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平面子孔径拼接的干涉测量研究的开题报告开题报告题目：平面子孔径拼接的干涉测量研究一、研究背景及意义随着现代技术的不断发展，干涉测量在工程领域中得到了广泛的应用，如光学工程、电子制造、机械加工等诸多领域。在干涉测量中，随着精度的提高和测量误差的降低，对于被测物体表面的精度和几何特征的要求也在不断提高。在实际生产中，为了满足工件表面测量精度的要求，往往需要使用具有够大孔径的干涉仪进行测量。但是，对于一些大型工件，使用单个大孔径的干涉仪进行测量存在一些困难，如成本较高、操作复杂等问题。此时，通过将多个小孔径干涉仪进行拼接，可以达到与单个大孔径干涉仪相同的测量精度，降低成本和提高操作便利性。因此，本课题旨在研究利用平面子孔径拼接的干涉仪实现工件表面的高精度测量，并寻求一种实用的技术方案和方法，对于提高工件表面精度和几何特征的测量具有一定的参考意义和实际应用价值。二、研究内容1.调研拼接干涉仪的国内外研究现状，了解拼接干涉仪的原理、特点及优缺点。2.设计一种基于平面子孔径拼接的干涉仪方案，包括光路设计、系统构造、控制系统等。3.建立干涉仪测量模型，进行系统误差分析，确定测量精度及影响因素。4.进行实验验证，分析拼接干涉仪与单个大孔径干涉仪的测量精度和几何特征差异。5.针对实验结果进行数据处理和分析，优化干涉仪参数，提高系统精度和稳定性。三、研究保障和技术路线1.实验室：母机器人导航实验室。2.实验设备：平面子孔径干涉仪、激光器、光学元件、控制系统等。3.技术路线：干涉仪的光路设计及实验验证，数据处理和分析。四、预期成果和创新点1.成功设计一种基于平面子孔径拼接的干涉仪，实现对工件表面高精度测量，并且与单个大孔径干涉仪相比，具有更低的成本和更高的操作便利性。2.建立了干涉仪测量模型，进行系统误差分析，确定了测量精度和影响因素。3.实验验证结果表明，平面子孔径拼接的干涉仪与单个大孔径干涉仪具有相同的测量精度和几何特征，但成本更低，操作更便利。4.论文发表，获得国家级和省级科技奖项。五、论文结构及进度安排1.绪论：研究背景、意义及国内外研究现状。2.干涉仪方案设计：光路设计、系统构造、控制系统等。3.干涉仪误差分析：建立干涉仪测量模型，进行系统误差分析，确定测量精度和影响因素。4.实验验证：进行实验验证，分析拼接干涉仪与单个大孔径干涉仪的测量精度和几何特征差异。5.数据处理和分析：针对实验结果进行数据处理和分析，优化干涉仪参数，提高系统精度和稳定性。6.结论与展望：总结研究成果，提出进一步研究展望。7.进度安排：2019年12月-2020年3月：确定研究方向、调研前沿研究现状、撰写开题报告。2020年4月-2020年8月：干涉仪方案的设计和制作、测量模型的建立。20

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