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文档简介
21/24超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化研究第一部分洁净室设计标准综述 2第二部分超净工作台洁净室设计标准 5第三部分超净工作台洁净室施工标准 7第四部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究意义 9第五部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究现状 10第六部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究方法 13第七部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究内容 14第八部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究结果 17第九部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究结论 19第十部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究展望 21
第一部分洁净室设计标准综述洁净室设计标准综述
#1.ISO标准
ISO标准是国际标准化组织制定的国际标准,也是洁净室设计和施工的国际通用标准。ISO14644系列标准是洁净室领域最权威的标准,对洁净室的定义、分类、设计、施工、维护等方面进行了详细的规定。
ISO14644-1:2015《洁净室和相关受控环境——第1部分:术语和定义》规定了洁净室和相关受控环境的术语和定义,包括洁净室、洁净区、受控环境等基本概念。
ISO14644-2:2019《洁净室和相关受控环境——第2部分:洁净室分类》规定了洁净室的分类方法和等级划分,包括ISO1级、ISO2级、ISO3级、ISO4级、ISO5级、ISO6级、ISO7级、ISO8级和ISO9级。
ISO14644-3:2005《洁净室和相关受控环境——第3部分:洁净室设计、施工和运行验收》规定了洁净室的设计、施工和运行验收要求,包括洁净室的布局、材料、结构、设施设备、工艺流程等方面的内容。
ISO14644-4:2001《洁净室和相关受控环境——第4部分:运行监控》规定了洁净室运行监控的要求,包括洁净室的温湿度、压差、风速、粒子浓度、微生物浓度等参数的监测方法和控制要求。
ISO14644-5:2004《洁净室和相关受控环境——第5部分:性能验证》规定了洁净室性能验证的要求,包括洁净室的洁净度、均匀性、气流模式、压差、温湿度、噪音等参数的验证方法和合格标准。
#2.中国标准
中国标准是国家标准化管理委员会制定的国家标准,也是洁净室设计和施工的国家通用标准。GB/T16290系列标准是洁净室领域最权威的标准,对洁净室的定义、分类、设计、施工、维护等方面进行了详细的规定。
GB/T16290-2008《洁净室和相关受控环境——第1部分:术语和定义》规定了洁净室和相关受控环境的术语和定义,包括洁净室、洁净区、受控环境等基本概念。
GB/T16290-2008《洁净室和相关受控环境——第2部分:洁净室分类》规定了洁净室的分类方法和等级划分,包括ISO1级、ISO2级、ISO3级、ISO4级、ISO5级、ISO6级、ISO7级、ISO8级和ISO9级。
GB/T16290-2008《洁净室和相关受控环境——第3部分:洁净室设计、施工和运行验收》规定了洁净室的设计、施工和运行验收要求,包括洁净室的布局、材料、结构、设施设备、工艺流程等方面的内容。
GB/T16290-2008《洁净室和相关受控环境——第4部分:运行监控》规定了洁净室运行监控的要求,包括洁净室的温湿度、压差、风速、粒子浓度、微生物浓度等参数的监测方法和控制要求。
GB/T16290-2008《洁净室和相关受控环境——第5部分:性能验证》规定了洁净室性能验证的要求,包括洁净室的洁净度、均匀性、气流模式、压差、温湿度、噪音等参数的验证方法和合格标准。
#3.美国标准
