽水槽水槽水槽液划片钝化扩散片图4生产工艺流程及产排污节点图22①扩散前清洗：为保证产品清洁度，原硅片首先进入盛有硝酸、氢氟酸和乙酸(配比为6:1:1)混合酸的酸槽进行浸洗，浸洗时间为2~30s，以除去原材料表面杂质，该工序操作在清洗操作台上进行。浸洗完成后，进入纯水槽进行冲洗。清洗完成进入100~150℃干燥箱烘干后待用，采用电加热。类比同行业生产经验，每清洗2000片硅片需对混合酸进行更换，收集的废酸采用专用化学品收集桶存储，暂存于危废暂存间。扩散前清洗工序产生的污染物为酸洗过程中产生的酸性废气，废酸液和清洗过程产生的清洗废水，以及清洗时超声清洗机产生的噪声。②扩散：硅片烘干后，采用人工操作在硅片表面覆上1张硼砂纸，把硅片转移至扩散炉中，炉内通入O2、N2混合气体，并采用电加热，使扩散炉炉内温度升至1200℃，使硼砂纸中硼均匀扩散至单晶硅中，扩散时间为1~100h，以形成P/N结(二极管的最基本核心单元，具有单向导电特性)。扩散完成后待扩散炉降至室温后取出硅片待用。③喷砂：扩散处理后的硅片转移至喷砂室采用喷砂机对硅片进行喷砂处理，喷砂工序是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将金刚砂高速喷射到硅片表面，由于磨料对硅片表面的冲击和切削作用，以去除硅片表面用化学方法难以去除的杂质。喷砂工序产生的污染物主要为喷砂过程中产生的喷砂粉尘废气、废砂和噪。④光刻前清洗：喷砂后的硅片转移至光刻前清洗台，首先浸入氢氟酸(浓度为50%)槽，进行约1min的浸洗，除去硅片表面的氧化物；浸洗完成后取出再进入盛有氨水、双氧水的水槽(氨水：双氧水=1:1)浸洗，进行约30s的浸洗，以进一步去除硅片表面的氧化物。最后进入盛有盐酸、双氧水的水槽(盐酸：双氧水=1:1)浸洗，浸洗时间约1min。每步浸洗完成后均采用纯水对硅片进行冲洗和烘干，工艺同扩散前清洗，纯水冲洗均在同一水槽进行。类比同行业运行经验，上述浸洗溶液每处理2000片硅片就需进行更换，废液经收集后采用专用化学品收集桶存储，暂存于危废暂存间。光刻前清洗工序产生的污染物主要为酸洗过程酸挥发产生的酸性废气、氨气、废酸液，清洗过程产生的清洗废水，清洗过程超声清洗机产生的噪声。⑤光刻：完成清洗的硅片通过人工转移至光刻区，硅片在光刻区完成3步操→显影。涂胶：首先将硅片放置于甩胶盘上，然后用滴管滴上数滴负性光刻胶，利用甩胶盘转动(转速=1000转/min)时产生的离心力，将片子上多余的胶液甩掉，23在光刻胶表面粘附和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。然后对硅片进行加热，温度为90℃，加热45min，对光刻胶进行预烘。曝光：涂胶完成后把硅片放置于UV光机中进行选择性曝光，利用UV光机发射的波长为315~400nm的紫外线照射，曝光时间为1min。曝光区的光刻胶很快发生光固化反应，形成不溶于蚀刻酸的物质。显影：曝光后，将硅片浸入盛有显影液的槽中，使未经曝光的光刻胶溶解，使硅片表面形成图形掩膜。显影完成后取出硅片晾干再浸入盛有负胶漂洗液的槽，对硅片进行浸洗，加固经曝光的光刻胶。光刻工序均在通风橱内进行，产生的污染物主要为甩胶盘、显影液槽、漂洗槽等使用的有机物料挥发产生的TRVOC，同时甩胶产生废光刻胶、显影产生废显影液、漂洗产生废漂洗液。类比同行业实际生产经验，显影液、负胶漂洗液每处理2000片硅片需更换，废液收集后采用专用化学品收集桶存储，暂存于危废暂存间。⑥沟槽蚀刻：光刻完成后，将工件转移至蚀刻操作台，浸入盛有硝酸、氢将表面没有光刻胶保护的硅片进行蚀刻，形成凹凸或者镂空的效果。类比同行业生产经验，蚀刻液每处理2000片硅片需更换，废液收集后采用胶桶存储，暂存于危废暂存间。蚀刻完成后取出工件置于盛有硫酸(质量分数为95%)的酸槽中浸洗，浸洗时间为1~60min，浸硫酸目的是为除去经曝光的光刻胶。硫酸每处理1500片需更换，废液收集后采用专用化学品收集桶存储，暂存于危废暂存间。上述每步浸洗完成后均采用纯水对硅片进行冲洗和烘干，工艺同扩散前清洗，纯水冲洗均在同一水槽进行。