区熔单晶基础知识课件_第1页
区熔单晶基础知识课件_第2页
区熔单晶基础知识课件_第3页
区熔单晶基础知识课件_第4页
区熔单晶基础知识课件_第5页
已阅读5页，还剩19页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

区熔单晶基础知识北京天能运通晶体技术有限公区熔单晶基础知识1区熔硅单晶生产工艺的优点区熔硅单晶工艺的优点:无污染,其产纯度高,杂质及氧碳含量低,电阻率高可用作大功率整流器各种规格的可控硅,探测器等器件区熔硅单晶生产工艺的优点2区熔单晶基础知识课件3区熔单晶基础知识课件4悬浮区熔工艺的设备、区熔炉的种类外热式区熔炉:因其高频加热时耦合松弛,功率损耗大,不易形成一个较窄的熔区,增大单晶直径受到限制等原因,现已被淘汰。悬浮区熔工艺的设备5区熔炉的种类2、内热式区熔炉1)内热料棒移动式区熔炉:因电器参数稳定,故障较小,高频屏蔽好,目前均采用此法。2)线圈移动式区熔炉电器参数不够稳定,故障较多,功率损耗较大,高频屏蔽困难。区熔炉的种类6内热式区熔炉的结构大体分为三个组成部分1、炉体部分:炉体、炉室、传动系统、水冷系统、润滑系统、真空系统和观察装置2、真空系统:机械泵、油扩散泵或分子泵;真空检测装置3、电控系统:高频炉、控制箱。内热式区熔炉的结构7区熔单晶基础知识课件8保护气体般采用氢气和氩气氢气:1是由于氢气是易燃易爆气体,比较危险2是氢气是有较大的扩散速度和很高的导热性拉出的单晶易脆,缺陷多,目前已被淘汰氩气:由于是惰性气体,导热率比氢气小7陪,单晶质量易于控制,所以被广泛使用※氩气纯度必须大于99999%,氧含量小于1×106ppM,露点-70C保护气体9频加热线圈的形式及其工作原理高频感应加热的优点二、感应加热线圈的形式三、加热线圈工作原理频加热线圈的形式及其工作原理10区熔单晶基础知识课件11区熔单晶基础知识课件12区熔单晶基础知识课件13区熔单晶基础知识课件14区熔单晶基础知识课件15区熔单晶基础知识课件16区熔单晶基础知识课件17区熔单晶基础知识课件18区熔单晶基础知识课件19区熔单晶基础知识课件20区熔单晶基础知识课件

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 辅导培训

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论