Klayout使用教程课件

Klayout基本使用教程Klayout使用教程第一步百度搜索“Kalyout”OpticalNoteKlayout使用教程第二步进入官网点击“GetKalyout”OpticalNoteKlayout使用教程第三步根据自己的系统选择下载，我的windowsOpticalNoteKlayout使用教程如果官网下载速度慢，可以在其它网站下镜像，亲测发现第三个网站速度较快一些备用资源网站：OpticalNoteKlayout使用教程下载完成后，点击exe文件安装软件OpticalNoteKlayout使用教程安装完成后可以在开始菜单里面找到启动程序，有几个版本：默认模式(default)，可编辑模式(Editor)——可以修改版图阅览模式(viewer)——不可修改版图，只能用来阅览也可以通过安装目录点击“klayout_app.exe”打开OpticalNoteKlayout使用教程以可编辑模式(Editor)打开Klayout->File->NewLayout->如下窗口你可以选择你Technology文件，这个文件通常有Foundry（加工厂）提供，包括一些基本图层定义和参数；然后将最上层cell取名为Top。你可以任意取名。OpticalNoteKlayout使用教程基本的页面布局OpticalNoteKlayout使用教程关于版图基本说明Layer1Layer2Layer3半导体芯片上的任何形状图案都是通过下面的光刻过程实现的，光刻的图样就是通过遮光板来定义的，而遮光板的图案正是我们版图上要绘制的图案，所以芯片中每一个特定的材料层都需要一个特定的层来定义光刻图案。所以我们的版图需要很多图层来定义，不同的加工工序。Klayout中每一层Layer图案->遮光板图案->芯片光刻图案OpticalNoteKlayout使用教程关于版图基本说明如果我们要在二氧化硅上表面加工成左图所示的脊型波导结构图形，我们因该这样定义版图：SiliconSiO2SiliconSiliconSiO2Silicon对应layer0对应layer11um1um2um2umOpticalNoteKlayout使用教程版图绘制方法1、添加需要的图层：Edit->Layer->NewLayer需要填写的信息：Layer和Datatype，以及图层名字。其中关键的是Layer和Datatype，这两个数共同决定一个图层，只要有一个数不一样，那么它们都不是一个图层。一般来说，Layer用来表征同一加工目标，而Datatype表示同一加工目标中的不同加工步骤。例如我们的脊型波导：加工目标是“脊型波导”，而加工步骤包括两步：上面的窄脊区（layer0）和下面宽脊区（layer1）。所以我们分别定义图层为：1/0，1/1OpticalNoteKlayout使用教程版图绘制方法2、定义好图层后我们选择layer0绘图：点击layer0->Box->绘图，同理再选择图层layer1，绘制宽脊区，最终得到右图的结果。OpticalNoteKlayout使用教程版图绘制方法3、当然有时候我们又想实现更复杂单元如交叉结构。那么我们需要先定义两个更底层的Cell单元H和V，然后组成一个交叉结构CellName:HCellName:TopCellName:VOpticalNoteKlayout使用教程版图绘制方法3、创建名为V和Hcell：右键Top->NewCell->CellName:V，同理创建H。图中H为加粗黑色，表示你当前绘图板是绘制H这个Cell的内容，此时我们在途中绘制下图水平结构。OpticalNoteKlayout使用教程版图绘制方法4、右键V->ShowAsNowTop，这样可以把V这个cell中的内容显示在绘图区域，你可以增加或修改这个cell的内容。此时我们在途中绘制下图垂直结构。OpticalNoteKlayout使用教程版图绘制方法5、现在我们已经定义好了底层的Cell：H和V，此时右键Top->ShowAsNowTop，然后拖拽V和H到绘图区，就能实现两个的组合结构：交叉单元此时图中可能什么也看不到，此时你需要调高你的视野层，将途中数字1调至大于2的值OpticalNoteKlayout使用教程版图绘制方法5、现在我们已经定义好了底层的Cell：H和V，此时右键Top->ShowAsNowTop，然后拖拽V和H到绘图区，就能实现两个的组合结构：交叉单元OpticalNoteKlayout使用教程版图绘制方法6、实际上我们还可以把交叉单元作为基本单元继续调用：创建新的Cell：Sup_Top，然后拖拽交叉基本单元“Top”到绘图区，图中此时只有一个交叉结构，此时我们可以用快捷键：Ctrl+C,然后Ctrl+V，并移动交叉结构，就能看到多个同样的结构单元了。Ctrl+C复制时，有两种复制方式：一种是深度复制，产生单元互相独立另一种是浅复制，产生的单元完全相同，改其中一个，其他的也会跟着变。OpticalNoteKlayout使用教程总结：画版图和写程序一样，定义Cell的过程就等同于写程序定义函数，更复杂的Cell需要调用基本的Cell单元组成，更复杂的函数也是通过调用跟基本的函数来实现的。首先：定义最基本的单元