沟槽蚀刻工序产生的污染物主要为酸槽中酸挥发产生的酸性废气、废酸液，清洗过车产生的清洗废水，清洗过车中超声清洗机等产生的噪声。⑦钝化：经蚀刻的工件转移至涂覆区进行硅胶涂覆，涂覆目的是为对硅片沟槽进行保护，防止后续工序对沟槽的破坏。使用硅橡胶对硅片沟槽进行人工涂覆，涂覆好后的工件置于电热干燥箱中固化，固化温度为120℃，时间15min。固化完成后待烤箱降温后取出工件转移至镀镍操作台。钝化工序产生的污染物主要为硅胶涂覆所产生的TRVOC。⑧化学镀镍：钝化后的硅片采用化学镀镍的方式在硅片表面进行镀镍。镀镍方式：硅片浸入盛有镍水(NiCl2·6H2O：NaH2PO2·H2O=2:5)的槽中，采用电对槽液进行加热，使镍组升温至95℃进行镀镍。化学镀镍主要分为三步：第24一步，在加热条件下，通过金属的催化作用，镀液的次磷酸根在催化金属表面上催化脱氢，生成原子氢([H])和氢离子(H+)，同时次磷酸跟被氧化成亚磷酸根；第二步，原子氢[H]吸附于催化金属表面，并使镀液中的镍离子(Ni2+)进行还原反应，在金属表面沉积出现镍层；第三步，在催化金属表面，部分次磷酸根在氢离子(H+)作用下，被原子氢[H]还原成单质磷(P)，并进入镍层，进而形成Ni-P合金镀层。镀镍浸渍2min，镀镍完成后取出再采用水进行冲洗和烘干，操作同扩散前清洗。镀镍相关化学反应方程式见式⑴~式⑶：加热2-+HPO+H2OH2PO3+H+2[H]Ni2++2[H]加热2-+(1)(2)(3)化学镀镍工序产生的污染物为镀镍时产生的废镍液，清洗产生的清洗废水，以及清洗时超声清洗机产生的噪声。⑨划片：硅片人工转移至划片区，采用划片机的金刚石刀片对硅片进行切割，形成符合规格大小的晶粒，切割过程中采用纯水进行冲洗。切割完成的晶粒采用干燥箱烘干。划片工序产生的污染物为划片产生的废刀片和清洗废水。⑩测试、包装入库：上述产品经测试合格后包装入库待售。此阶段产生的污染物主要为不合格产品和废包装材料，以及测试包装过程中分选机、测试机等产生的噪声。⑵其他环节运营期除生产线工艺节点产排污之外，还有厂区职工办公等产生的生活垃圾和生活污水，设备维修与养护产生的废机油，废水处理过程产生的污泥和废气处理产生的废活性炭等。与项关的原有环境污染本项目租用花溪区燕楼创新产业孵化基地在建103厂房作为项目生产加工用房。厂房目前处于铺设雨、污管线及厂区绿化阶段，项目地未见其他环境污染问题。25三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准环境质量现状1、环境空气质量现状根据《2020年贵阳市生态环境状况公报》(贵阳市生态环境局，2021.5)，贵阳市空气质量现状浓度统计，见表13。表13贵阳市环境空气质量6项污染物浓度统计分析一览表监测监测值(年平均浓度，µg/m3)标准值(µg/m3)(%)超标情况SO2607达标NO24045达标PM104170586达标PM2.5233565.7达标CO900(日均第95百分位浓度)4000225达标O3113(最大8小时平均第90百分位数浓度)70.6达标由上表可知，贵阳市环境空气质量良好，达到GB3095-2012《环境空气质量标准》(及其2018年修改单)二级标准。同时，根据《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报区域大气环境中氟化物均低于检出限，达到GB3095-2012二级标准。2、地表水环境质量现状项目区域环境地表水主要有项目西北侧2.1km的翁岗河和东北侧4.6km的青岩河，翁岗河为青岩河支流，河流属于Ⅲ类水体。根据《2020年贵阳市生态GB3838-2002《地表水环境质量标准》Ⅲ类水质。根据“中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园产业布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书”，翁岗河水质满足GB3838-2002《地表水环境质量标准》Ⅲ类水质。