(高清版)GBT 42837-2023 微波半导体集成电路 放大器

微波半导体集成电路放大器2023-08-06发布国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会I本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中华人民共和国工业和信息化部提出。本文件由全国半导体器件标准化技术委员会(SAC/TC78)归口。本文件起草单位：中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、深圳微步信息股份有限公司、杭州电子科技大学、中国电子科技集团公司第五十五研究所、广东省中绍宣标准化技术研究院有限公司、成都亚光电子股份有限公司、惠州市睿鼎电子科技有限公司、青岛金汇源电子有限公司、中国电子科技集团公司第三十八研究所、中国航天科工集团第三十五研究所。1微波半导体集成电路放大器本文件适用于采用半导体集成电路工艺设计制造放大器的设计、制造、采购和验收。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于GB/T4589.1半导体器件第10部分：分立器件和集成电路总规范GB/T4937.3半导体器件机械和气候试验方法第3部分：外部目检GB/T4937.4半导体器件机械和气候试验方法第4部分：强加速稳态湿热试验(HAST)GB/T4937.11半导体器件机械和气候试验方法第11部分：快速温度变化双液槽法GB/T4937.13半导体器件机械和气候试验方法第13部分：盐雾GB/T4937.14半导体器件机械和气候试验方法第14部分：引出端强度(引线牢固性)GB/T4937.15半导体器件机械和气候试验方法第15部分：通孔安装器件的耐焊接热GB/T4937.21半导体器件机械和气候试验方法第21部分：可焊性GB/T4937.23半导体器件机械和气候试验方法第23部分：高温工作寿命GB/T4937.26半导体器件机械和气候试验方法第26部分：静电放电(ESD)敏感度测试人体模型(HBM)GB/T4937.27半导体器件机械和气候试验方法第27部分：静电放电(ESD)敏感度测试机器模型(MM)GB/T9178集成电路术语GB/T12750半导体器件集成电路第11部分：半导体集成电路分规范(不包括混合电路)GB/T19403.1半导体器件集成电路第11部分：第1篇：半导体集成电路内部目检(不包括混合电路)GB/T20870.1—2007半导体器件第16-1部分：微波集成电路放大器SJ/T10147集成电路防静电包装管SJ/T11587—2016电子产品防静电包装技术要求IEC60749-6半导体器件机械和气候试验方法第6部分：高温贮存(Semiconductordevices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part6:Storageathightemperature)IEC60749-8半导体器件机械和气候试验方法第8部分：密封(Semiconductordevices—Me-chanicalandclimatictestmetIEC60749-9半导体器件机械和气候试验方法第9部分：标志耐久性(Semiconductordevices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part9:Permanenceofmarking)IEC60749-24半导体器件机械和气候试验方法第24部分：加速耐湿无偏置强加速应力试验2(Semiconductordevices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part24:Acceleratedmoistureresist-IEC60749-36半导体器件机械和气候试验方法第36部分：稳态加速度(Semiconductorde-vices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part36:Acceleration,steadyGB/T9178和GB/T20870.1—2007界定的术语和定义适用于本文件。4分类a)A型：低噪声放大器，该器件是对微弱的微波信号进行放大且在放大过程中引入低附加噪声的b)B型：自动增益控制放大器，该器件是当输入微波信号幅度在一定范围内变化时，输出信号保持稳定的电路。c)C型：限幅放大器，该器件是当输入微波信号幅度超过一定电平时，输出信号幅度达到限幅状d)D型：功率放大器，该器件是对微波信号进行功率放大的电路。