美国标准是美国国家标准协会制定的国家标准,也是洁净室设计和施工的国家通用标准。ANSI/ASHRAE110系列标准是洁净室领域最权威的标准,对洁净室的定义、分类、设计、施工、维护等方面进行了详细的规定。
ANSI/ASHRAE110-1995《洁净室和相关受控环境——第1部分:术语和定义》规定了洁净室和相关受控环境的术语和定义,包括洁净室、洁净区、受控环境等基本概念。
ANSI/ASHRAE110-1995《洁净室和相关受控环境——第2部分:洁净室分类》规定了洁净室的分类方法和等级划分,包括ISO1级、ISO2级、ISO3级、ISO4级、ISO5级、ISO6级、ISO7级、ISO8级和ISO9级。
ANSI/ASHRAE110-1995《洁净室和相关受控环境——第3部分:洁净室设计、施工和运行验收》规定了洁净室的设计、施工和运行验收要求,包括洁净室的布局、材料、结构、设施设备、工艺流程等方面的内容。
ANSI/ASHRAE110-1995《洁净室和相关受控环境——第4部分:运行监控》规定了洁净室运行监控的要求,包括洁净室的温湿度、压差、风速、粒子浓度、微生物浓度等参数的监测方法和控制要求。
ANSI/ASHRAE110-1995《洁净室和相关受控环境——第5部分:性能验证》规定了洁净室性能验证的要求,包括洁净室的洁净度、均匀性、气流模式、压差、温湿度、噪音等参数的验证方法和合格标准。第二部分超净工作台洁净室设计标准#超净工作台洁净室设计标准
超净工作台洁净室设计标准是一套严格的规范,旨在确保洁净室环境达到并维持所需的洁净度水平。这些标准涵盖了洁净室的各个方面,包括建筑结构、送风系统、过滤系统、温湿度控制、照明系统和人员防护措施等。
建筑结构
洁净室建筑结构应采用轻质、高强、耐腐蚀的材料,并采用无缝隙的连接方式,以防止灰尘、微粒和细菌的泄漏。洁净室的墙面、地面和天花板应平整、光滑,易于清洁和消毒。
送风系统
洁净室的送风系统应采用层流送风方式,即从洁净室顶部送入洁净空气,并从底部排出污染空气。送风系统的风量、风速和风压应根据洁净室的洁净度等级和使用要求合理设计,以确保洁净室内的空气洁净度达到标准。
过滤系统
洁净室的过滤系统是确保洁净度水平的关键环节。洁净室的过滤系统一般分为粗效过滤器、中效过滤器和高效过滤器三级。粗效过滤器用于去除空气中的大颗粒灰尘;中效过滤器用于去除空气中的中颗粒灰尘;高效过滤器用于去除空气中的细颗粒灰尘、微生物和细菌。
温湿度控制
洁净室的温湿度应保持在适当的范围内,以保证洁净室内的生产或实验活动正常进行。洁净室的温湿度控制系统应采用先进的控制技术,并配备可靠的温湿度传感器,以确保洁净室内的温湿度始终处于设定的范围内。
照明系统
洁净室的照明系统应采用无眩光、无频闪的照明灯具,并应配备合理的照明强度和照度均匀度。照明系统应与洁净室的送风系统协调工作,以避免产生气流干扰和污染。
人员防护措施
进入洁净室的人员必须遵守严格的人员防护措施,包括穿戴无尘服、口罩、手套和鞋套等。洁净室应配备更衣室、淋浴间和消毒间等设施,以确保人员进入洁净室前能够进行彻底的清洁和消毒。
其他要求
除了上述标准外,洁净室的设计还应满足以下要求:
*洁净室应与外界环境隔离,并应配备可靠的进出通道控制系统。
*洁净室应配备必要的安全设施,包括火灾报警系统、灭火系统和应急照明系统等。
*洁净室应配备必要的监控系统,以实时监测洁净室内的环境参数,并及时发现和处理异常情况。
结论
超净工作台洁净室设计标准是一套严格的规范,旨在确保洁净室环境达到并维持所需的洁净度水平。这些标准涵盖了洁净室的各个方面,包括建筑结构、送风系统、过滤系统、温湿度控制、照明系统和人员防护措施等。第三部分超净工作台洁净室施工标准#超净工作台洁净室施工标准
1.施工准备
1.1施工人员培训:所有参与超净工作台洁净室施工人员必须接受专业培训,包括洁净室施工规范、安全操作规程等。
1.2施工材料检查:对施工材料进行严格检查,确保其符合设计要求和质量标准。
1.3施工现场准备:对施工现场进行全面清理,确保无杂物、灰尘等污染物。
2.主体工程施工
2.1土建工程:严格按照设计要求进行土建工程施工,包括墙体、地面、吊顶等。
2.2设备安装:按照设计要求安装超净工作台、空调系统、净化系统等设备。
