电子显微镜(3)课件

电子显微镜(3)第四章电子显微镜的主要图象电子显微分析1二次电子产额及二次电子像2背散射电子像3吸收电子像4X射线成分像5俄歇电子像6透射电子像2武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(1)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象3武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(2)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象A.二次电子产额（δ

）

二次电子信号主要来自样品表层5-10nm深度范围，因为只有在这个深度范围，由于入射电子激发而产生的二次电子，才具有足够的能量，克服材料表面的势垒，使二次电子从样品中发射出来。4武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(3)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象

入射电子能量E较低时，随束能增加二次电子产额δ增加，而在高束能区，δ随E增加而逐渐降低。原因是进入试样的深度…5武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(4)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象对于金属材料： Emax=100-800eV,δmax=0.35-1.6,非金属材料： Emax=300-2000eV,δmax=1-10。因此，如果仪器以检测二次电子为主要目的时，加速电压不宜过高（一般10－20KV）。

6武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(5)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象除了与入射能量有关外，δ还与二次电子束与试样表面法线之间的夹角有关，二者之间满足以下关系：

δ＝k/cosθδ：二次电子产额θ：电子束与试验表面法线之间的夹角k：比例常数

可见，入射电子束与试样夹角越大，二次电子产额也越大。7武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(6)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象产生上述规律的原因：随θ角的增加,入射电子束在样品表层范围内运动的总轨迹增长，引起价电子电离的机会增多，产生二次电子数量就增加；其次，是随着θ角增大，入射电子束作用体积更靠近表面层，作用体积内产生的大量自由电子离开表层的机会增多，从而二次电子的产额增大。8武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(7)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象9武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(8)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象10武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(9)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象B二次电子图象11武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(10)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象

通过一定的方式控制电子束，在样品表面的一个微小区域，逐点轰击样品，二次电子接收器（探测器）也相应地逐点收集。把以上收集到的信号转化成图像的方式，即得到二次电子像－－形貌像。收集到信号多时，形貌像上表现为亮度大，否则为阴影。12武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(11)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象Animageofthebrokensurfaceofapieceofmetal,formedusingsecondaryelectronimaging.13武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(12)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象Animageofthemesh,formedusingsecondaryelectronimaging.Magnification:310,00014武汉理工大学资环学院管俊芳(a)Scanningelectronmicroscopeimageno.1:kaolinitestackswithbrokenedges.(b)Scanningelectronmicroscopeimageno.2:rolledkaolinitelayersandpseudohexagonalplatelets.(c)Scanningelectronmicroscopeimageno.3:brokenedgesofthekaoliniteplateletsanddisorderingofthekaoliniteparticlesize.15武汉理工大学资环学院管俊芳16武汉理工大学资环学院管俊芳HS1-4蠕虫状高岭石的（局部放大）17武汉理工大学资环学院管俊芳HS1-6蠕虫状高岭石的（局部放大）18武汉理工大学资环学院管俊芳19武汉理工大学资环学院管俊芳20武汉理工大学资环学院管俊芳A累托石形貌(×5000倍)B锆基柱撑累托石形貌(×5000倍)21武汉理工大学资环学院管俊芳A扫描电镜下蒙脱石形貌（×6000倍）B扫描电镜下锆基柱撑蒙脱石形貌（×6000倍）22武汉理工大学资环学院管俊芳Fig.2.SEMmicrographsoftheCMtalcshowingpuckeringofextremelythin,possibly1–2unitcellthickness,flexiblesheets.Alargeamountofvoidinterlamellarspaceimpliesveryhigheffectiveporosity.23武汉理工大学资环学院管俊芳Fig.3.SEMmicrographsofungroundCMtalc(a)andCMgroundtalc(b)samples.24武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(13)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象SEMimageofan'uglybug'(alouseflyofanalpinebird,thewallglider)formedbythesecondaryelectronsemittedfromthespecimen'ssurface.