5技术要求各类放大器至少应规定的电源电流静态特性参数。各类放大器至少应规定的动态特性参数见表1。动态特性参数最小值最大值电路类型C型5.1.2.1线性增益×——××——×5.1.2.2线性增益平坦度 ×××——×5.1.2.3功率增益×————×——×5.1.2.4功率增益平坦度—×——×—×5.1.2.5增益控制范围×————×———3表1动态特性参数(续)动态特性参数最小值最大值电路类型A型5.1.2.6输出功率×—××5.1.2.71dB增益压缩输出功率×——×—×5.1.2.8限幅输出功率××——×—5.1.2.9限幅输出功率平坦度—×———×——5.1.2.10交调失真 ×——××5.1.2.11截距点功率×××5.1.2.12噪声系数——××5.1.2.13输入发射系数的模(输入回波损耗)×—××××5.1.2.14输出发射系数的模(输出回波损耗)X——××——5.1.2.15反向传输系数的模(隔离度)××××X5.1.2.16幅度调制对相位调制转换系数(适用时)——×××5.1.2.17群延迟时间(适用时) 一×—×××5.1.2.18功率附加效率(适用时)X— —×5.1.2.19n阶谐波失真比(适用时)—×————×5.1.2.20输出噪声功率(适用时)——×———×5.1.2.21在规定负载电压驻波比下杂散度(适用时) 一————注：“×”表示必备要求，“—”表示不要求。B型和D型放大器应选择5.1.2.1、5.1.2.2和5.1.2.7的参数或5.1.2.3、5.1.2.4和5.1.2.6的参数。b任选。对于D型放大器，器件分为大信号、小信号两种工作条件，应规定不同的测试方法。a)输入或输出电路功能框图；b)静电放电敏感度(ESD)(人体模型、机械模型、带电模型等);c)推荐工作条件；e)工作温度。6电特性测试方法除另有规定外，试验在下列环境条件下进行：4a)相对湿度：25%～75%(适用时);c)试验温度：25℃±3℃。6.2静态特性测试给放大器施加规定的工作电压，使用电流表读取电源电流。6.3动态特性测试按照GB/T20870.1—2007中5.2的规定。6.3.2线性增益平坦度按照GB/T20870.1—2007中5.3的规定。按照GB/T20870.1—2007中5.4的规定。6.3.4功率增益平坦度按照GB/T20870.1—2007中5.5的规定。6.3.5增益控制范围按照GB/T20870.1—2007中5.6的规定。6.3.6限幅输出功率、限幅输出功率平坦度按照GB/T20870.1—2007中5.7的规定。按照GB/T20870.1—2007中5.8的规定。按照GB/T20870.1—2007中5.9的规定。6.3.9噪声系数按照GB/T20870.1—2007中5.10的规定。6.3.10交调失真按照GB/T20870.1—2007中5.11的规定。按照GB/T20870.1—2007中5.12的规定。6.3.12输入发射系数的模(输入回波损耗)按照GB/T20870.1—2007中5.13的规定。56.3.13输出发射系数的模(输出回波损耗)按照GB/T20870.1—2007中5.14的规定。6.3.14反向传输系数的模(隔离度)按照GB/T20870.1—2007中5.15的规定。6.3.15幅度调制对相位调制转换系数按照GB/T20870.1—2007中5.16的规定。按照GB/T20870.1—2007中5.17的规定。6.3.17功率附加效率按照GB/T20870.1—2007中5.18的规定。按照GB/T20870.1—2007中5.19的规定。6.3.19输出噪声功率按照GB/T20870.1—2007中5.20的规定。6.3.20在规定负载电压驻波比下杂散度按照GB/T20870.1—2007中5.21的规定。7检验规则7.1一般要求放大器应经检验合格方能出厂，并附有证明产品质量合格的文件或标记。检验规则按GB/T12750的规定，与GB/T12750的要求不一致时，以本文件为准。7.2检验分类本文件规定的检验分为：a)鉴定检验；b)质量一致性检验；c)筛选。7.3质量评定类别放大器的质量评定类别，对各类别的最低要求如下。a)I类：该类的批符合A组和B组逐批检验要求以及C组周期检验要求。b)Ⅱ类：该类的批符合A组和B组逐批检验要求以及C组和D组周期检验要求。c)Ⅲ类：该类的批需进行100%筛选，并符合A组和B组逐批检验要求以及C组和D组周期检验要求。6A组检验的抽样按表2的规定进行，B组、C组和D组检验的抽样按表3的规定进行。