2.3管道安装:按照设计要求安装风管、水管、电管等管道。
2.4电气安装:按照设计要求安装照明系统、动力系统、控制系统等电气设施。
3.洁净室装修
3.1墙面装修:采用洁净室专用墙面材料,确保其表面光滑、无缝隙。
3.2地面装修:采用洁净室专用地面材料,确保其表面平整、无缝隙。
3.3吊顶装修:采用洁净室专用吊顶材料,确保其表面光滑、无缝隙。
3.4门窗安装:采用洁净室专用门窗,确保其密封性良好。
4.洁净室系统调试
4.1空调系统调试:对空调系统进行全面调试,确保其能够正常运行,达到设计要求。
4.2净化系统调试:对净化系统进行全面调试,确保其能够正常运行,达到设计要求。
4.3电气系统调试:对电气系统进行全面调试,确保其能够正常运行,达到设计要求。
5.洁净室验收
5.1洁净室验收:对洁净室进行全面验收,包括土建工程、设备安装、管道安装、电气安装、洁净室装修等方面。
5.2洁净室检测:对洁净室进行全面检测,包括温湿度、风速、压差、洁净度等方面。
5.3洁净室验收报告:根据洁净室验收和检测结果,出具洁净室验收报告。
6.洁净室维护
6.1日常维护:对洁净室进行日常维护,包括清洁、消毒、保养等。
6.2定期维护:对洁净室进行定期维护,包括设备检修、管道清洗、电气检修等。
6.3应急维护:对洁净室进行应急维护,包括突发事件处置、故障排除等。第四部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究意义超净工作台洁净室设计与施工标准化研究意义
1.质量保障
超净工作台洁净室是用于生产高精度、高可靠性产品的特殊场所,其设计与施工质量对产品质量有直接影响。标准化与规范化的设计与施工能够确保超净工作台洁净室的质量,避免由于设计或施工不当而导致产品质量问题。
2.成本控制
超净工作台洁净室的建设成本较高,标准化与规范化的设计与施工可以有效控制成本。通过采用标准化的设计方案和施工工艺,可以减少设计和施工的重复劳动,提高施工效率,降低成本。
3.工期缩短
标准化与规范化的设计与施工可以缩短超净工作台洁净室的建设工期。通过采用标准化的设计方案和施工工艺,可以减少设计和施工的协调工作,提高施工效率,缩短工期。
4.安全保障
超净工作台洁净室的建设涉及到电气、机械、建筑等多个专业,标准化与规范化的设计与施工可以确保超净工作台洁净室的安全性。通过采用标准化的设计方案和施工工艺,可以减少设计和施工中的错误,提高施工质量,确保超净工作台洁净室的安全性。
5.可持续发展
超净工作台洁净室的建设需要消耗大量的能源和资源,标准化与规范化的设计与施工可以减少能源和资源的消耗,实现可持续发展。通过采用标准化的设计方案和施工工艺,可以提高超净工作台洁净室的能源效率,减少资源消耗,实现可持续发展。
6.行业发展
超净工作台洁净室的建设是高科技产业发展的重要基础,标准化与规范化的设计与施工可以促进超净工作台洁净室行业的发展。通过采用标准化的设计方案和施工工艺,可以提高超净工作台洁净室的质量、缩短工期、降低成本,提高超净工作台洁净室行业的发展速度。
总结
超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化研究具有重要的意义。标准化与规范化的设计与施工可以确保超净工作台洁净室的质量、成本、工期和安全,促进超净工作台洁净室行业的发展。第五部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究现状#超净工作台洁净室设计与施工标准化研究现状
1.国际标准与规范
#1.1国际标准化组织(ISO)
ISO发布了多项与超净工作台洁净室设计与施工相关的标准,其中包括:
-ISO14644-1:2015《洁净室和受控环境——第1部分:洁净室设计、施工和运行》
-ISO14644-2:2015《洁净室和受控环境——第2部分:洁净室测试方法》
-ISO14644-3:2005《洁净室和受控环境——第3部分:测试方法》
-ISO14644-4:2001《洁净室和受控环境——第4部分:设计、施工和运行指南》
这些标准对超净工作台洁净室的设计、施工和运行提出了详细的要求。
#1.2美国联邦标准209E