3、地下水环境质量现状本项目厂址附近区域无地下泉点出露，项目区域地下水执行GB14848-2017《地下水质量标准》III类标准。参考《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书》2020年2月23日至27日地下水监测数据，选取距离本项最近的槐舟坝村泉点(项目西南2.5km)监测数据作为项目区域地下水环境现状评价，除总大肠菌群和菌落总数超标外，其余指标均满足GB14848-2017《地下水质量标准》III类标准。监测4。26表14项目区域地下水环境质量状况pH04500000<0016.5~8.50500.520.039—5////////////////类镍<0002<0002<001<001<00019200000//0////67////////////67注：“*”仅作参考，不作评价。4、声环境质量现状目用地为工业用地。项目50m范围内无居民点和其他声环境敏感目标，声环境执行GB3096-2008《声环境质量标准》中的3类标准。根据《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集年1月14日~15日区域环境噪声监测数显示，各类区声环境质量均满足对应标准限值。5、土壤境质量现状项目位于燕楼产业园建设用地中工业用地，根据《中关村贵阳科技园—经开园区燕楼产业园布局规划暨燕楼集镇控制性详细规划(修编)环境影响报告书》2020年1月监测数据及调查，燕楼产业园规划区域内的土壤环境质量均可满足GB15618-2018《土壤环境质量农用地土壤污染风险管控标准(试行)》和GB36600-2018《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准(试行)》。6、生态环境质量现状项目所在地周边主要为绿化植被，如香樟、桂花等景观乔木。环境保护本项目位于贵州省贵阳市花溪区燕楼镇狮子口龙燕路南侧燕楼创新产业孵区域环境地表水为项目西北侧2.1km的翁岗河、东北侧4.6km的青岩河，翁岗河为青岩河支流，河流属于Ⅲ类水体，项目水系见附图8。本项目东南侧440m处有罗家山居民点(42户122人)，项目周边主要为企业在建厂房。本项目的保护目标主要是附近河流及周围生态环境等，评价区范围内无特殊保护的历史文化及文物保护敏感点。项目主要环境保护目标及分27表15项目环境保护目标环境要素保护目标相对位置关系规模/性质保护要求方位距离环境罗家山居民点ES440mGB3095-2012《环境空气质量标准》噪声50m范围(无居民点)GB3096-2008《声环境质量标准》3类花溪区燕楼创新产业孵化基地建设项目办公用房EN40m20人花溪区燕楼创新产业孵化基地建设项目施工生活营地N60m30人地表水翁岗河WN/GB3838-2002《地表水环境质量标准》Ⅲ类青岩河(下游称涟江)EN4.6km/地下水500m范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源，项目所在地无地下水泉点出露；项目所在地的水文地质单元GB/T14848-2017《地下水质量标准》Ⅲ类土壤环境土壤四周//GB36600-2018《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准(试行)》第二类用地风险筛选值生态环境植被四周200m避免对周围生态环境扰动和破坏污染物排放控制标准1、大气污染物排放标准本项目施工期和运营期产生的粉尘污染物执行GB316297-1996《大气污染物排放标准》表2二级标准。运营期产生的氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、颗粒物执行GB16297-1996《大气污染物排放标准》表2二级标准；氨执行DB52/864-2013《贵州省环境污染物排放标准》表4二级标准；甲苯与二甲苯合计、总反应活性挥发性有机物(TRVOC)参考天津市DB12/524-2020《工业企业挥发性有机物排放控制标准》表1中电子工业“电子元器件”制造标准。