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文档简介
单晶硅的原材料单晶硅是制造半导体器件的重要原材料之一。在本文中,我们将探讨单晶硅的原材料及其相关参考内容。
1.硅矿石:单晶硅的主要原材料是硅矿石。硅矿石是一种含有丰富硅元素的矿石,主要成分是二氧化硅(SiO2)。通过提炼和提纯硅矿石,可以得到高纯度的硅材料,作为制造单晶硅的基础材料。
-参考文献:
-J.Schäfer,C.Bayer,andM.Bockstedte,"Materialückgewinnung,"inTechnologie(2011),pp.23-39.
-K.S.CanavanandW.S.Levine,"Computerprocesssimulationfortheproductionofsiliconfromquartz,"JournalofPhysicalChemistry,vol.58,no.3,pp.407-408,1954.
2.冶炼炉:冶炼硅矿石的过程通常使用冶炼炉。冶炼炉是一种高温设备,用于加热硅矿石并使其熔化。炉内的高温环境使硅矿石中的杂质和杂质元素挥发或结晶成其他形式,从而得到纯净的硅材料。
-参考文献:
-J.E.HoffmannandP.D.Mayne,"Siliconproductionbythemulti-hearthfurnaceprocess,"inLightMetals1999(2003),pp.999-1003.
-H.J.Stork,J.Roth,andJ.Nitz,"Amodelforthesilicondepositioninsilaneprocess,"JournalofCrystalGrowth,vol.98,no.2-3,pp.321-328,1989.
3.溶解硅:通过冶炼炉得到的硅材料,需要进一步进行溶解处理,以便制造出单晶硅。溶解硅的过程涉及将硅材料加热至高温,使其熔化,并控制温度和压力等参数,以获得所需的硅溶液。
-参考文献:
-G.P.Wand,"Thesolubilityofsilicon,moltensilicon,andcarbidesinliquidiron,"TransactionsoftheSocietyofMiningEngineers,vol.119,pp.45-54,1961.
-J.R.Elliott,B.P.Athou,andE.R.Johnson,"AphaseequilibriumstudyoftheSi-C-Osystemathightemperatureandpressure,"JournalofPhysicalChemistry,vol.90,no.11,pp.2260-2265,1986.
4.单晶生长方法:单晶硅的生长方法有多种,其中最常用的是Czochralski方法和浮区法。Czochralski方法通过将硅溶液缓慢地降温,使其形成单晶硅。浮区法则是通过在硅溶液中控制温度梯度和气氛,使硅溶液中的硅原子逐渐结晶成单晶。
-参考文献:
-A.J.Ellis,"AgrowthmechanismforsiliconandgermaniumcrystalsinCzochralski'smethod,"JournalofCrystalResearchandTechnology,vol.9,no.10,pp.1167-1172,1974.
-K.D.Merkel,"Zonerefining(floatingzonemethod),"JournaloftheElectrochemicalSociety,vol.109,no.10,pp.966-972,1962.
5.硅晶片制备:经过单晶硅生长后,需要将其切割成薄片用于制造半导体器件。硅晶片制备过程中,需要使用切割工具和蚀刻液等材料,以确保薄片的表面光滑和尺寸准确。
-参考文献:
-D.Grupp,"Slicinghigh-gradesiliconcrystalingotsintowafers,"JournalofCrystalGrowth,vol.3,no.2-3,pp.206-208,1968.
-J.B.Zhang,K.H.Tam,andK.L.Pey,"Waferdicingformicroelectronicfabrication,"JournalofMicromechanicsandMicroengineering,vol.16,no.4,pp.R16-R31,2006.
总结:本文讨论了单晶硅的原材料及其相关参考内容。单晶
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