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SiO_xN_ySiN_x减反膜对双面PERCPERC太阳电池的效PERCSiO_xN_ySiN_xPERC单晶硅太阳电池效率提升的研究。通过实验测试，结合建模模拟和理论分析，探究了SiO_xN_ySiN_x减反_xN_ySN_x减反膜技术可有效提高太阳电池的电流和光电转换效率，同时膜层对光谱响应范围内的光吸收、反射和透射也具有重要作用。因此，_xN_ySN_x减C关键词：SiO_xN_ySiN_x减反膜；PERC太阳电池；双面太阳电池；随着全球环境污染和气候改变问题的日益加剧，太阳能作为一种清洁、可再生的能源正逐渐得到广泛应用和发展。在太阳电池领域，单晶硅太阳电池因其高效、稳定、耐用等优点，已经成为应用最为广泛的太CCC应用，以提高太阳电池的效率。SiO_xN_ySiN_x减反膜技术在双面PERC太阳电池中的应用PERCSiO_xN_ySiN_x减反膜应SiO_xN_ySiN_xPERC单晶硅太阳电池的影p200μm，表面经过蚀刻处理，同时在双面进行掺杂形成n+型层。实验采用PECVD技术，在p型硅片表面和n+型硅片背面生长了SiO_xN_ySiN_x膜，其中SiO_xN_ySiN_x30%:40%:30%100nm，成膜温250SiO_xN_ySiN_xPECVD处理，形成电池的金属电极，制成太阳电池。实验还制备了未生长SiO_xN_ySiN_x膜的IV测试、EQESiO_xN_ySiN_xPERC单晶硅太阳电池的电性能进行了测试。实验结果表明，与参照组相比，生长了SiO_xN_ySiN_x减反膜的双面PERC单晶硅太阳电SiO_xN_ySiN_x膜的正面转换效率由19.81%提高到了20.34%；电池背面转换效率由17.69%提高到了18.15%。图1为两组电池的IV曲线和EQE曲线的对比图，可以看出，在同一光照条件下，生长了SiO_xN_ySiN_x膜的电池的电流密度要明显高于对比组。1IVEQESiO_xN_ySiN_x减反膜对太阳电池电性能的影响，本文利用AFORS-HET模拟工具建立了SiO_xN_ySiN_x膜修饰的双面PERC单晶硅太阳电池模型。模拟结果显示，SiO_xN_ySiN_x膜的覆盖能射，从而增加太阳能的利用率。图2为SiO_xN_ySiN_x膜修饰的双面PERC太阳电池的模拟结果图。2SiO_xN_ySiN_xPERC_xN_ySN_xC单晶硅太阳电池中的应用进行理论分析。_xN_ySN_x减反膜的应用可以实现对太阳电池反射光的大幅度抑制，从而提高太阳电池的光电转换效率。同时，该膜材料对太阳光的吸收也具有很好的效果，能够增加背面的吸收效率，减少电池负载等因素对电池端电流的影响，最终有效提高太阳电池的效率。因此，_xN_ySN_xC单晶硅太阳电池中有很好的应用前景。SiO_xN_ySiN_xPERC单晶硅太阳电SiO_xN_ySiN_x膜技术，可以显著提高太阳电池的电流密度和光电转换效率。AFORS-HET建模模拟结果显示，SiO_xN_ySiN_x膜

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