排放表16大气污染物排放标准标准级别污染排气筒高度(m)排放限值(mg/m3)排放速率(kg/h)无组织排放(mg/m3)GB16297-1996《大气污染物排放标准》二级颗粒物2514.5氟化物259.00.40.02氯化氢250.90.2硫酸雾25455.7氮氧化物*252402.9DB52/864-2013《贵州省环境污染物排放标准》二级氨气25202DB12/524-2020《工业企业挥发性有机物排放控制标准》表1中电子工业“电子元器件”制造标准甲苯与二甲苯合计253.930**TRVOC(表征VOCs)25407.7注：“*”废气中挥发的硝酸转化为NO2后执行；“**”执行GB37822-2019《挥发性有机物无28组织排放控制标准》表A.1标准。2、水污染物排放标准项目生产废水经生产废水处理站处理，其中含氟废水经含氟废水处理设施处理，含镍废水经含镍废水处理设施处理。含氟废水预处理后执行燕楼污水处理厂接管协议浓度；含镍废水预处理后执行GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放标准。生活污水出水执行燕楼污水处理厂接管协议浓度。水污染物排放标准见表17。表17水污染物排放标准(mg/L)标准号标准名称污染因子标准值GB39731-2020《电子工业水污染物排放标准》表1间接排放pH6~9悬浮物(SS)400化学需氧量(COD)50045石油类20F-F200.58.0GB978-1996《污水综合排放标准》三级pH6~9悬浮物(SS)400五日化学需氧量(BOD5)300化学需氧量(COD)500/动植物油燕楼污水处理厂接管进水协议浓度pH6~9五日化学需氧量(BOD5)200化学需氧量(COD)400悬浮物(SS)300306603、噪声排放标准施工期噪声执行GB12523-2011《建筑施工场界环境噪声排放标准》表1排放限值。详见表18。表18建筑施工场界环境噪声排放限值标准号标准名称标准值昼夜GB12532-2011《建筑施工场界环境噪声排放标准》70dB(A)55dB(A)运营期噪声排放标准执行GB12348-2008《工业企业厂界环境噪声排放标29表19工业企业厂界环境噪声排放限值标准号标准名称标准值昼间夜间GB12348-2008《工业企业厂界环境噪声排放标准》65dB(A)55dB(A)GB18599-2020《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》；GB18597-2001《危险废物贮存污染控制标准》及其2013年修改单。总量控制指标1、本项目含氟废水经生产废水处理站处理达标后与纯水制备产生浓水混合排至市政污水管排入燕楼污水处理厂处理；含镍废水经预处理达标后运输至贵阳中电环保发电有限公司污水处理站处理；职工办公等产生的生活污水依托基地化粪池截留沉淀处理后经市政污水管排入燕楼污水处理厂处理，属间接排放。因此本项目不设水污染物总量控制指标。2、本项目大气污染物主要为氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、颗粒物、氨、甲苯与二甲苯、TRVOC等；根据参考的HJ1031-2019《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》，本项目大气污染物排放口为一般排放口，仅许可排放浓度，不设置许可排放量30四、主要环境影响和保护措施施工期环境保护措施本项目租用花溪区燕楼创新产业孵化基地在建103厂房，施工期主要为车间生产分区的设置、设备安装，以及办公休息区的内部装修等，施工扰动小。施工期环境保护措施分析如下：⑴施工期生产区设置、设备安装时，钻孔固定设备等操作采取洒水降尘措施，降低粉尘影响。办公区等装修时选用环保装修材料，装修期间加强室内通风排气。⑵施工废水经沉淀后循环使用或用于洒水防尘，不外排。