表2A组抽样要求分组批允许不合格品率(LTPD)"接收质量限(AQL)Ⅲ类Ⅲ类AQLAQLAQLAlA3A3aA3bA4A4aA4b75—32335773233577ⅡⅡ—ⅡⅡⅡⅡ批允许不合格品率，最大合格判定数为4。分组LTPD*Ⅲ类Ⅱ类和Ⅲ类B4b(不适用)555批允许不合格品率，最大合格判定数为2。指器件引出端数，分配给至少4只器件。7.5检验批构成一个检验批应由相同类别，在基本相同的条件下，采用相同原材料和工艺生产，并在同一时间内提交检验的产品组成。77.6鉴定检验鉴定检验由本文件规定的A组、B组、C组检验和当有规定时的D组检验组成。7.7质量一致性检验质量一致性检验由本文件规定的A组、B组、C组检验和当有规定时的D组检验组成。A组、B组、C组和D组检验分别按表4、表5、表6和表7规定的检验项目和顺序进行。除另有规定外，试验在25℃下进行。标有(D)的试验是破坏性的。分组检验或试验试验条件极限值A1外部目检见GB/T4937.3——A325℃下静态特性见5.1.1——A3a最高工作温度下静态特性极限值可与A3分组不同A3b最低工作温度下静态特性TA=TA(min)或Tc=Tc(min)极限值可与A3分组不同A425℃下动态特性见5.1.2—A4a最高工作温度下动态特性(不适用于I类)“极限值可与A4分组不同A4b最低工作温度下动态特性(不适用TA=TA(min)或Tc=Tc(min)极限值可与A4分组不同如果制造厂能定期证明2个极限温度下的试验结果与25℃下的试验结果相关，则可使用25℃下的结果。分组检验或试验引用标准条件B1尺寸GB/T4589.1按规定B4可焊性(D)GB/T4937.21按规定B5(仅适用于空封器件)密封非空封器件和环氧封接的空封器件温度快速变化随后：●强加速稳态湿热(HAST)GB/T4937.11GB/T4937.3GB/T4937.4见6.2、6.3按产品标准规定10次循环，贮存温度范围130℃,85%(相对湿度),96h/110℃,85%(相对湿度),264h同A3分组和A4分组8分组检验或试验引用标准条件寿命电测试见6.2、6.3件按规定同A3分组和A4分组放行批证明记录就B3、B4、B5和B8分组提供计数检测结果。分组检验或试验引用标准条件尺寸GB/T4589.1——ESD(D)人体模型(HBM)机械模型(MM)带电模型(CDM)电测试GB/T4937.26GB/T4937.27见6.2、6.3按规定按规定按规定同A3分组和A4分组引出端强度(D)GB/T4937.14按相应封装的规定耐焊接热GB/T4937.15按产品标准规定温度循环a)空封器件温度快速变化随后：电测试(A3和A4)密封b)非空封器件和环氧封接的空封器件(D)温度快速变化随后：外部目检强加速稳态湿热(HAST)电测试GB/T4937.11见6.2、6.3GB/T4937.8GB/T4937.11GB/T4937.3GB/T4937.4见6.2、6.3100次循环，贮存温度范围同A3分组和A4分组按产品标准规定500次循环，贮存温度范围按规定130℃,85%(相对湿度),96h/110℃,85%(相对湿度),264h同A3分组和A4分组盐雾GB/T4937.13按规定恒定加速度(空封器件)GB/T4937.36按规定稳态湿热a)空封器件b)非空封器件和环氧封接的空封器件(D)随后：电测试见6.2、6.3严酷等级：I类21d,Ⅱ类和Ⅲ类严酷等级：I类500h,Ⅱ类和Ⅲ类同A3分组和A4分组9分组检验或试验引用标准条件寿命电测试见6.2、6.3最高工作温度，时间：1000h,偏置条件按规定同A3分组和A4分组高温贮存电测试见6.2、6.31000h,最高贮存温度同A3分组和A4分组标志耐久性—放行批证明记录就C3、C4、C6、C7、C9和C11分组提供计数检查结果。注：C组检验半年进行一次。分组检验或试验引用标准条件寿命I类：不适用Ⅱ类和Ⅲ类：按产品标准规定电测试GB/T4937.23见6.2、6.3最高工作温度，时间：4000h,偏置条件按规定同A3分组和A4分组注：D组检验一年进行一次。D组试验的时间是C组和D组电耐久性试验的累加时间。7.8筛选当进行筛选时，应按本文件表8规定的顺序对生产批中所有放大器进行。步骤检验或试验引用标准条件顺序ABD内部目检按规定×2高温烘焙时间和温度按产品标准规定××3温度快速变化GB/T4937.11按规定××4恒定加速度(对空封器件)按规定××5密封(对空封器件)按规定××6电测试(老炼前)见6.2、6.3A3、A4分组×××7老炼GB/T4937.23按规定×××8电测试(老炼后)见6.2、6.3A3、A4分组×××注：“×”表示必备要求，“—”表示不要求。8标志放大器上的标志：当面积许可时，应在放大器上标出以下标志：a)引出端识别标志；b)