美国联邦标准209E《洁净室和受控环境》于1992年发布,是美国政府机构用于指导洁净室设计、施工和运行的标准。该标准对洁净室的等级、设计、施工、测试和运行等方面提出了详细的要求。
2.中国标准与规范
#2.1国家标准GB50073-2008《洁净室施工规范》
GB50073-2008《洁净室施工规范》于2008年发布,是中国的国家标准。该标准对洁净室的施工工艺、质量控制、验收标准等方面提出了详细的要求。
#2.2行业标准《洁净室设计规范》(GB/T16290-2006)
《洁净室设计规范》(GB/T16290-2006)于2006年发布,是中国的行业标准。该标准对洁净室的设计原则、设计内容、设计方法等方面提出了详细的要求。
3.研究现状
近年来,随着超净工作台洁净室在各领域的广泛应用,对其设计与施工的标准化与规范化研究也得到了广泛关注。国内外学者开展了大量研究,取得了许多成果。
#3.1超净工作台洁净室设计标准化研究
国内外学者对超净工作台洁净室设计标准化进行了广泛的研究,提出了多种设计方法和技术。例如,有学者提出了基于CFD(计算流体力学)模拟的超净工作台洁净室设计方法,可以对超净工作台洁净室的空气分布、温度分布、压力分布等进行模拟,并以此优化超净工作台洁净室的设计。
#3.2超净工作台洁净室施工标准化研究
国内外学者也对超净工作台洁净室施工标准化进行了广泛的研究,提出了多种施工工艺和技术。例如,有学者提出了基于预制装配技术的超净工作台洁净室施工工艺,可以大大缩短施工周期,提高施工质量。
4.结论
超净工作台洁净室设计与施工的标准化与规范化研究取得了广泛的成果,为超净工作台洁净室的建设和运行提供了重要的指导。随着超净工作台洁净室在各领域的广泛应用,对其设计与施工的标准化与规范化研究还将进一步深入,以满足不同行业、不同领域的需求。第六部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究方法超净工作台洁净室设计与施工标准化研究方法
1.确定研究目标和范围
明确研究的目标和范围,包括超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化的内涵、外延、研究目的和意义,以及研究内容和边界。
2.文献综述与调研
全面查阅国内外相关文献,了解超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化的现状,分析存在的问题和不足,总结国内外先进经验和做法,为研究提供理论基础和实践参考。
3.制定标准化与规范化指标体系
根据超净工作台洁净室的设计与施工特点和要求,建立标准化与规范化指标体系,包括设计指标、施工指标、验收指标等,为超净工作台洁净室设计与施工提供统一的标准和规范。
4.建立标准化与规范化管理体系
建立超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化管理体系,包括组织架构、职责分工、管理制度、工作流程等,确保超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化要求得到有效落实。
5.开展标准化与规范化培训
对超净工作台洁净室的设计、施工人员进行标准化与规范化培训,提高其专业知识和技能水平,确保超净工作台洁净室设计与施工质量。
6.编制标准化与规范化文件
编制超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化文件,包括设计规范、施工规范、验收规范等,为超净工作台洁净室设计与施工提供详细的指导和依据。
7.开展标准化与规范化监督检查
定期开展超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化监督检查,及时发现和纠正问题,确保超净工作台洁净室设计与施工质量。
8.建立标准化与规范化奖惩机制
建立超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化奖惩机制,对遵守标准化与规范化的单位和个人给予奖励,对违反标准化与规范化的单位和个人给予处罚,促进超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化工作的顺利开展。第七部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究内容超净工作台洁净室设计与施工标准化研究内容