施工期施工人员为当地工人，施工期不在项目地食宿。施工人员产生的生活污水经基地已建化粪池截留沉淀后进入龙燕路市政污水管网排至燕楼污水处理厂处理。⑶施工中合理布置施工机械和设备，设备布置在厂房内，通过合理安排施工时间，且夜间不施工，降低噪声对周围环境的影响。场界噪声昼间满足GB12523-2011《建筑施工场界环境噪声排放标准》限值要求。⑷施工装修产生的废油漆桶等危险废废集中收集，交有资质单位处置；其他装修固体废物收集后运至主管部门指定地方堆放；施工人员产生生活垃圾，设置垃圾桶收集，依托基地垃圾转运箱运至中电项目燕楼生活垃圾综合处置场处理。31运营期环境影保护措施1、大气环境影响和保护措施⑴有组织废气污染物本项目废气产生于扩散前清洗、喷砂、光刻前清洗、光刻、蚀刻和硅胶钝化等工序，各工序对应特征污染物情况见表20。表20生产线主要特征大气污染物序号编号污染工序特征污染物G1酸性废气扩散前清洗氮氧化物、氟化物G2粉尘喷砂粉尘G3酸性废气光刻前清洗氟化物、氨气、盐酸G4有机废气光刻甲苯与二甲苯、TRVOCG5酸性废气、氨气蚀刻氮氧化物、氟化物、硫酸雾G6有机废气钝化TRVOC①酸性废气(G1、G3、G5)产生于扩散前清洗、光刻前清洗和蚀刻工序，氨气产生于蚀刻工序。以上工序酸液挥发产生酸性废气及蚀刻产生的氨气均在通风橱内进行。根据建设单位提供的设计资料，估算本项目废气中各污染物产生情况见表14。酸性废气及氨气通过通风橱集气系统(收集效率为90%)收集后，采取碱液喷淋塔(处理效率为70%~90%)吸收处理经1#排气筒(25m高，排气筒根据项目所属厂房高度设置，由车间引至车间顶高出5m排放，车间每层中氮氧化物、氟化物、HCl、硫酸雾排放浓度达到GB316297-1996《大气污染物排放标准》表2二级标准，氨气排放浓度达到DB52/864-2013《贵州省环境污染物排放标准》表4二级标准。②粉尘(G2)产生于喷砂工序，为金刚砂高速喷射时产生的粉尘，喷砂工序设置于密闭车间。含尘废气量为4500m3/h，粉尘产生浓度(速率)为95mg/m3 (0.43kg/h)，通过集气罩收集(收集效率为90%)后经2#排气筒(25m高)排放。粉尘排放浓度(速率)同产生相同，且排放浓度达到GB316297-1996《大气污染物排放标准》表2二级标准限值。③有机废气(G4、G6)产生于光刻工序使用的光刻胶、显影液、负胶漂洗液和钝化工序使用的硅橡胶阶段。根据建设单位提供物料成分资料，光刻胶主要成分为二甲苯和乙苯，显影液为正庚烷和二甲苯，负性漂洗液为乙酸丁酯，原料在使用过程中均会产生TRVOC废气(包括甲苯与二甲苯等废气污染物)。根据建设单位提供的设计资料，光刻胶、显影液和负胶漂洗液挥发量约占总使用量的10%。项目光刻在通风橱内进行，废气经通风橱收集后(收集效率为90%)，采用活性炭吸附装置吸附处理后，经3#排气筒(25m高)排放。钝化工序使用的硅橡胶在高温固化32阶段会产生TRVOC废气，固化过程中产生的TRVOC量约等于硅胶中的含氢硅油和2%的乙烯基硅油。固化工序在密闭的烤箱中进行，废气经密闭的烟道收集后采用活性炭吸附装置吸附处理后经3#排气筒(25m高)排放。光刻与钝化工序TRVOC废气混合后排放，污染物甲苯与二甲苯合计、TRVOC排放浓度达到参考DB12/524-2020《工业企业挥发性有机物排放控制标准》表1中电子工业“电子元器件”制造标准。⑵无组织废气污染物生产车间采用排风系统加强通风换气，车间换气次数达每小时6次，无组织废气污染物(氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物和颗粒物)排放浓度满足DB52/864-2013《贵州省环境污染物排放标准》表4无组织排放标准，TRVOC (VOCs)满足GB37822-2019《挥发性有机物无组织排放控制标准》表A.1标准。无组织排放浓度低，对环境影响小。⑶废气污染物产排污统计废气污染物产排污统计见表21；废气产排污节点、污染物及污染防治设施信息见表22；项目有组织排放口基本情况见表23；大气污染源自行监测要求见表24。