25武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(14)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象SEMimageofthediamond,

26武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(15)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象AnSEMviewofsaltcrystals(NaCl)

27武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(16)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象断面的疲劳筋，放大倍数5000。二次电子图像28武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(17)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象氮化钛晶体，放大倍数5000，二次电子像29武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(18)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象不良的IC零部件，放大倍数×750二次电子图像30武汉理工大学资环学院管俊芳31武汉理工大学资环学院管俊芳32武汉理工大学资环学院管俊芳33武汉理工大学资环学院管俊芳34武汉理工大学资环学院管俊芳1二次电子产额及二次电子像(19)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象二次电子像的优点：（1）分辨率高,最高可达60A；（2）放大倍数灵活，几十到10万可调（3）景深大，是光学显微镜的几百倍，所以 立体感强（4）反差对比度好，图象细节清楚（5）可以与成分分布状态结合观察（后述）35武汉理工大学资环学院管俊芳2背散射电子像(1)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象背散射电子信号随原子序数Z的增大而明显地增多，因此其图像可以反映物质的成分信息。用专门的背散射信号探测装置（可检测的电子能量较高），可以探测背散射电子信息。形成图象的过程与二次电子相似。36武汉理工大学资环学院管俊芳2背散射电子像(2)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象样品中原子序数较高的区域，由于可收集到的电子数量较多，故显示荧光屏上的图像较亮。因此，利用原子序数造成的衬度变化可以对样品中的元素进行定性分析。样品中重元素区域在图像上是亮区，而轻元素在图像上是暗区。此处的定性分析无法定出元素的种类，只能知道元素的相对原子序数大小。37武汉理工大学资环学院管俊芳2背散射电子像(3)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象背散射信号也可以反映一些形貌信息，但其分辨率远比二次电子低。因为背反射电子时来自一个较大的作用体积。此外，背反射电子能量较高，它们以直线轨迹逸出样品表面，对于背向检测器的样品表面，因检测器无法收集到背反射电子而变成一片阴影，因此其图像上很多的形貌信息无法反映出来。38武汉理工大学资环学院管俊芳2背散射电子像(4)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象由于背散射电子离开样品表面后沿着直线运动，检测到的背反射电子信号远比二次电子信号弱，所以粗糙表面的原子序数衬度往往会被形貌衬度所掩盖。为了避免形貌衬度对原子衬度的干扰，被分析的样品必须进行抛光处理。39武汉理工大学资环学院管俊芳2背散射电子像(5)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象(左)二次电子像(右)背散射电子像

40武汉理工大学资环学院管俊芳2背散射电子像(6)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象(左)二次电子像(右)背散射电子像

41武汉理工大学资环学院管俊芳3吸收电子像(1)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象

吸收电子也是对样品中原子序数敏感的一种物理信号。由入射电子束于样品的相互作用可知：iI=iB+iA+iT+iS当样品厚度足够大时，透射电子电流为零，这时iI=iB+iA+iS。由于二次电子信号与原子序数基本无关，则吸收电子电流为：iA=(iI-C)–iB，因此可以认为：吸收电流与背散射电流存在互补关系。42武汉理工大学资环学院管俊芳3吸收电子像(2)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象(左)背散射电子像(右)吸收电子像

43武汉理工大学资环学院管俊芳4X射线成分像(1)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象利用测定X射线的专门装置（波谱仪或者能谱仪），只收集在电子束的照射下，某一种或者几种元素产生的特征X射线，亦可以得到某一种或几种元素在平面上的分布情况。成像原理与前述的二次电子、背散射电子等相似。44武汉理工大学资环学院管俊芳5俄歇电子像

(1)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象亦可探测俄歇电子信号（根据其特征的能量），获得俄歇电子图像。利用俄歇图像和电子显微图像相比较，亦可得到元素分布与表面形貌的相关性。

45武汉理工大学资环学院管俊芳5俄歇电子像

(2)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象如图为某半导体元件的俄歇电子图（左为氧、右为金）。46武汉理工大学资环学院管俊芳6透射电子像(1)电子显微分析第四章电子显微镜的主要图象透射过样品的电子亦可以成像，但成像的机理很复杂。由于电子的波动性，使得穿过样品的电子波亦会由于晶体中的原子排列规律，而干涉得到晶格条纹像（反映物质的总体原子排列规律），或者更进一步地，会产生电子衍射，得到衍射花纹。电子的衍射