#1.洁净室的概念与分类
洁净室是指通过控制其内部环境污染程度,使之达到规定的洁净度级别的房间。根据洁净度级别,洁净室可分为十个等级:1-9级和S1-S2级。其中,1-9级洁净室适用于电子、制药、生物制品、医疗器械等行业的生产和研究;S1-S2级洁净室适用于微电子、精密仪器、航空航天等行业的高精尖产品的生产和研究。
#2.超净工作台的概念与功能
超净工作台是一种洁净室设备,用于在工作区域内提供高洁净度的环境。超净工作台由风机、过滤器、工作台面和控制系统等组成。风机将空气吸入工作台内,经过过滤器过滤后,将洁净的空气送入工作台面。工作台面上的物品受到洁净空气的吹拂,从而达到清洁的目的。
#3.超净工作台洁净室设计与施工标准化研究内容
超净工作台洁净室设计与施工标准化研究内容主要包括以下几个方面:
(1)超净工作台洁净室的选址与布局
超净工作台洁净室应选址在远离污染源、振动源和噪音源的地方。洁净室的布局应合理,以便于人员和物料的流动,并应避免交叉污染。
(2)超净工作台洁净室的结构与装修
超净工作台洁净室的结构应采用轻钢龙骨或钢筋混凝土框架结构。洁净室的装修应采用洁净材料,如无菌板、防尘涂料等。
(3)超净工作台洁净室的供风系统
超净工作台洁净室的供风系统应采用全空气系统或混合空气系统。全空气系统是指全部采用洁净空气送入洁净室,而混合空气系统是指将部分洁净空气与部分回风混合后送入洁净室。
(4)超净工作台洁净室的排风系统
超净工作台洁净室的排风系统应采用局部排风系统和全面排风系统相结合的方式。局部排风系统是指在产生污染的部位安装排风罩,将污染物直接排出室外。全面排风系统是指在洁净室的各个部位安装排风口,将洁净室内的空气排出室外。
(5)超净工作台洁净室的温湿度控制系统
超净工作台洁净室的温湿度控制系统应采用集中式或分散式控制系统。集中式控制系统是指将洁净室内的温湿度控制装置集中在一个地方,而分散式控制系统是指将洁净室内的温湿度控制装置分散在各个房间。
(6)超净工作台洁净室的照明系统
超净工作台洁净室的照明系统应采用无影灯或防眩光灯。无影灯是指能消除物体阴影的灯具,而防眩光灯是指能防止眩光产生的灯具。
(7)超净工作台洁净室的噪声控制
超净工作台洁净室的噪声控制应采用隔声材料、吸声材料和消声器等措施。隔声材料是指能阻隔声音传播的材料,吸声材料是指能吸收声音能量的材料,而消声器是指能降低声音强度的装置。
#4.超净工作台洁净室设计与施工标准化研究的意义
超净工作台洁净室设计与施工标准化研究具有以下几个意义:
(1)提高洁净室的建设效率和质量
标准化的设计和施工可以提高洁净室的建设效率和质量,并减少建设成本。
(2)确保洁净室满足使用要求
标准化的设计和施工可以确保洁净室满足使用要求,并避免出现质量问题。
(3)便于洁净室的维护和管理
标准化的设计和施工可以便于洁净室的维护和管理,并降低维护成本。
(4)促进洁净室行业的健康发展
标准化的设计和施工可以促进洁净室行业的健康发展,并提高洁净室行业的整体水平。第八部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究结果超净工作台洁净室设计与施工标准化研究结果
#1.超净工作台洁净室设计标准化
超净工作台洁净室设计标准化主要包括以下内容:
*确定洁净室等级:根据洁净室的用途和要求,确定洁净室等级,通常洁净室等级分为1级、10级、100级、1000级等。
*确定洁净室面积:根据洁净室的使用人数、设备数量和工艺流程,确定洁净室面积。
*确定洁净室布局:根据洁净室的用途和要求,确定洁净室的布局,包括洁净区、准洁净区和辅助区。
*确定洁净室的送风方式和风速:根据洁净室等级和使用要求,确定洁净室的送风方式和风速。
*确定洁净室的温湿度要求:根据洁净室的使用要求,确定洁净室的温湿度要求。
*确定洁净室的照明要求:根据洁净室的使用要求,确定洁净室的照明要求。
*确定洁净室的噪音要求:根据洁净室的使用要求,确定洁净室的噪音要求。
#2.超净工作台洁净室施工标准化
超净工作台洁净室施工标准化主要包括以下内容:
*施工图纸编制:根据洁净室设计方案,编制施工图纸,包括平面图、立面图、剖面图、节点图等。
*材料选择:根据洁净室的要求,选择符合标准的材料,包括洁净板、吊顶、地板、门窗等。
*施工工艺:按照施工图纸和施工规范,进行施工,包括土建施工、机电施工、洁净装饰施工等。
*验收标准:根据洁净室的等级和使用要求,制定验收标准,包括送风量、风速、温度、湿度、洁净度、噪音等。
#3.超净工作台洁净室设计与施工标准化的意义
超净工作台洁净室设计与施工标准化具有以下意义:
*保证洁净室的质量:标准化的设计和施工,可以保证洁净室的质量,满足洁净室的使用要求。
*提高洁净室的施工效率:标准化的设计和施工,可以提高洁净室的施工效率,缩短施工周期。
*降低洁净室的施工成本:标准化的设计和施工,可以降低洁净室的施工成本,提高洁净室的性价比。
*促进洁净室行业的发展:标准化的设计和施工,可以促进洁净室行业的发展,提高洁净室行业的整体水平。第九部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究结论超净工作台洁净室设计与施工标准化研究结论
一、超净工作台洁净室设计标准化研究结论
1.超净工作台洁净室设计应遵循以下原则:
*洁净度原则:洁净室洁净度等级应根据生产工艺要求确定,并应符合相关标准的要求。
*气流组织原则:洁净室气流组织应合理,以确保洁净区内的洁净度和防止交叉污染。
*材料选择原则:洁净室材料应具有良好的耐腐蚀性、耐磨性、易清洁性和防火性。
*施工工艺原则:洁净室施工工艺应严格按照设计要求进行,以确保施工质量和洁净室的性能。
2.超净工作台洁净室设计应包括以下内容:
*洁净室平面布置:应根据生产工艺流程和设备布置情况确定洁净室的平面布置。
*洁净室气流组织:应根据洁净室洁净度等级要求和生产工艺特点确定洁净室的气流组织方式。
*洁净室材料选择:应根据洁净室洁净度等级要求、生产工艺特点和施工条件选择洁净室材料。
*洁净室施工工艺:应根据洁净室材料和洁净室气流组织方式确定洁净室的施工工艺。
二、超净工作台洁净室施工标准化研究结论
1.超净工作台洁净室施工应遵循以下原则:
*质量第一原则:洁净室施工应以质量为第一要务,严格按照设计要求和施工规范进行施工。
*安全第一原则:洁净室施工应以安全为第一要务,严格遵守安全生产规定,确保施工人员和施工现场的安全。
*文明施工原则:洁净室施工应以文明施工为目标,严格遵守文明施工规定,保持施工现场的整洁和有序。
2.超净工作台洁净室施工应包括以下内容:
*施工准备:应根据设计要求和施工规范进行施工准备工作,包括施工人员培训、施工材料准备、施工设备准备和施工现场准备等。
*施工过程:应严格按照设计要求和施工规范进行施工,并对施工过程进行质量控制和监督。
*施工验收:应根据设计要求和施工规范对竣工的洁净室进行验收,并形成验收报告。
三、超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化研究的意义
超净工作台洁净室设计与施工标准化与规范化研究具有以下意义:
1.提高洁净室设计与施工质量,确保洁净室能够满足生产工艺要求。
2.降低洁净室设计与施工成本,缩短洁净室建设周期。
3.提高洁净室管理水平,延长洁净室的使用寿命。
4.为洁净室设计与施工提供技术指导和规范依据。
5.促进洁净室行业的发展,提升洁净室技术水平。第十部分超净工作台洁净室设计与施工标准化研究展望一、超净工作台洁净室设计标准化研究展望
1.洁净室分级标准的统一化
目前,我国对于洁净室的分级标准还没有统一的规定,这给超净工作台洁净室的设计带来了很大的困难。因此,有必要制定一个统一的洁净室分级标准,以便于超净工作台洁净室的设计人员能够按照统一的标准进行设计。
2.洁净室设计规范的细化
我国现有的洁净室设计规范还比较粗略,没有对一些细节问题做出明确的规定。这给超净工作台洁净室的设计人员带来了很大的自由度,也导致了超净工作台洁净室的设计质量参差不齐。因此,有必要对现有的洁净室设计规范进行细化,以便于超净工作台洁净室的设计人员能够按照统一的规范进行设计。
3.洁净室设计软件的开发
随着计算机技术的不断发展
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