33表21废气污染物产排污统计一览表产污环节编号名称污染物产生速率(kg/h)产生浓度(mg/m3)治理措施排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)执行标准有组织废气污染物扩散前清蚀刻酸性废气及氨DA001废气排放口氟化物40通风橱收集(收集率90%)后，设置1套碱液喷淋塔处理后通过1#排气筒(25m高)排放，处理效率4500m3/h4物综合排放标准》二级氯化氢2310.09421硫酸雾2440.09922氮氧化物0.5834.9沟槽蚀刻氨0.0360.0030.6DB52/864-2013《贵州省环境污染物排放标准》表4二级标准喷砂粉尘DA002废气排放口粉尘0.4395设置1套集气罩收集后通过2#排气筒(25m高)排放，收集效率0.4395物综合排放标准》二级光刻有机废气DA003废气排放口甲苯与二甲苯合计0.0839通风橱收集(收集率90%)后，设置1套活性炭吸附装置处理后通过3#排气筒(25m高)排放，处理效率0.013.5DB12/524-2020《工业企业挥发性有机物排放控中电子工业“电子元器件”制造标准光刻TRVOC0.300.027.5钝化0.0010.530.0010.05无组织废气污染物////氟化物/0.02//0.02标准》表2无组织排放标准氯化氢/0.1//0.1硫酸雾///氮氧化物/0.1//0.1颗粒物/0.8//0.8氨/0.5//0.5DB52/864-2013《贵州省环境污染物排放标准》表4无组织排放标准TRVOC///30GB37822-2019《挥发性有机物无组织排放控制标34表22废气产排污节点、污染物及污染防治设施信息表序号对应产污环节名称污染物种类排放形式污染防治设施有组织排放口编号名称设置是否符合要求污染防治设施名称收集效率治理效率是否为可行技术1扩散前清洗、光刻前清洗、沟槽蚀刻物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、氨气组织无组织碱液喷淋塔90%90%是DA001是一般排放口2喷砂颗粒物组织无组织集气罩收集90%/是DA002是一般排放口3光刻、钝化甲苯与二甲苯合计、TRVOC组织无组织活性炭吸附装置90%97%是DA003是一般排放口表23项目有组织排放口基本情况一览表地理坐标温度(℃)DA001106°37′4843″、26°20′755″250220DA00218″、26°20′8.20″250.220DA001106°37′48.72″、26°20′6.94″250.220表24大气污染源自行监测要求序号源类别/监测点位监测内容监测设施手工监测采样方法及个数手工监测频次手工测定方法1废气DA001烟气流速，烟气温度氟化物自动非连续采样至1次/年大气固定污染源氟化物的测定离子选择电极法HJ/T67-20012废气DA001烟气流速，烟气温度氯化氢自动非连续采样至1次/年环境空气和废气氯化氢的测定离子色谱法HJ549-20163废气DA001烟气流速，烟气温度硫酸雾自动非连续采样至1次/年固定污染源废气硫酸雾测定离子色谱法(暂行)HJ544－20094废气DA001烟气流速，烟气温度氮氧化物自动非连续采样至1次/年环境空气氮氧化物(一氧化35序号源类别/监测点位监测内容监测设施手工监测采样方法及个数手工监测频次手工测定方法氮和二氧化氮)的测定盐酸479-20095废气DA001烟气流速，烟气温度自动非连续采样至1次/年空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法HJ533-20096废气DA002烟气流速，烟气温度颗粒物自动非连续采样至1次/年固定污染源排气中颗粒物测GB/T16157-19967废气DA003烟气流速，烟气温度自动非连续采样至1次/年环境空气苯系物的测定固体吸附/热脱附-气相色谱法HJ583-20108废气DA003烟气流速，烟气温度二甲苯自动非连续采样至1次/年环境空气苯系物的测定固体吸附/热脱附